[發明專利]一種用于角拋光硅片樣品的裝置、設備及方法

有效

• 申請號: 202010944806.1
• 申請日: 2020-09-10
• 公開（公告）號: CN112025469B
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發明（設計）人: 金鉉洙
• 申請（專利權）人: 西安奕斯偉材料科技有限公司;西安奕斯偉硅片技術有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B41/06;B24B29/02;B24B49/02;G01N1/32
• 代理公司: 西安維英格知識產權代理事務所(普通合伙) 61253
• 代理人: 李斌棟;姚勇政

1.一種用于角拋光硅片樣品的裝置，其特征在于，所述裝置包括：

具有用于拋光所述硅片樣品的拋光面的拋光板，所述拋光板被驅動成繞公轉軸線進行公轉的同時繞自轉軸線進行自轉，其中，所述公轉和所述自轉的轉向相反；

固定至所述拋光板的環形構件，

置于所述拋光板的拋光面上并且處于所述環形構件圍繞出的環形區域內的夾具，所述夾具用于夾持所述硅片樣品；

其中，所述公轉使所述夾具在離心作用下壓靠在所述環形構件上，所述自轉使所述環形構件沿著所述夾具的切向方向相對于所述夾具運動并為所述夾具提供切向摩擦力，以驅動所述夾具在所述拋光板的拋光面上自轉。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述環形構件能夠產生徑向向外的彈性變形。

3.根據權利要求2所述的裝置，其特征于，所述環形構件為橡皮筋。

4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述夾具具有相對于所述拋光板的拋光面傾斜的傾斜表面，并且所述硅片樣品以貼合所述傾斜表面的方式被夾持。

5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述拋光板的拋光面上被注有拋光劑。

6.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述拋光板的拋光面的材質為強化丙烯聚合物。

7.一種用于角拋光硅片樣品的設備，其特征在于，所述設備包括：

根據權利要求1至6中任一項所述的裝置；

用于支撐所述裝置的拋光板的偏心旋轉軸，其中，所述拋光板能夠繞所述偏心旋轉軸自轉；

平行于所述偏心旋轉軸的中心旋轉軸；

固定地連接所述中心旋轉軸與所述偏心旋轉軸的連接軸；

用于驅動所述中心旋轉軸旋轉的馬達。

8.根據權利要求7所述的設備，其特征在于，所述偏心旋轉軸與所述拋光板之間通過軸承連接，使得所述拋光板在繞所述公轉軸線進行公轉的過程中通過慣性繞所述自轉軸線進行自轉。

9.一種用于角拋光硅片樣品的方法，其特征在于，所述方法應用于根據權利要求1至6中任一項所述的裝置，所述方法包括：

將所述硅片樣品夾持在所述夾具上；

將所述夾具置于所述拋光板的拋光面上的所述環形構件圍繞出的環形區域內；

驅動所述拋光板繞公轉軸線進行公轉的同時繞自轉軸線進行自轉；

使所述夾具在所述拋光板的拋光面上自轉并由此對所述硅片樣品進行角拋光。

10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述拋光板從靜止開始緩慢加速至以設定角度速繞所述公轉軸線公轉。