[發明專利]一種聚熱罩的束源結構

有效

• 申請號: 202010972947.4
• 申請日: 2020-09-16
• 公開（公告）號: CN112195442B
• 公開（公告）日: 2022-08-19
• 發明（設計）人: 黃穩;張敬娣;梁艦;武啟飛;廖良生;顧婉瑩;虞強龍;朱宏偉
• 申請（專利權）人: 蘇州方昇光電股份有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 蔣慧妮

本發明提供了一種聚熱罩的束源結構，包括底座、螺旋設置于底座上的聚熱罩，所述聚熱罩的相鄰螺旋層之間設置有層間隙，所述聚熱罩外側罩設有外罩，所述聚熱罩內側圍置有加熱組件。本發明的有益效果體現在：本發明的聚熱罩呈螺旋一體置于底座上，且每一層之間互不連接，切斷了徑向的熱傳導。同時，通過在聚熱罩上開設交錯設置的開口，大大延長了熱傳導路徑，結合加熱絲的分布密度，以更好的提高對坩堝的加熱效率。

技術領域

本發明屬于真空鍍膜設備技術領域，尤其涉及一種聚熱罩的束源結構。

背景技術

束源也可稱為電阻式點源，在蒸鍍領域廣泛應用。為了使坩堝局部的熱量不散失，在加熱絲周圍會安裝一組或多組反光罩用來聚集熱量，從而達到坩堝內材料的蒸發溫度。如果加熱絲與坩堝局部溫度散失，則影響整個蒸鍍材料的速率及電源功率，從而導致整個器件制作的效率。目前該屏蔽罩均采用鉭皮卷焊成桶，然后每層之間再焊接在一起，焊接工藝復雜，每層罩之間有焊接連接，損失熱量，導致坩堝升溫緩慢，成膜性能降低。經過研發人員研究發現，熱屏蔽罩在受熱后易變形，產生徑向熱傳導。

發明內容

為了解決現有技術中的難題，本發明提出了一種聚熱罩的束源結構。

本發明的目的通過以下技術方案來實現：

一種聚熱罩的束源結構，包括底座、螺旋設置于底座上的聚熱罩，所述聚熱罩的相鄰螺旋層之間設置有層間隙，所述聚熱罩外側罩設有外罩，所述聚熱罩內側圍置有加熱組件。

優選地，所述底座上開設有螺旋狀限位卡槽，所述聚熱罩的底部置于所述限位卡槽內。

優選地，所述聚熱罩上架設有坩堝，所述坩堝上沿部設置有向下凸起的限位環柱，所述限位環柱卡設于所述聚熱罩與所述外罩的間隙內。

優選地，所述底座中心設置有熱電偶，所述熱電偶的一側設置有加熱絲連接端。

優選地，所述加熱組件包括加熱絲，所述加熱絲分布密度由上至下逐漸減小。

優選地，所述外罩內設有中空腔體，所述中空腔體底部與水冷導管聯通。

優選地，所述水冷導管的進水端設置于中空腔體底部，所述水冷導管的出水端延伸設置于中空腔體的上端。

優選地，所述聚熱罩為一片式鉭片繞制而成。

優選地，所述聚熱罩上設置有交錯開設有用于延長熱傳導路徑的開口。

優選地，所述聚熱罩表面自次螺旋內層起開設有用于延長熱傳導路徑的開口，所述開口的長寬比大于3:1。

優選地，所述開口包括相鄰間隔設置的第一開口組和第二開口組；所述第二開口組上的開口設置于所述第一開口組的開口之間的間隔段連線上。

優選地，所述聚熱罩的每層螺旋層上設置有第一開口組、第二開口組，多組開口組之間的距離大于每層螺旋層的周長，且不為周長的整數倍。

優選地，所述開口相對聚熱罩的軸心以不同徑向方向開設。

本發明的有益效果體現在：本發明的聚熱罩呈螺旋一體置于底座上，且每一層之間互不連接，切斷了徑向的熱傳導。同時，通過在聚熱罩上開設交錯設置的開口，大大延長了熱傳導路徑，結合加熱絲的分布密度，以更好的提高對坩堝的加熱效率。

附圖說明

圖1：本發明的剖面結構示意圖。

圖2：本發明放置坩堝后的剖面結構示意圖。

圖3：本發明圖2的局部結構放大圖。

圖4：本發明圖2的局部結構放大圖，此時圖中未包括坩堝。

圖5：本發明聚熱罩的俯視圖。

圖6：圖4的展開結構示意圖。