[發明專利]艙門氣壓調整裝置

在審

• 申請號: 202010936848.0
• 申請日: 2020-09-08
• 公開（公告）號: CN112103170A
• 公開（公告）日: 2020-12-18
• 發明（設計）人: 于津;烏月恒
• 申請（專利權）人: 珠海美華醫療科技有限公司
• 主分類號: H01J49/04
• 分類號: H01J49/04;G01N27/62
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 鄭晨鳴

本發明公開了一種艙門氣壓調整裝置，包括質譜儀本體、靶板、升降機構、可開合的艙門、導氣組件和抽真空組件，其中，質譜儀本體內部設置有相互連通的真空腔體和過渡腔體，靶板和升降機構設于真空腔體的內部，升降機構用于驅動靶板上升或下降，當升降機構將靶板升起并置于過渡腔體與真空腔體之間時，過渡腔體與真空腔體相互獨立；艙門設于質譜儀本體上且位于過渡腔體的一側，艙門用于封蓋或打開過渡腔體；導氣組件和抽真空組件均與過渡腔體連通，導氣組件用于向過渡腔體內部導入氣體，抽真空組件用于對過渡腔體內部進行抽真空。根據本發明的艙門氣壓調整裝置，便于在不破壞質譜儀的真空環境的情況下，實現樣品的放入與取出。

技術領域

本發明涉及質譜儀技術領域，尤其是涉及一種艙門氣壓調整裝置。

背景技術

質譜儀是用來分離和檢測不同同位素的儀器，在科學研究過程中是常用的設備。而基質輔助激光解吸電離飛行時間質譜儀是一款常用于大分子樣品分析的生物質譜儀器，該儀器需要在真空狀態下進行樣品分析，而樣品不能直接從常壓狀態下進入到真空環境中，因此需要有個過渡環境讓樣品從常壓狀態下能逐漸穩定的轉化為真空狀態，同時不會影響儀器的真空參數，保證分析結果的準確度。現有技術中，通常在質譜儀內部的真空腔體的上方設置一個過渡腔體，在放入樣品前，先將樣品放在過渡腔體中，并用真空泵對過渡腔體進行預抽，待過渡腔體逐漸有常壓狀態轉化為真空狀態，再將樣品傳送進真空腔體。但是現有技術中，實現過渡腔體在常壓狀態與真空狀態進行相互的轉變的結構設計較為復雜，而且在過渡腔體進行狀態轉變的過程中，容易破壞真空腔體的真空參數，從而影響到分析結果的準確度。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本發明提出了一種艙門氣壓調整裝置，便于在不破壞質譜儀內部的真空環境的情況下，實現樣品的放入與取出。

根據本發明實施例的艙門氣壓調整裝置，包括：質譜儀本體，所述質譜儀本體內部設置有相互連通的真空腔體和過渡腔體；靶板，設于所述真空腔體的內部；升降機構，設于所述真空腔體的內部，所述升降機構用于驅動所述靶板上升或下降；可開合的艙門，設于所述質譜儀本體上且位于所述過渡腔體的一側，所述艙門用于封蓋或打開所述過渡腔體；導氣組件，與所述過渡腔體連通，所述導氣組件用于向所述過渡腔體內部導入氣體；抽真空組件，與所述過渡腔體連通，所述抽真空組件用于對所述過渡腔體進行抽真空；其中，當所述升降機構將所述靶板升起并置于所述過渡腔體與所述真空腔體之間時，所述過渡腔體與所述真空腔體相互獨立。

根據本發明實施例的艙門氣壓調整裝置，至少具有如下有益效果：在進樣前，升降機構帶動靶板向上移動，直到靶板使真空腔體和過渡腔體相互獨立；利用導氣組件，使過渡腔體與外界空氣連通，從而使過渡腔體逐漸由真空狀態轉化為常壓狀態，此時再打開艙門，將樣品滴在靶板上，隨即關閉艙門；接著利用抽真空組件，對過渡腔體進行抽真空操作，使得過渡腔體由常壓狀態逐漸轉化為真空狀態，再啟動升降機構，驅動靶板和樣品下降進入到真空腔體中。通過這樣的設置，便可以在不破壞質譜儀本體內部的真空環境的情況下，實現樣品的放入與取出，操作方法簡單，且確保了質譜儀本體內部的真空環境。

根據本發明的一些實施例，所述導氣組件包括：第一導通管，所述第一導通管的一端與所述過渡腔體連通；第一閥門，所述第一導通管的另一端通過所述第一閥門與外界空氣連通。

根據本發明的一些實施例，所述抽真空組件包括：真空泵；第二閥門；第二導通管，所述第二導通管的一端與所述過渡腔體連通，所述第二導通管的另一端通過所述第二閥門與所述真空泵連接。

根據本發明的一些實施例，還包括真空檢測組件，所述真空檢測組件與所述第二導通管連通，所述真空檢測組件用于測量所述過渡腔體內部的真空度。

根據本發明的一些實施例，還包括：固定殼體，設置于所述質譜儀本體的外側壁；第三導通管，設置于所述固定殼體內部，所述第三導通管的一端與所述過渡腔體連通，所述第三導通管的另一端分別與所述導氣組件和所述抽真空組件連通。