[發(fā)明專(zhuān)利]一種高效多工位同步固晶裝置及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010971527.4
• 申請(qǐng)日: 2020-09-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111933555B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李婷
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳平晨半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/56
• 代理公司: 深圳市科冠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44355
• 代理人: 王海駿

1.一種高效多工位同步固晶裝置，包括支架、機(jī)械手以及晶片定位治具，其特征在于，所述機(jī)械手的活動(dòng)端設(shè)置有橫向的安裝板，所述安裝板上貫穿設(shè)置有多個(gè)縱向的可水平旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸；所述安裝板上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)組件；所述旋轉(zhuǎn)軸的下端兩側(cè)分別縱向滑動(dòng)設(shè)置有點(diǎn)膠桿和吸嘴桿，所述點(diǎn)膠桿和所述吸嘴桿以所述旋轉(zhuǎn)軸的軸心對(duì)稱(chēng)分布；所述點(diǎn)膠桿的上端連接有第一連桿，所述吸嘴桿的上端連接有第二連桿；所述旋轉(zhuǎn)軸的中部設(shè)置有橫向的通孔，以及貫穿所述通孔的活動(dòng)桿；所述通孔內(nèi)設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述活動(dòng)桿的中部的轉(zhuǎn)軸；所述活動(dòng)桿的兩端均設(shè)置有活動(dòng)孔，所述活動(dòng)孔內(nèi)穿設(shè)有縱向的活動(dòng)環(huán)，兩個(gè)所述活動(dòng)環(huán)分別與所述第一連桿和所述第二連桿的上端固定連接；所述活動(dòng)桿位于所述安裝板的下方，所述安裝板的下表面固定設(shè)置有套設(shè)在所述旋轉(zhuǎn)軸上的定位套，所述定位套的底端邊緣加工有對(duì)所述活動(dòng)桿的一端向下抵緊限位的凸起型弧面；所述旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有對(duì)所述活動(dòng)桿保持彈性壓持力的彈性組件；所述點(diǎn)膠桿和所述吸嘴桿上均設(shè)置有滑塊，所述旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有與所述滑塊對(duì)應(yīng)滑動(dòng)連接的滑槽；所述彈性組件包括套設(shè)在所述旋轉(zhuǎn)軸上的彈簧，所述彈簧的下端作用在所述滑塊上，所述彈簧的上端作用在所述活動(dòng)桿上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效多工位同步固晶裝置，其特征在于，所述安裝板上表面通過(guò)多個(gè)連接柱連接有安裝所述驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)安裝板；所述旋轉(zhuǎn)軸的上端同軸固定有從動(dòng)輪；所述驅(qū)動(dòng)安裝板上貫穿設(shè)置有多個(gè)驅(qū)動(dòng)軸，所述驅(qū)動(dòng)軸與所述驅(qū)動(dòng)安裝板轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述驅(qū)動(dòng)軸的下端可拆卸連接設(shè)置有驅(qū)動(dòng)所述從動(dòng)輪的驅(qū)動(dòng)輪，所述驅(qū)動(dòng)軸的上端設(shè)置有同步輪；所述驅(qū)動(dòng)安裝板上還設(shè)置有驅(qū)動(dòng)多個(gè)所述同步輪同步轉(zhuǎn)動(dòng)的減速電機(jī)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高效多工位同步固晶裝置，其特征在于，多個(gè)所述同步輪通過(guò)同步帶連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效多工位同步固晶裝置，其特征在于，所述彈簧的上端同軸固定有第一滑動(dòng)圈，所述第一滑動(dòng)圈與所述旋轉(zhuǎn)軸縱向滑動(dòng)連接，所述第一滑動(dòng)圈與所述活動(dòng)桿緊貼。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高效多工位同步固晶裝置，其特征在于，所述活動(dòng)桿的下表面設(shè)置有與所述第一滑動(dòng)圈對(duì)應(yīng)的環(huán)形定位槽。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高效多工位同步固晶裝置，其特征在于，所述彈簧的下端同軸固定有第二滑動(dòng)圈，所述第二滑動(dòng)圈與所述旋轉(zhuǎn)軸縱向滑動(dòng)連接，所述第二滑動(dòng)圈作用在較高的一個(gè)所述滑塊上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的高效多工位同步固晶裝置，其特征在于，所述滑塊上設(shè)置有與所述第二滑動(dòng)圈對(duì)應(yīng)的V型定位槽。

8.一種高效多工位同步固晶方法，根據(jù)權(quán)利要求1-7任一所述的高效多工位同步固晶裝置，其特征在于，包括以下步驟：

第一步：機(jī)械手帶動(dòng)安裝板移動(dòng)至晶片定位治具處，移動(dòng)過(guò)程中驅(qū)動(dòng)組件帶動(dòng)多個(gè)旋轉(zhuǎn)軸同步旋轉(zhuǎn)，使得活動(dòng)桿與吸嘴桿連接的一端受定位套的底端的凸起型弧面擠壓，吸嘴桿向下滑動(dòng)，點(diǎn)膠桿向上移動(dòng)；

第二步：多個(gè)吸嘴桿同步從晶片定位治具上吸取晶片；

第三步：機(jī)械手帶動(dòng)安裝板移動(dòng)至支架處，移動(dòng)過(guò)程中驅(qū)動(dòng)組件帶動(dòng)多個(gè)旋轉(zhuǎn)軸同步旋轉(zhuǎn)180度，吸嘴桿與點(diǎn)膠桿位置交換，同時(shí)使得活動(dòng)桿與點(diǎn)膠桿連接的一端受定位套的底端的凸起型弧面擠壓，點(diǎn)膠桿向下滑動(dòng)，吸嘴桿向上移動(dòng)；

第四步：多個(gè)點(diǎn)膠桿對(duì)支架進(jìn)行同步點(diǎn)膠，點(diǎn)膠完成后機(jī)械手帶動(dòng)安裝板上行一段距離，驅(qū)動(dòng)組件帶動(dòng)多個(gè)旋轉(zhuǎn)軸同步旋轉(zhuǎn)180度，吸嘴桿與點(diǎn)膠桿位置交換，同時(shí)活動(dòng)桿與吸嘴桿連接的一端受定位套的底端的凸起型弧面擠壓，吸嘴桿向下滑動(dòng)，點(diǎn)膠桿向上移動(dòng)；

第五步：機(jī)械手帶動(dòng)安裝板下行，吸嘴桿將晶片放置到點(diǎn)膠位置上。