[發(fā)明專利]一種傳感器及其制作方法和測試方法、測試裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010955216.9
• 申請日: 2020-09-11
• 公開（公告）號: CN112050949B
• 公開（公告）日: 2022-03-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李凡;張俊瑞;蘭榮華;王志東;周麗佳
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G01J5/12
• 分類號: G01J5/12;G01J5/16;G01J5/10;G01J5/20;G01J5/22;G01J5/00;G01J5/02
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11319
• 代理人: 李娜

本發(fā)明提供了一種傳感器及其制作方法和測試方法、測試裝置，涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域，目的是提供一種新型的傳感器。傳感器包括：襯底和位于襯底之上的至少一個紅外測溫單元；紅外測溫子單元包括：第一支撐部、至少一個第二支撐部、熱電偶和紅外吸收部；其中，熱電偶包括第一電極和第二電極，第一電極和第二電極分別包括第一端和第二端；第一電極的第一端和第二電極的第一端相連、且位于第一支撐部之上；紅外吸收部位于第一支撐部之上且覆蓋第一電極的第一端和第二電極的第一端；第一電極的第二端和第二電極的第二端不相連、且位于第二支撐部之上；紅外測溫單元中，至少相鄰的第一支撐部和第二支撐部之間包括空腔結(jié)構(gòu)。本發(fā)明適用于傳感器的制作。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種傳感器及其制作方法和測試方法、測試裝置。

背景技術(shù)

紅外熱電堆溫度傳感器具有結(jié)構(gòu)簡單、制造方便、測量范圍廣、精度高等優(yōu)點，在溫度測量領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。但是目前市場上的紅外熱電堆溫度傳感器類型單一，不能滿足市場多樣化的需求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的實施例提供一種傳感器及其制作方法和測試方法、測試裝置，目的是提供一種新型的傳感器，以滿足市場需求。

為達到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案：

一方面，提供了一種傳感器，包括：襯底和位于所述襯底之上的至少一個紅外測溫單元；所述紅外測溫單元包括至少一個紅外測溫子單元；

所述紅外測溫子單元包括：第一支撐部、至少一個第二支撐部、熱電偶和紅外吸收部；

其中，所述熱電偶包括第一電極和第二電極，所述第一電極和所述第二電極分別包括第一端和第二端；所述第一電極的第一端和所述第二電極的第一端相連、且位于所述第一支撐部之上；所述紅外吸收部位于所述第一支撐部之上且覆蓋所述第一電極的第一端和所述第二電極的第一端；所述第一電極的第二端和所述第二電極的第二端不相連、且位于所述第二支撐部之上；

所述傳感器中，至少相鄰的所述第一支撐部和所述第二支撐部之間包括空腔結(jié)構(gòu)。

可選的，所述紅外測溫子單元中，所述第一支撐子部包括第一犧牲子部和第一支撐子部，第二支撐部包括第二犧牲子部和第二支撐子部；所述第一犧牲子部和所述第二犧牲子部同層設(shè)置，所述第一支撐子部和所述第二支撐子部同層設(shè)置；

其中，所述第一支撐子部包括覆蓋子部和圍繞所述覆蓋子部的延伸子部，所述覆蓋子部覆蓋所述第一犧牲子部；所述熱電偶的所述第一電極和所述第二電極的第一端均位于所述延伸子部之上；所述紅外吸收部位于所述延伸子部之上且覆蓋所述第一電極的第一端和所述第二電極的第一端；所述第一電極的第二端和所述第二電極的第二端位于所述第二支撐子部之上；所述第二支撐子部覆蓋所述第二犧牲子部；

所述傳感器中，至少相鄰的所述第一犧牲子部和所述第二犧牲子部之間包括空腔結(jié)構(gòu)。

可選的，所述紅外測溫單元包括多個所述紅外測溫子單元；

所述傳感器中，任意相鄰的所述第一犧牲子部之間、任意相鄰的所述第二犧牲子部之間、任意相鄰的所述第一犧牲子部和所述第二犧牲子部之間均包括空腔結(jié)構(gòu)。

可選的，所述紅外測溫子單元還包括：第一絕緣部和至少一個第二絕緣部，所述第一絕緣部和所述第二絕緣部同層設(shè)置，所述第一絕緣部覆蓋所述第一支撐子部、且位于所述第一支撐子部和所述熱電偶之間，所述第二絕緣部覆蓋所述第二支撐子部、且位于所述第二支撐子部和所述熱電偶之間。

可選的，所述第一犧牲子部和所述第二犧牲子部的材料包括有機材料，所述第一支撐子部和所述第二支撐子部的材料包括金屬，所述熱電偶的材料包括金屬或者金屬合金。

可選的，所述傳感器還包括位于所述襯底和至少一個所述紅外測溫子單元之間的至少一個可見光傳感單元；所述可見光傳感單元包括：叉指電極和覆蓋所述叉指電極的可見光吸收部。