[發明專利]曝光裝置、平面顯示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法

有效

• 申請號: 202010960580.4
• 申請日: 2016-03-31
• 公開（公告）號: CN112162465B
• 公開（公告）日: 2023-06-20
• 發明（設計）人: 內藤一夫;青木保夫;長島雅幸
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種曝光裝置，一邊使投影光學系相對物體在掃描方向上移動，一邊經由該投影光學系對該物體照射光以對該物體進行掃描曝光，其特征在于其具備：

標記檢測部，其在該掃描方向上設在該投影光學系的一側，檢測在該掃描方向上設在該物體的不同位置的第1標記及第2標記；以及

控制裝置，使該投影光學系及該標記檢測部沿著該掃描方向移動；

該控制裝置以該投影光學系與該標記檢測部彼此不接觸的方式，

使該標記檢測部移動至能檢測配置于該物體的第1區劃區域的附近的該第1標記的第1位置、與能檢測配置于在該掃描方向上與該物體的該第1區劃區域并列的第2區劃區域的附近的該第2標記的第2位置的各個，

基于由該標記檢測部所檢測的該第1標記的檢測結果，使該投影光學系相對該第1區劃區域移動，

基于由該標記檢測部所檢測的該第2標記的檢測結果，使該投影光學系相對該第2區劃區域移動。

2.一種曝光裝置，一邊使投影光學系相對物體在掃描方向上移動，一邊經由該投影光學系對該物體照射光以對該物體進行掃描曝光，其特征在于其具備：

標記檢測部，其在該掃描方向上設在該投影光學系的一側，檢測在該掃描方向上設在該物體的不同位置的第1標記及第2標記；以及

控制裝置，使該投影光學系及該標記檢測部沿著該掃描方向移動；

該控制裝置以使該投影光學系與該標記檢測部的間隔相距既定距離以上的方式，

使該標記檢測部移動至能檢測配置于該物體的第1區劃區域的附近的該第1標記的第1位置、與能檢測配置于在該掃描方向上與該物體的該第1區劃區域并列的第2區劃區域的附近的該第2標記的第2位置的各個，

基于由該標記檢測部所檢測的該第1標記的檢測結果，使該投影光學系相對該第1區劃區域移動，

基于由該標記檢測部所檢測的該第2標記的檢測結果，使該投影光學系相對該第2區劃區域移動。

3.一種曝光裝置，一邊使投影光學系相對物體在掃描方向上移動，一邊經由該投影光學系對該物體照射光以對該物體進行掃描曝光，其特征在于其具備：

標記檢測部，其在該掃描方向上設在該投影光學系的一側，檢測在該掃描方向上設在該物體的不同位置的第1標記及第2標記；以及

控制裝置，使該投影光學系及該標記檢測部沿著該掃描方向移動；

該控制裝置以該投影光學系停止移動的停止位置、與該標記檢測部停止移動的停止位置不重疊的方式，

使該標記檢測部移動至能檢測配置于該物體的第1區劃區域的附近的該第1標記的第1位置、與能檢測配置于在該掃描方向上與該物體的該第1區劃區域并列的第2區劃區域的附近的該第2標記的第2位置的各個，

基于由該標記檢測部所檢測的該第1標記的檢測結果，使該投影光學系相對該第1區劃區域移動，

基于由該標記檢測部所檢測的該第2標記的檢測結果，使該投影光學系相對該第2區劃區域移動。

4.一種曝光裝置，一邊使投影光學系相對物體在掃描方向上移動，一邊經由該投影光學系對該物體照射光以對該物體進行掃描曝光，其特征在于其具備：

標記檢測部，其在該掃描方向上設在該投影光學系的一側，檢測在該掃描方向上設在該物體的不同位置的第1標記及第2標記；以及

控制裝置，使該投影光學系及該標記檢測部沿著該掃描方向移動；

該控制裝置以使該投影光學系的移動開始時序與該標記檢測部的移動開始時序相異的方式，

使該標記檢測部移動至能檢測配置于該物體的第1區劃區域的附近的該第1標記的第1位置、與能檢測配置于在該掃描方向上與該物體的該第1區劃區域并列的第2區劃區域的附近的該第2標記的第2位置的各個，

基于由該標記檢測部所檢測的該第1標記的檢測結果，使該投影光學系相對該第1區劃區域移動，

基于由該標記檢測部所檢測的該第2標記的檢測結果，使該投影光學系相對該第2區劃區域移動。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的曝光裝置，其特征在于其進而具備：

第2檢測部，其在該掃描方向上設在該投影光學系的另一側；

該控制裝置，一邊基于由該標記檢測部所檢測的該第1標記及該第2標記的檢測結果使該投影光學系移動于該一側，一邊使該第2檢測部以不接觸該投影光學系的方式往該一側移動。