[發明專利]一種玻璃基板鍍膜裝置

在審

• 申請號: 202010938628.1
• 申請日: 2020-09-09
• 公開（公告）號: CN112144017A
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發明（設計）人: 張麒麟
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12;C23C14/04
• 代理公司: 福州市博深專利事務所(普通合伙) 35214
• 代理人: 顏麗蓉

1.一種玻璃基板鍍膜裝置，其特征在于，包括蒸發源擋板、掩膜板和蒸發源，所述蒸發源擋板位于掩膜板和蒸發源之間，所述蒸發源擋板包括四個以上的遮擋板，四個以上的所述遮擋板之間相互滑動連接，所述掩膜板上設有兩個以上的緩沖條，兩個以上的所述緩沖條將掩膜板劃分成若干個無緩沖區域，一個所述遮擋板對應一個無緩沖區域，所述掩膜板遠離蒸發源擋板的一側面上放置有待鍍膜的玻璃基板。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板鍍膜裝置，其特征在于，所述緩沖條的形狀為長方形，所述蒸發源位于掩膜板的正下方，所述緩沖條的寬度為2*h/tanθ+L，其中h為玻璃基板與蒸發源擋板之間的距離，θ為蒸發源的噴射角，L為安全距離。

3.根據權利要求2所述的玻璃基板鍍膜裝置，其特征在于，所述安全距離為1cm-3cm。

4.根據權利要求1所述的玻璃基板鍍膜裝置，其特征在于，所述掩膜板包括中部鏤空的掩膜框，所述掩膜框設置在蒸發源擋板上方，兩個以上的所述緩沖條均設置在掩膜框遠離蒸發源擋板的一側面，所述掩膜框遠離蒸發源擋板的一側面上還依次疊放有兩個以上的支撐條、兩個以上的遮擋條和兩個以上的掩膜條，相鄰兩個所述掩膜條之間通過一個遮擋條隔開，所述掩膜條上分布有兩個以上的鍍膜區域。

5.根據權利要求1所述的玻璃基板鍍膜裝置，其特征在于，所述遮擋板的數量為四個，所述緩沖條的數量為兩個，四個所述遮擋板之間呈陣列分布，兩個所述緩沖條之間相互垂直且將掩膜板劃分成四個無緩沖區域。

6.根據權利要求1所述的玻璃基板鍍膜裝置，其特征在于，所述緩沖條的材質為invar合金。