[發明專利]一種防晶棒掉落操作方法及帶防晶棒掉落夾持裝置的晶體生長爐

在審

• 申請號: 202010970707.0
• 申請日: 2020-09-16
• 公開（公告）號: CN112080795A
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發明（設計）人: 楊金海
• 申請（專利權）人: 浙江晶陽機電股份有限公司
• 主分類號: C30B15/32
• 分類號: C30B15/32;C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253
• 代理人: 王家蕾

1.一種防晶棒掉落操作方法，其特征在于，包括下述步驟

S1單晶硅棒在副室內出現從籽晶處或籽晶繩(41)斷裂情況時，通過稱重傳感器和位置傳感器雙重檢測出單晶硅棒的掉棒信號，PLC發出夾持動作信號；

S2防晶棒掉落夾持裝置(20)能瞬間啟動并夾緊晶棒(50)。

2.一種帶防晶棒掉落夾持裝置的晶體生長爐，其特征在于，包括：

上爐體(10)或隔離閥；

防晶棒掉落夾持裝置(20)，若干防晶棒掉落夾持裝置(20)均勻設于上爐體(10)或隔離閥上，防晶棒掉落夾持裝置(20)包括驅動機構(21)、夾緊塊(22)，驅動機構(21)的輸出軸通過連接桿(23)與夾緊塊(22)相連，在驅動機構(21)的驅動下，夾緊塊(22)沿著上爐體或隔離閥軸線的方向伸縮。

3.根據權利要求2所述的一種帶防晶棒掉落夾持裝置的晶體生長爐，其特征在于，夾緊塊(22)為弧形。

4.根據權利要求2所述的一種帶防晶棒掉落夾持裝置的晶體生長爐，其特征在于，夾緊塊(22)的接觸面上設有耐高溫護墊。

5.根據權利要求4所述的一種帶防晶棒掉落夾持裝置的晶體生長爐，其特征在于，耐高溫護墊的材質為聚四氟乙烯。

6.根據權利要求2所述的一種帶防晶棒掉落夾持裝置的晶體生長爐，其特征在于，防晶棒掉落夾持裝置(20)設置的數量為a，滿足數量關系a≥3，驅動機構(21)為氣缸。

7.根據權利要求2所述的一種帶防晶棒掉落夾持裝置的晶體生長爐，其特征在于，還包括防晶棒掉落控制系統，防晶棒掉落控制系統包括用于感知晶棒位移信號的傳感器(32)、用于感知晶棒重量信號的傳感器(31)、PLC控制器(30)、電源模塊，電源模塊分別與用于感知晶棒位移信號的傳感器(32)、用于感知晶棒重量信號的傳感器(31)、PLC控制器(30)連接及驅動機構(21)相連。

8.根據權利要求7所述的一種帶防晶棒掉落夾持裝置的晶體生長爐，其特征在于，還包括報警器(60)，報警器(60)與PLC控制器(30)連接，PLC控制器(30)根據位移信號和/或重量信號控制報警器(60)報警。