[發明專利]艙門氣壓調整裝置

在審

• 申請號: 202010936848.0
• 申請日: 2020-09-08
• 公開（公告）號: CN112103170A
• 公開（公告）日: 2020-12-18
• 發明（設計）人: 于津;烏月恒
• 申請（專利權）人: 珠海美華醫療科技有限公司
• 主分類號: H01J49/04
• 分類號: H01J49/04;G01N27/62
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 鄭晨鳴

1.一種艙門氣壓調整裝置，其特征在于，包括：

質譜儀本體，所述質譜儀本體內部設置有相互連通的真空腔體和過渡腔體；

靶板，設于所述真空腔體的內部；

升降機構，設于所述真空腔體的內部，所述升降機構用于驅動所述靶板上升或下降；

可開合的艙門，設于所述質譜儀本體上且位于所述過渡腔體的一側，所述艙門用于封蓋或打開所述過渡腔體；

導氣組件，與所述過渡腔體連通，所述導氣組件用于向所述過渡腔體內部導入氣體；

抽真空組件，與所述過渡腔體連通，所述抽真空組件用于對所述過渡腔體進行抽真空；

其中，當所述升降機構將所述靶板升起并置于所述過渡腔體與所述真空腔體之間時，所述過渡腔體與所述真空腔體相互獨立。

2.根據權利要求1所述的艙門氣壓調整裝置，其特征在于，所述導氣組件包括：

第一導通管，所述第一導通管的一端與所述過渡腔體連通；

第一閥門，所述第一導通管的另一端通過所述第一閥門與外界空氣連通。

3.根據權利要求1所述的艙門氣壓調整裝置，其特征在于，所述抽真空組件包括：

真空泵；

第二閥門；

第二導通管，所述第二導通管的一端與所述過渡腔體

連通，所述第二導通管的另一端通過所述第二閥門與所述真空泵連接。

4.根據權利要求3所述的艙門氣壓調整裝置，其特征在于，還包括真空檢測組件，所述真空檢測組件與所述第二導通管連通，所述真空檢測組件用于測量所述過渡腔體內部的真空度。

5.根據權利要求1至4任一項所述的艙門氣壓調整裝置，其特征在于，還包括：

固定殼體，設置于所述質譜儀本體的外側壁；

第三導通管，設置于所述固定殼體內部，所述第三導通管的一端與所述過渡腔體連通，所述第三導通管的另一端分別與所述導氣組件和所述抽真空組件連通。

6.根據權利要求1所述的艙門氣壓調整裝置，其特征在于，還包括：

移動機構，設于所述真空腔體內部，所述移動機構用于驅動所述靶板在所述真空腔體內部前后移動或左右移動；

靶板轉移組件，設于所述真空腔體內部，所述靶板轉移組件用于驅動所述靶板從所述升降機構轉移到所述移動機構，或者驅動所述靶板從所述移動機構轉移到所述升降機構。

7.根據權利要求6所述的艙門氣壓調整裝置，所述移動機構包括：

橫向導軌，所述橫向導軌上設置有滑動座；

第一驅動器，與所述滑動座連接，所述第一驅動器用于驅動所述滑動座沿著所述橫向導軌滑動；

縱向導軌，設置于所述滑動座的上端；

滑動臺，設置于所述縱向導軌上；

第二驅動器，與所述滑動臺連接，所述第二驅動器用于驅動所述滑動臺沿著所述縱向導軌滑動；

若干個支撐柱，設于所述滑動臺的上端，所述支撐柱用于承托所述靶板。

8.根據權利要求6或7所述的艙門氣壓調整裝置，其特征在于，所述靶板轉移組件包括：

U型托臺，用于承托所述靶板；

底座，設置于所述真空腔體的底面；

至少兩組連桿組件，每組所述連桿組件包括兩個連桿，兩個所述連桿的第一端分別與所述U型托臺的開口兩側轉動連接，兩個所述連桿的第二端分別與所述底座轉動連接；

第三驅動器，與每個所述連桿的第二端連接，所述第三驅動器用于驅動所述連桿轉動，從而使所述U型托臺將所述靶板從所述升降機構轉移到所述移動機構上，或者將所述靶板從所述移動機構轉移到所述升降機構上。

9.根據權利要求1所述的艙門氣壓調整裝置，其特征在于，所述升降機構包括：

頂桿；

托塊，設置于所述頂桿的上表面，所述托塊用于承托所述靶板；

第四驅動器，設置于所述質譜儀本體上，所述第四驅動器的驅動端通過傳導組件與所述頂桿的下端傳動連接，以驅動所述頂桿上升或下降。

10.根據權利要求9所述的艙門氣壓調整裝置，其特征在于，所述第四驅動器以及所述傳導組件設于所述質譜儀本體的下方，所述第四驅動器的驅動端通過所述傳導組件與所述頂桿的一端傳動連接，所述頂桿的另一端延伸進所述真空腔體內部，所述升降機構還包括：

套筒，套設于所述頂桿的外側，所述套筒的下端設置于所述真空腔體的底面；

彈性伸縮管，套接于所述套筒的上端和所述托塊之間；

其中，所述套筒、所述托塊和所述彈性伸縮管所包覆的空間與所述真空腔體彼此獨立。