[發明專利]一種芯片封裝制造設備有效
| 申請號: | 202010967847.2 | 申請日: | 2020-09-15 |
| 公開(公告)號: | CN111933554B | 公開(公告)日: | 2021-05-04 |
| 發明(設計)人: | 朱雪峰 | 申請(專利權)人: | 深圳市三航工業技術研究院 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京恒泰銘睿知識產權代理有限公司 11642 | 代理人: | 吳偉 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市南山區高新技*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 芯片 封裝 制造 設備 | ||
1.一種芯片封裝制造設備,其特征在于,其包括:
底座、輸送帶一、輸送帶二,所述的輸送帶一、輸送帶二安裝于底座上,所述的輸送帶一、輸送帶二呈平行布置,所述的輸送帶一用于對初始芯片進行輸送,所述的輸送帶二用于對加工完成后的芯片進行輸送,所述的輸送帶一、輸送帶二之間設置有吸取機械手,所述的吸取機械手能夠對芯片進行吸取,所述的輸送帶二的一側設置有焊接機械手,所述的焊接機械手的上端部設置有焊接組件,所述的底座上設置有引線機構,所述的底座上設置有支撐桿三,所述的引線機構安裝于支撐桿三的頂部,所述的引線機構處于焊接組件的下方;
所述的焊接組件包括焊接殼體、導桿一、導桿二、焊接槍、刮痕槍、清理風槍,所述的焊接殼體為長方體結構,所述的導桿一、導桿二水平連接于焊接殼體內,所述的焊接殼體的底部開設有導槽,所述的焊接槍、清理風槍套接于導桿一、導桿二上,所述的焊接槍、清理風槍的底部穿過導槽,所述的刮痕槍豎直設置于焊接殼體的底部;
所述的引線機構包括設置于支撐桿三的頂部的轉盤,所述的轉盤的盤面上開設有限位槽,所述的吸取機械手將初始芯片抓取至轉盤上的限位槽內,接著焊接組件對芯片進行焊接,焊接引線后的芯片經吸取機械手抓取并置于輸送帶二上輸送;
所述的引線機構包括安裝板、電機一、轉軸、齒盤一、齒盤二,所述的安裝板水平設置于轉盤的一側,所述的轉盤與支撐桿三活動連接,所述的電機一安裝于安裝板的底部,所述的電機一的輸出軸豎直向上,所述的轉軸豎直連接于安裝板上,所述的轉軸的端部與電機一的輸出軸端同軸固定連接、另一端穿過安裝板的板面,所述的齒盤一同軸固定套設于轉軸上,所述的齒盤二同軸固定套設于轉盤上;
所述的齒盤二上設置有壓緊組件,所述的壓緊組件包括支撐板、電機二、連接桿、壓塊,所述的支撐板設置于齒盤二上,所述的電機二安裝于支撐板上,所述的電機二的輸出軸呈水平布置并且垂直于支撐板的板面,所述的電機二的輸出軸穿過支撐板的板面,所述的連接桿的一端固定套設于電機二的輸出軸端,所述的連接桿的另一端與壓塊相連,所述的壓塊處于連接桿的下方;
所述的焊接殼體上設置有調距組件,所述的調距組件包括氣缸、連桿一、連桿二,所述的氣缸設置于焊接殼體的一側,所述的氣缸驅動力的方向垂直于導桿一,所述的氣缸的驅動端伸入至焊接殼體內,所述的連桿一的一端與氣缸的驅動端鉸接、另一端與焊接槍的壁部鉸接,所述的連桿二的一端與氣缸的驅動端鉸接、另一端與清理風槍的壁部鉸接。
2.根據權利要求1所述的一種芯片封裝制造設備,其特征在于,所述的底座上豎直設置有支撐桿一、支撐桿二,所述的支撐桿一、支撐桿二的端部分別安裝有傳感器一、傳感器二,所述的傳感器一處于輸送帶一的上方,所述的傳感器二處于輸送帶二的上方,所述的傳感器一、傳感器二為位置傳感器。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





