[發明專利]紅外探測器貼裝裝置、貼裝方法、制造系統和制造方法

有效

• 申請號: 202010965983.8
• 申請日: 2020-09-15
• 公開（公告）號: CN112054095B
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 北京智創芯源科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱英靜

本發明公開了一種紅外探測器貼裝裝置。該紅外探測器貼裝裝置包括工作平臺；位置可調的基座組件；能夠與基座組件可拆卸連接的基準塊和封裝結構；位置可調的部件載臺，部件載臺上設有定位塊放置槽和冷屏放置槽；能夠與基準塊配合的定位塊；具有能夠移動的夾持機構的升降夾持器，夾持機構設有能夠將冷屏和定位塊夾持起來的夾持部件；設置于工作平臺的限位機構。固定好的部件載臺、基座組件和限位機構可以對冷屏和光電芯片進行重復定位，冷屏的貼裝精度不再依賴于工作人員的肉眼觀察，提高了冷屏與光電芯片的貼裝效率。此外，本發明還公開了一種紅外探測器貼裝系統、制造系統和制造方法。

技術領域

本發明涉及紅外探測器技術領域，尤其涉及一種紅外探測器貼裝裝置、貼裝方法、制造系統和制造方法。

背景技術

紅外探測器是能對外界紅外光輻射產生響應的光電傳感器，是目前傳感器領域發展的重點之一。

根據探測機理不同，可把紅外探測器分為制冷型探測器和非制冷型探測器兩大類。制冷型紅外探測器由于其具有全天候探測能力，靈敏度高，響應速度快等優點，廣泛應用于軍事偵查、航天遙感等領域。冷屏是制冷型紅外探測器的重要組成部分，并伴隨紅外探測器一起降溫，為紅外探測器提供低溫背景環境，達到降低紅外探測器背景噪聲、對紅外光學系統投射入冷屏內的雜光進行抑制和提高紅外探測系統成像質量的作用。

當前技術條件下，冷屏的貼裝主要是在顯微鏡的輔助下，通過手工操作方式來實現。冷屏的貼裝精度較多依賴于工作人員的肉眼觀察，導致批量化生產過程中冷屏的貼裝精度和一致性均無法保證，工藝貼裝需要耗費較長的時間，工藝貼裝效率較低。

因此，如何提高冷屏的工藝貼裝效率，是本領域技術人員目前需要解決的技術問題。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的在于提供一種紅外探測器貼裝裝置，以提高工藝貼裝效率。

為了實現上述目的，本發明提供了如下技術方案：

一種紅外探測器貼裝裝置，用于制造紅外探測器，所述紅外探測器包括冷屏、光電芯片和引線框架，所述冷屏上設有光闌孔，所述光電芯片粘貼在所述引線框架的中心區域，所述引線框架上具有能夠與所述冷屏粘接的介質層，所述紅外探測器貼裝裝置包括：

工作平臺；

設置于所述工作平臺上的基座組件，所述基座組件在所述工作平臺上的位置能夠調整；

能夠與所述基座組件可拆卸連接的基準塊和封裝結構，所述引線框架設置于所述封裝結構上；

設置于所述工作平臺上的部件載臺，所述部件載臺在所述工作平臺上的位置能夠調整，所述部件載臺上設有定位塊放置槽和用于放置所述冷屏的冷屏放置槽；

能夠放置于所述定位塊放置槽的定位塊，所述定位塊能夠與所述基準塊配合；

設置于所述工作平臺上的升降夾持器，所述升降夾持器能夠沿第一方向移動，所述升降夾持器具有能夠沿第二方向移動的夾持機構，所述夾持機構的一端設有夾持部件，當所述夾持機構在第二方向移動至第一預設位置時，所述夾持部件能夠與所述冷屏和所述定位塊配合，將所述冷屏和所述定位塊夾持起來并升至一定高度；當所述升降夾持器帶動所述夾持機構在第一方向移動至第二預設位置并且在第二方向移動至第三預設位置時，所述夾持機構夾持的所述定位塊能夠與所述基準塊配合；

設置于所述工作平臺的限位機構，所述限位機構在所述工作平臺上的位置可調節。

優選地，在上述紅外探測器貼裝裝置中，所述夾持部件包括配合體和夾持體，所述定位塊設有配合孔，所述配合體設有能夠與所述光闌孔和所述配合孔配合的配合結構。

優選地，在上述紅外探測器貼裝裝置中，所述夾持體安裝于所述配合體，并且所述夾持體能夠對所述冷屏和所述定位塊產生吸附力。