[發(fā)明專利]一種玻璃基板鍍膜裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010938628.1
• 申請日: 2020-09-09
• 公開（公告）號: CN112144017A
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張麒麟
• 申請（專利權(quán)）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12;C23C14/04
• 代理公司: 福州市博深專利事務(wù)所(普通合伙) 35214
• 代理人: 顏麗蓉

本發(fā)明涉及鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種玻璃基板鍍膜裝置，包括蒸發(fā)源擋板、掩膜板和蒸發(fā)源，蒸發(fā)源擋板位于掩膜板和蒸發(fā)源之間，蒸發(fā)源擋板包括四個以上的遮擋板，四個以上的遮擋板之間相互滑動連接，掩膜板上設(shè)有兩個以上的緩沖條，兩個以上的緩沖條將掩膜板劃分成若干個無緩沖區(qū)域，一個遮擋板對應(yīng)一個無緩沖區(qū)域，通過設(shè)置緩沖條，能夠避免各器件疊加造成突起與玻璃基板不能完全重疊，引起混色問題；四個以上的遮擋板之間相互滑動連接，以及緩沖條的配合，使得能夠在一塊玻璃基板上實現(xiàn)單色或全彩器件成膜，大大提高了器件研發(fā)過程中基板及材料消耗量，縮短了研發(fā)周期提高了設(shè)備利用率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種玻璃基板鍍膜裝置。

背景技術(shù)

OLED(英文全稱為Organic Light-emitting Diode，即有機發(fā)光二極管)，是繼LCD后新一代的顯示器，主要采用蒸鍍制程工藝，在高真空環(huán)境下材料受熱汽化后沉積到玻璃基板上形成有機薄膜，用于實現(xiàn)OLED器件發(fā)光。在開始蒸鍍生產(chǎn)前，一般根據(jù)OLED顯示器產(chǎn)品的設(shè)計要求，制定出理論最優(yōu)的器件膜層結(jié)構(gòu)，然后進行RGB單色、全彩色器件成膜進行驗證及改進實驗，最后進行量產(chǎn)生產(chǎn)，成膜過程大致為玻璃基板依次經(jīng)過OLED器件結(jié)構(gòu)各功能層腔體成膜再封裝成試驗片。如此成膜后的每片玻璃基板制備的器件膜層結(jié)構(gòu)及厚度相同，只能制備單一顏色及單膜厚條件器件，如需制備多顏色多膜厚條件的試驗器件就需要多片玻璃基板進行不同膜厚條件成膜，器件制備過程較長且成本高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是：提供一種玻璃基板鍍膜裝置，使得能夠在一塊玻璃基板上實現(xiàn)RGB單色或全彩器件成膜，大大提高了器件研發(fā)過程中基板及材料消耗量，縮短了研發(fā)周期提高了設(shè)備利用率。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：

一種玻璃基板鍍膜裝置，包括蒸發(fā)源擋板、掩膜板和蒸發(fā)源，所述蒸發(fā)源擋板位于掩膜板和蒸發(fā)源之間，所述蒸發(fā)源擋板包括四個以上的遮擋板，四個以上的所述遮擋板之間相互滑動連接，所述掩膜板上設(shè)有兩個以上的緩沖條，兩個以上的所述緩沖條將掩膜板劃分成若干個無緩沖區(qū)域，一個所述遮擋板對應(yīng)一個無緩沖區(qū)域，所述掩膜板遠離蒸發(fā)源擋板的一側(cè)面上放置有待鍍膜的玻璃基板。

本發(fā)明的有益效果在于：

通過設(shè)置緩沖條，能夠避免各器件疊加造成突起與玻璃基板不能完全重疊，引起混色問題；四個以上的遮擋板之間相互滑動連接，以及緩沖條的配合，使得能夠在一塊玻璃基板上實現(xiàn)RGB單色或全彩器件成膜，大大提高了器件研發(fā)過程中基板及材料消耗量，縮短了研發(fā)周期提高了設(shè)備利用率。

附圖說明

圖1為根據(jù)本發(fā)明的一種玻璃基板鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為根據(jù)本發(fā)明的一種玻璃基板鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為根據(jù)本發(fā)明的一種玻璃基板鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為根據(jù)本發(fā)明的一種玻璃基板鍍膜裝置的掩膜板的爆炸圖；

圖5為根據(jù)本發(fā)明的一種玻璃基板鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為根據(jù)本發(fā)明的一種玻璃基板鍍膜裝置的不同玻璃基板區(qū)域制備不同顏色器件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7為根據(jù)本發(fā)明的一種玻璃基板鍍膜裝置的蒸發(fā)源擋板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8為根據(jù)本發(fā)明的一種玻璃基板鍍膜裝置的蒸發(fā)源擋板的開合的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9為根據(jù)本發(fā)明的一種玻璃基板鍍膜裝置的蒸發(fā)源擋板的開合的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖10為根據(jù)本發(fā)明的一種玻璃基板鍍膜裝置的蒸發(fā)源擋板的開合的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖11為根據(jù)本發(fā)明的一種玻璃基板鍍膜裝置的蒸發(fā)源擋板的開合的結(jié)構(gòu)示意圖；