[發(fā)明專利]一種防晶棒掉落操作方法及帶防晶棒掉落夾持裝置的晶體生長爐

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010970707.0
• 申請(qǐng)日: 2020-09-16
• 公開（公告）號(hào): CN112080795A
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊金海
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江晶陽機(jī)電股份有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/32
• 分類號(hào): C30B15/32;C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33253
• 代理人: 王家蕾

本發(fā)明提供了一種防晶棒掉落操作方法及帶防晶棒掉落夾持裝置的晶體生長爐，包括：上爐體或隔離閥；防晶棒掉落夾持裝置，若干防晶棒掉落夾持裝置均勻設(shè)于上爐體或隔離閥上，防晶棒掉落夾持裝置包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、夾緊塊，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出軸通過連接桿與夾緊塊相連，在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下，夾緊塊沿著上爐體或者隔離閥軸線的方向伸縮。本發(fā)明具有機(jī)構(gòu)簡單、維護(hù)方便、可靠性高的特點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種防晶棒掉落操作方法及帶防晶棒掉落夾持裝置的晶體生長爐。

背景技術(shù)

單晶爐是多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅工藝過程中的必備設(shè)備，而單晶硅又是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的基礎(chǔ)原料。單晶硅作為現(xiàn)代信息社會(huì)的關(guān)鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計(jì)算機(jī)與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用太陽能的主要功能材料。

現(xiàn)有技術(shù)中，在單晶硅拉制過程中，硅棒重量也在不斷增加，會(huì)存在籽晶繩斷裂，硅棒掉落的安全事故。硅棒掉入石英坩堝內(nèi)會(huì)到最后漏硅事故的發(fā)生，更甚者會(huì)造成重大財(cái)產(chǎn)損失和人員安全事故。

綜上所述，為解決現(xiàn)有的單晶爐結(jié)構(gòu)上的不足，本發(fā)明設(shè)計(jì)了一種機(jī)構(gòu)簡單、維護(hù)方便、可靠性高的帶防晶棒掉落夾持裝置的晶體生長爐。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明為解決現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，提供了一種機(jī)構(gòu)簡單、維護(hù)方便、可靠性高的防晶棒掉落操作方法及帶防晶棒掉落夾持裝置的晶體生長爐。

本發(fā)明的目的可通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：

一種防晶棒掉落操作方法，包括下述步驟

S1單晶硅棒在副室內(nèi)出現(xiàn)從籽晶處或籽晶繩斷裂情況時(shí)，通過稱重傳感器和位置傳感器雙重檢測(cè)出單晶硅棒的掉棒信號(hào)，PLC發(fā)出夾持動(dòng)作信號(hào)；

S2防晶棒掉落夾持裝置能瞬間啟動(dòng)并夾緊晶棒。

一種帶防晶棒掉落夾持裝置的晶體生長爐，包括：

上爐體或隔離閥；

防晶棒掉落夾持裝置，若干防晶棒掉落夾持裝置均勻設(shè)于上爐體或隔離閥上，防晶棒掉落夾持裝置包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、夾緊塊，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出軸通過連接桿與夾緊塊相連，在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下，夾緊塊沿著上爐體或隔離閥軸線的方向伸縮。

作為本方案的進(jìn)一步改進(jìn)，夾緊塊為弧形。

作為本方案的進(jìn)一步改進(jìn)，夾緊塊的接觸面上設(shè)有耐高溫護(hù)墊。

作為本方案的進(jìn)一步改進(jìn)，耐高溫護(hù)墊的材質(zhì)為聚四氟乙烯。

作為本方案的進(jìn)一步改進(jìn)，防晶棒掉落夾持裝置設(shè)置的數(shù)量為a，滿足數(shù)量關(guān)系a≥3，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為氣缸。

作為本方案的進(jìn)一步改進(jìn)，還包括防晶棒掉落控制系統(tǒng)，防晶棒掉落控制系統(tǒng)包括用于感知晶棒位移信號(hào)的傳感器、用于感知晶棒重量信號(hào)的傳感器、PLC控制器、電源模塊，電源模塊分別與用于感知晶棒位移信號(hào)的傳感器、用于感知晶棒重量信號(hào)的傳感器、PLC控制器連接及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連。

作為本方案的進(jìn)一步改進(jìn)，還包括報(bào)警器，報(bào)警器與PLC控制器連接，PLC控制器根據(jù)位移信號(hào)和/或重量信號(hào)控制報(bào)警器報(bào)警。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，有效的提高了晶棒掉落的快速反應(yīng)，降低財(cái)產(chǎn)損失和人員傷亡，徹底解決了原技術(shù)作業(yè)產(chǎn)生的財(cái)產(chǎn)損失嚴(yán)重、人員傷亡的現(xiàn)象；再者，利用防晶棒掉落夾持裝置實(shí)現(xiàn)了對(duì)硅棒掉落的快速應(yīng)急處理，有效降低晶棒掉落砸壞石英坩堝造成的漏硅現(xiàn)象，及更嚴(yán)重的設(shè)備損壞和人員傷亡，同時(shí)，因?yàn)槠渫度肷伲瑸槠髽I(yè)減少安全隱患，便于推廣。

附圖說明

圖1是本發(fā)明帶防晶棒掉落夾持裝置的晶體生長爐的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明防晶棒掉落夾持裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。