[發明專利]激光束退火裝置

在審

• 申請號: 202010933338.8
• 申請日: 2020-09-08
• 公開（公告）號: CN113644006A
• 公開（公告）日: 2021-11-12
• 發明（設計）人: 車載賢;樸美敬;李感察;全文煐;崔京植
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;C30B28/02;C30B29/06
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 李盛泉;劉燦強

1.一種激光束退火裝置，配備有：

激光束源，能夠發出激光束；

均化器，位于從所述激光束源發出的激光束的光路徑上；

投影透鏡部，位于通過所述均化器的激光束的光路徑上；

密封殼體，收納所述投影透鏡部，并且具有能夠使通過所述投影透鏡部的激光束通過的密封開口；

密封透鏡，位于所述密封開口，具有凸透鏡和凹透鏡中的任意一個；

退火殼體，收納待退火的基板，并且具有能夠使通過所述密封透鏡的激光束通過的退火開口；以及

退火透鏡，位于所述退火開口，具有所述凸透鏡和凹透鏡中的另一個。

2.如權利要求1所述的激光束退火裝置，其中，還配備有：

密封遮蔽部，遮蔽所述密封殼體和所述密封透鏡之間的空間，且具有柔性；以及

退火遮蔽部，遮蔽所述退火殼體和所述退火透鏡之間的空間，且具有柔性。

3.如權利要求1所述的激光束退火裝置，其中，還配備有：

密封驅動器，為了改變向所述密封透鏡入射的激光束的入射角而能夠移動所述密封透鏡。

4.如權利要求1所述的激光束退火裝置，其中，還配備有：

密封驅動器，為了改變向所述密封透鏡入射的激光束的入射角而能夠旋轉所述密封透鏡。

5.如權利要求4所述的激光束退火裝置，其中，

所述密封透鏡是圓柱形透鏡。

6.如權利要求1所述的激光束退火裝置，其中，還配備有：

退火驅動器，為了改變向所述退火透鏡入射的激光束的入射角而能夠移動所述退火透鏡。

7.如權利要求1所述的激光束退火裝置，其中，還配備有：

退火驅動器，為了改變向所述退火透鏡入射的激光束的入射角而能夠旋轉所述退火透鏡。

8.如權利要求7所述的激光束退火裝置，其中，

所述退火透鏡是圓柱形透鏡。

9.如權利要求1所述的激光束退火裝置，其中，還配備有：

密封驅動器，為了改變向所述密封透鏡入射的激光束的入射角而能夠移動所述密封透鏡；以及

退火驅動器，為了改變向所述退火透鏡入射的激光束的入射角而能夠移動所述退火透鏡，

其中，所述密封驅動器以如下方式移動所述密封透鏡：在所述退火驅動器移動所述退火透鏡時使與所述密封透鏡的中心軸垂直的虛擬的第一平面與垂直于所述退火透鏡的中心軸的虛擬的第二平面平行。

10.如權利要求1所述的激光束退火裝置，其中，還配備有：

密封驅動器，為了改變向所述密封透鏡入射的激光束的入射角而能夠移動所述密封透鏡；以及

退火驅動器，為了改變向所述退火透鏡入射的激光束的入射角而能夠移動所述退火透鏡，

其中，所述退火驅動器以如下方式移動所述退火透鏡：在所述密封驅動器移動所述密封透鏡時使與所述退火透鏡的中心軸垂直的虛擬的第二平面與垂直于所述密封透鏡的中心軸的虛擬的第一平面平行。