[發明專利]距離傳感器像素陣列結構、距離傳感器及工作方法

在審

• 申請號: 202010933572.0
• 申請日: 2020-09-08
• 公開（公告）號: CN112038360A
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發明（設計）人: 東尚清
• 申請（專利權）人: 上海大芯半導體有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146;G01S7/481;G01S7/4865;G01S17/08
• 代理公司: 上海啟核知識產權代理有限公司 31339
• 代理人: 王仙子

1.一種距離傳感器像素陣列結構，其特征在于，包括：

呈陣列排布的多個像素單元，每個像素單元包括單光子雪崩二極管，相鄰所述像素單元分時工作。

2.如權利要求1所述的距離傳感器像素陣列結構，其特征在于，相鄰i行j列的像素單元構成一組像素單元，所述的距離傳感器像素陣列結構包括所述多組像素單元。

3.如權利要求1所述的距離傳感器像素陣列結構，其特征在于，相鄰所述像素單元之間設置有完全金屬隔離結構。

4.如權利要求1所述的距離傳感器像素陣列結構，其特征在于，還設置有多個濾光片，每個所述濾光片對應設置在每個像素單元上，至少部分所述濾光片為不同波長的濾光片。

5.一種距離傳感器，其特征在于，包括如權利要求1-4中任意一項所述的距離傳感器像素陣列結構。

6.一種距離傳感器的工作方法，其特征在于，包括：

相鄰像素單元之間的單光子雪崩二極管分時工作。

7.根據權利要求6所述的距離傳感器的工作方法，其特征在于，所述距離傳感器包括多組像素單元的陣列，每組像素單元在不同時間段開啟不同的像素單元，且相鄰組像素單元開啟的像素單元之間至少間隔一個像素單元。

8.如權利要求7所述的距離傳感器的工作方法，其特征在于，每個像素單元陣列按照像素排列位置分時工作。

9.如權利要求6所述的距離傳感器的工作方法，其特征在于，采用逐行掃描形式，奇數列和偶數列的像素單元分時工作。

10.如權利要求6所述的距離傳感器的工作方法，其特征在于，采用逐列掃描形式，奇數行和偶數行的像素單元分時工作。