[發(fā)明專利]一種芯片加工用表面處理烘干一體化設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010972447.0
• 申請日: 2020-09-16
• 公開（公告）號: CN112053977A
• 公開（公告）日: 2020-12-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 許同
• 申請（專利權(quán)）人: 許同
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 合肥兆信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 34161
• 代理人: 朱陳晨

1.一種芯片加工用表面處理烘干一體化設(shè)備，包括底座(1)、滑動組件(4)、S形水管組件(8)、分揀箱(14)和控制箱(22)，其特征在于：

底座(1)，所述底座(1)上側(cè)固定有烘干組件(2)、輔助冷卻箱(13)和分揀箱(14)，且烘干組件(2)位于輔助冷卻箱(13)左側(cè)，同時輔助冷卻箱(13)位于分揀箱(14)左側(cè)，所述烘干組件(2)上側(cè)固定有過濾組件(3)；

滑動組件(4)，所述滑動組件(4)用于對烘干箱(201)左側(cè)進料口和右側(cè)出料口進行密封，且滑動組件(4)固定在烘干箱(201)左右外壁上；

S形水管組件(8)，所述S形水管組件(8)包括水管(801)、進水口(802)和出水口(803)，且水管(801)一端與進水口(802)相連通，同時水管(801)另一端與出水口(803)相連通；

分揀箱(14)，所述分揀箱(14)內(nèi)部上側(cè)固定有第二機械手(18)，且第二機械手(18)下側(cè)固定有夾持組件(19)，所述分揀箱(14)后側(cè)貫穿有第二傳送帶(20)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片加工用表面處理烘干一體化設(shè)備，其特征在于：所述烘干組件(2)包括烘干箱(201)、電加熱絲(202)和熱風(fēng)機(203)，所述烘干箱(201)內(nèi)壁上固定有電加熱絲(202)，且烘干箱(201)上側(cè)貫穿有熱風(fēng)機(203)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片加工用表面處理烘干一體化設(shè)備，其特征在于：所述烘干箱(201)左側(cè)內(nèi)壁上固定有溫度傳感器(5)，且烘干箱(201)通過第一輸氣管(6)與第一存儲箱(7)相連通，同時第一存儲箱(7)通過第二輸氣管(9)與第二存儲箱(10)相連通，所述第二存儲箱(10)右側(cè)貫穿有排氣管(11)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片加工用表面處理烘干一體化設(shè)備，其特征在于：所述烘干箱(201)內(nèi)貫穿有第一傳送帶(12)，且第一傳送帶(12)位于第三傳送帶(21)左側(cè)，同時第三傳送帶(21)貫穿輔助冷卻箱(13)和分揀箱(14)內(nèi)部，所述輔助冷卻箱(13)內(nèi)部上側(cè)貫穿有散熱扇(15)，且輔助冷卻箱(13)內(nèi)部上側(cè)固定有第一機械手(16)，同時第一機械手(16)下側(cè)固定有信息錄入攝像機(17)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片加工用表面處理烘干一體化設(shè)備，其特征在于：所述過濾組件(3)包括進風(fēng)管(301)、固定環(huán)(302)和過濾網(wǎng)(303)，所述進風(fēng)管(301)固定在烘干組件(2)上側(cè)，且進風(fēng)管(301)上側(cè)螺紋連接有固定環(huán)(302)，同時固定環(huán)(302)上螺紋連接有過濾網(wǎng)(303)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片加工用表面處理烘干一體化設(shè)備，其特征在于：所述滑動組件(4)包括固定塊(401)、液壓缸(402)、固定板(403)、密封板(404)、滑道(405)和溫度傳感器(5)，所述固定塊(401)上側(cè)固定有液壓缸(402)，且液壓缸(402)通過活塞桿固定有固定板(403)，所述固定板(403)一端固定在密封板(404)上，且密封板(404)滑動連接有滑道(405)，同時滑道(405)開設(shè)在烘干箱(201)左右外壁上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片加工用表面處理烘干一體化設(shè)備，其特征在于：所述夾持組件(19)包括U形固定板(1901)、電動伸縮桿(1902)、固定板(1903)、彈簧軸(1904)和夾持板(1905)，所述U形固定板(1901)上固定有電動伸縮桿(1902)，且電動伸縮桿(1902)一端固定有固定板(1903)，同時固定板(1903)一側(cè)固定有彈簧軸(1904)，所述彈簧軸(1904)一端固定有夾持板(1905)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種芯片加工用表面處理烘干一體化設(shè)備，其特征在于：所述固定板(1903)通過彈簧軸(1904)與夾持板(1905)構(gòu)成伸縮結(jié)構(gòu)，且夾持板(1905)上固定有橡膠防滑墊。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片加工用表面處理烘干一體化設(shè)備，其特征在于：所述控制箱(22)固定在烘干箱(201)前側(cè)。