[發明專利]一種聚熱罩的束源結構有效
| 申請號： | 202010972947.4 | 申請日： | 2020-09-16 |
| 公開（公告）號： | CN112195442B | 公開（公告）日： | 2022-08-19 |
| 發明（設計）人： | 黃穩;張敬娣;梁艦;武啟飛;廖良生;顧婉瑩;虞強龍;朱宏偉 | 申請（專利權）人： | 蘇州方昇光電股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/26 | 分類號： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102 | 代理人： | 蔣慧妮 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 聚熱罩 結構 | ||
1.一種聚熱罩的束源結構，其特征在于：包括底座（1）、螺旋設置于底座（1）上的聚熱罩（2），所述聚熱罩（2）的相鄰螺旋層之間設置有層間隙（21），所述聚熱罩（2）外側罩設有外罩（6），所述聚熱罩（2）內側圍置有加熱組件。
2.如權利要求1所述的一種聚熱罩的束源結構，其特征在于：所述底座（1）上開設有螺旋狀限位卡槽（11），所述聚熱罩（2）的底部置于所述限位卡槽（11）內。
3.如權利要求1所述的一種聚熱罩的束源結構，其特征在于：所述聚熱罩（2）上架設有坩堝（5），所述坩堝（5）上沿部設置有向下凸起的限位環柱（51），所述限位環柱（51）卡設于所述聚熱罩（2）與所述外罩（6）的間隙內。
4.如權利要求1所述的一種聚熱罩的束源結構，其特征在于：所述底座（1）中心設置有熱電偶（4），所述熱電偶（4）的一側設置有加熱絲連接端。
5.如權利要求1所述的一種聚熱罩的束源結構，其特征在于：所述加熱組件包括加熱絲（3），所述加熱絲（3）分布密度由上至下逐漸減小。
6.如權利要求1所述的一種聚熱罩的束源結構，其特征在于：所述外罩（6）內設有中空腔體（61），所述中空腔體（61）底部與水冷導管聯通。
7.如權利要求6所述的一種聚熱罩的束源結構，其特征在于：所述水冷導管的進水端設置于中空腔體（61）底部，所述水冷導管的出水端延伸設置于中空腔體（61）的上端。
8.如權利要求1所述的一種聚熱罩的束源結構，其特征在于：所述聚熱罩（2）為一片式鉭片繞制而成。
9.如權利要求1所述的一種聚熱罩的束源結構，其特征在于：所述聚熱罩（2）上設置有交錯開設有用于延長熱傳導路徑的開口（22）。
10.如權利要求9所述的一種聚熱罩的束源結構，其特征在于：所述開口（22）相對聚熱罩的軸心以不同徑向方向開設。
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