[發明專利]高頻電源裝置以及高頻功率的輸出方法

在審

• 申請號: 202010964417.5
• 申請日: 2020-09-14
• 公開（公告）號: CN112564694A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 深野勝之;中森雄哉;板谷耕司;濱石悟
• 申請（專利權）人: 株式會社達誼恒
• 主分類號: H03L5/02
• 分類號: H03L5/02;H03L7/00;H03K7/08;H05H1/24
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 李逸雪

1.一種高頻電源裝置，其特征在于，具備：

生成高頻信號的高頻生成部；

周期性地控制所述高頻生成部所生成的高頻信號的振幅或相位的控制部；和

輸出基于被所述控制部控制了振幅或相位的高頻信號從而大小被控制的高頻功率的高頻輸出部，

所述控制部控制所述高頻信號的振幅或相位，使得所述高頻輸出部所輸出的高頻功率的大小在控制周期中的第1期間成為第1水平，在與所述第1期間不同的所述控制周期中的第2期間成為比所述第1水平低的第2水平，

所述控制部使所述第1期間的長度相對于所述控制周期的長度的比以及所述第2水平的至少一方漸減或漸增，

所述控制部在使所述比以及所述第2水平的至少一方漸減的情況下，使所述第1水平漸增，使得所述高頻輸出部所輸出的高頻功率的平均值成為固定，

所述控制部在使所述比以及所述第2水平的至少一方漸增的情況下，使所述第1水平漸減，使得所述高頻輸出部所輸出的高頻功率的平均值成為固定。

2.根據權利要求1所述的高頻電源裝置，其特征在于，

所述高頻生成部生成包含相同頻率的第1高頻信號以及第2高頻信號的多個高頻信號，

所述控制部控制所述第1期間以及所述第2期間各自中的所述第1高頻信號與所述第2高頻信號的相位差，

所述高頻輸出部具有：

生成具有與所述第1高頻信號相應的相位的第1高頻電壓的第1生成部；

生成具有與所述第2高頻信號相應的相位的第2高頻電壓的第2生成部；和

將分別基于所述第1生成部以及所述第2生成部所生成的第1高頻電壓以及第2高頻電壓的高頻功率以與所述相位差相應的比例進行合成的功率合成部。

3.根據權利要求1所述的高頻電源裝置，其特征在于，

所述控制部控制所述第1期間以及所述第2期間各自中的所述高頻信號的振幅，

所述高頻輸出部輸出具有與被所述控制部控制了振幅的高頻信號相應的大小的高頻功率。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的高頻電源裝置，其特征在于，

所述高頻電源裝置還具備：檢測所述高頻輸出部所輸出的高頻功率的功率檢測部，

所述控制部調整所述高頻信號的振幅或相位，使得在所述第1期間以及所述第2期間中由所述功率檢測部檢測的高頻功率的大小和所述第1水平以及所述第2水平一致。

5.一種高頻電源裝置，其特征在于，具備：

生成第1高頻信號以及第2高頻信號的高頻生成部；

周期性地控制所述高頻生成部生成的第1高頻信號以及第2高頻信號的振幅或相位的控制部；

輸出基于被所述控制部控制振幅或相位的第1高頻信號從而大小被控制的高頻功率的第1高頻輸出部；和

輸出基于被所述控制部控制了振幅或相位的第2高頻信號從而大小被控制的高頻功率的第2高頻輸出部，

所述控制部控制所述第1高頻信號的振幅或相位，使得所述第1高頻輸出部所輸出的高頻功率的大小在控制周期中的第1期間成為第1水平，

所述控制部控制所述第2高頻信號的振幅或相位，使得所述第2高頻輸出部所輸出的高頻功率的大小在與所述第1期間不同的所述控制周期中的第2期間成為比所述第1水平低的第2水平，

所述控制部使所述第1期間的長度相對于所述控制周期的長度的比以及所述第2水平的至少一方漸減或漸增，

所述控制部在使所述比以及所述第2水平的至少一方漸減的情況下，使所述第1水平漸增，使得所述第1高頻輸出部以及所述第2高頻輸出部所輸出的高頻功率的和的平均值成為固定，

所述控制部在使所述比以及所述第2水平的至少一方漸增的情況下，使所述第1水平漸減，使得所述第1高頻輸出部以及所述第2高頻輸出部所輸出的高頻功率的和的平均值成為固定。

6.一種高頻功率的輸出方法，輸出基于被周期性地控制振幅或相位的高頻信號從而大小被控制的高頻功率，其特征在于，

控制所述高頻信號的振幅或相位，使得所述高頻功率的大小在控制周期中的第1期間成為第1水平，在與所述第1期間不同的所述控制周期中的第2期間成為比所述第1水平低的第2水平，

使所述第1期間的長度相對于所述控制周期的長度的比以及所述第2水平的至少一方漸減或漸增，

在使所述比以及所述第2水平的至少一方漸減的情況下，使所述第1水平漸增，使得所述高頻功率的平均值成為固定，

在使所述比以及所述第2水平的至少一方漸增的情況下，使所述第1水平漸減，使得所述高頻功率的平均值成為固定。