[發明專利]一種傳感器及其制作方法和測試方法、測試裝置

有效

• 申請號: 202010955216.9
• 申請日: 2020-09-11
• 公開（公告）號: CN112050949B
• 公開（公告）日: 2022-03-15
• 發明（設計）人: 李凡;張俊瑞;蘭榮華;王志東;周麗佳
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G01J5/12
• 分類號: G01J5/12;G01J5/16;G01J5/10;G01J5/20;G01J5/22;G01J5/00;G01J5/02
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319
• 代理人: 李娜

1.一種傳感器，其特征在于，包括：襯底和位于所述襯底之上的至少一個紅外測溫單元；所述紅外測溫單元包括至少一個紅外測溫子單元；

所述紅外測溫子單元包括：第一支撐部、至少一個第二支撐部、熱電偶和紅外吸收部；

其中，所述熱電偶包括第一電極和第二電極，所述第一電極和所述第二電極分別包括第一端和第二端；所述第一電極的第一端和所述第二電極的第一端相連、且位于所述第一支撐部之上；所述紅外吸收部位于所述第一支撐部之上且覆蓋所述第一電極的第一端和所述第二電極的第一端；所述第一電極的第二端和所述第二電極的第二端不相連、且位于所述第二支撐部之上；

所述紅外測溫單元中，至少相鄰的所述第一支撐部和所述第二支撐部之間包括空腔結構。

2.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述紅外測溫子單元中，所述第一支撐部包括第一犧牲子部和第一支撐子部，第二支撐部包括第二犧牲子部和第二支撐子部；所述第一犧牲子部和所述第二犧牲子部同層設置，所述第一支撐子部和所述第二支撐子部同層設置；

其中，所述第一支撐子部包括覆蓋子部和圍繞所述覆蓋子部的延伸子部，所述覆蓋子部覆蓋所述第一犧牲子部；所述熱電偶的所述第一電極和所述第二電極的第一端均位于所述延伸子部之上；所述紅外吸收部位于所述延伸子部之上且覆蓋所述第一電極的第一端和所述第二電極的第一端；所述第一電極的第二端和所述第二電極的第二端位于所述第二支撐子部之上；所述第二支撐子部覆蓋所述第二犧牲子部；

所述紅外測溫單元中，至少相鄰的所述第一犧牲子部和所述第二犧牲子部之間包括空腔結構。

3.根據權利要求2所述的傳感器，其特征在于，所述紅外測溫單元包括多個所述紅外測溫子單元；

所述紅外測溫單元中，任意相鄰的所述第一犧牲子部之間、任意相鄰的所述第二犧牲子部之間、任意相鄰的所述第一犧牲子部和所述第二犧牲子部之間均包括空腔結構。

4.根據權利要求2所述的傳感器，其特征在于，所述紅外測溫子單元還包括：第一絕緣部和至少一個第二絕緣部，所述第一絕緣部和所述第二絕緣部同層設置，所述第一絕緣部覆蓋所述第一支撐子部、且位于所述第一支撐子部和所述熱電偶之間，所述第二絕緣部覆蓋所述第二支撐子部、且位于所述第二支撐子部和所述熱電偶之間。

5.根據權利要求2所述的傳感器，其特征在于，所述第一犧牲子部和所述第二犧牲子部的材料包括有機材料，所述第一支撐子部和所述第二支撐子部的材料包括金屬，所述熱電偶的材料包括純金屬或者金屬合金。

6.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述傳感器還包括位于所述襯底和至少一個所述紅外測溫子單元之間的至少一個可見光傳感單元；所述可見光傳感單元包括：叉指電極和覆蓋所述叉指電極的可見光吸收部。

7.根據權利要求6所述的傳感器，其特征在于，所述可見光傳感單元在所述襯底之上的正投影至少部分位于所述紅外測溫子單元的空腔結構在所述襯底之上的正投影以內。

8.根據權利要求6所述的傳感器，其特征在于，所述叉指電極包括第一梳狀電極和第二梳狀電極；所述第一梳狀電極包括：平行排布的多個第一梳齒電極和連接多個所述第一梳齒電極的第一梳柄電極，所述第二梳狀電極包括：平行排布的多個第二梳齒電極和連接多個所述第二梳齒電極的第二梳柄電極，多個所述第一梳齒電極和多個所述第二梳齒電極相互交叉設置。

9.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，多個所述紅外測溫單元呈陣列排布。

10.根據權利要求1-9任一項所述的傳感器，其特征在于，所述襯底的材料包括玻璃或者聚酰亞胺。

11.一種測試裝置，其特征在于，包括權利要求1-10任一項所述的傳感器。