[發明專利]一種鉬鈮靶材組件中背板的水道口的拋光工藝有效
| 申請號： | 202010935907.2 | 申請日： | 2020-09-08 |
| 公開（公告）號： | CN112008508B | 公開（公告）日： | 2022-05-17 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;竇興賢;王學澤;王青松;劉明健 | 申請（專利權）人： | 合肥江豐電子材料有限公司 |
| 主分類號： | B24B1/00 | 分類號： | B24B1/00;B24B29/00 |
| 代理公司： | 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659 | 代理人： | 王巖 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 鉬鈮靶材 組件 背板 水道 拋光 工藝 | ||
1.一種鉬鈮靶材組件中背板的水道口的拋光工藝，其特征在于，所述拋光工藝包括對鉬鈮靶材組件中背板的水道口采用傘狀拋光刷進行拋光；所述拋光中拋光刷的旋轉方向為順時針；
所述傘狀拋光刷包括倒圓臺形拋光面及圍繞其分布的帶形拋光面；
所述倒圓臺形側面與水平面的夾角為85-88°，倒圓臺形拋光面的底面直徑為1.5-3cm；
所述帶形拋光面的寬度為0.2-0.5mm；
以水平面為基準，所述帶形拋光面中拋光絲呈輻射分布，分布范圍為0-45°。
2.如權利要求1所述的拋光工藝，其特征在于，所述拋光刷的拋光絲長度為15-20mm。
3.如權利要求1所述的拋光工藝，其特征在于，所述拋光中采用手槍鉆作為拋光刷的驅動工具。
4.如權利要求1所述的拋光工藝，其特征在于，所述拋光中拋光刷的轉速為0.8-1m/s。
5.如權利要求4所述的拋光工藝，其特征在于，所述拋光中拋光刷的轉速為0.85-0.9m/s。
6.如權利要求1所述的拋光工藝，其特征在于，所述拋光的時間為15-20s。
7.如權利要求6所述的拋光工藝，其特征在于，所述拋光的時間為16-18s。
8.如權利要求1所述的拋光工藝，其特征在于，所述拋光的深度＜0.05mm。
9.如權利要求8所述的拋光工藝，其特征在于，所述拋光的深度為0.01-0.03mm。
10.如權利要求1所述的拋光工藝，其特征在于，所述拋光工藝包括對鉬鈮靶材組件中背板的水道口采用傘狀拋光刷進行拋光；所述拋光中拋光刷的旋轉方式為順時針；所述拋光中拋光刷的轉速為0.8-1m/s；所述拋光的時間為15-20s；所述拋光的深度＜0.05mm；
所述傘狀拋光刷包括倒圓臺形拋光面及圍繞其分布的帶形拋光面；
所述倒圓臺形側面與水平面的夾角為85-88°，倒圓臺形拋光面的底面直徑為1.5-3cm；
所述帶形拋光面的寬度為0.2-0.5mm；
以水平面為基準，所述帶形拋光面中拋光絲呈輻射分布，分布范圍為0-45°。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于合肥江豐電子材料有限公司，未經合肥江豐電子材料有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202010935907.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
