[發(fā)明專利]立式連續(xù)真空工藝設(shè)備的載具

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010918939.1
• 申請(qǐng)日: 2020-09-04
• 公開（公告）號(hào): CN114141597A
• 公開（公告）日: 2022-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李原吉;劉品均;陳松醮;楊峻杰;蔡明展
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 友威科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/20
• 分類號(hào): H01J37/20;H01J37/32
• 代理公司: 北京匯智英財(cái)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11301
• 代理人: 劉祖芬

本發(fā)明提供一種立式連續(xù)真空工藝設(shè)備的載具，其用以夾固一基板，基板具有一上端、一下端，載具包括一本體、一第一夾具、一活動(dòng)座以及一第二夾具。本體貫穿設(shè)置一中空部；第一夾具展開或閉合地樞擺設(shè)置于本體，用以夾持于基板的上端；活動(dòng)座可垂直地設(shè)置于本體；第二夾具樞擺設(shè)置于活動(dòng)座，用以夾持于基板的下端；借此，當(dāng)?shù)谝粖A具與第二夾具于展開狀態(tài)時(shí)，中空部能夠承接基板，于第一夾具與第二夾具于閉合狀態(tài)時(shí)，將基板往下拉撐，借以保持基板的平直度，避免因蝕刻作業(yè)而變形。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是關(guān)于一種載具，特別是指一種立式連續(xù)真空工藝設(shè)備的載具。

背景技術(shù)

如中國(guó)臺(tái)灣專利I584706發(fā)明專利，其公開一種用以印刷電路板的電漿蝕刻裝置，主要采用氣流吸附板將印刷電路板吸附于其上，進(jìn)而以立式方式通過電漿進(jìn)行蝕刻印刷電路板的一表面。

然而，前述是利用固定組件設(shè)置于電漿蝕刻電極與氣流吸附板之間，以對(duì)應(yīng)固定于印刷電路板，其中，固定組件包括一背板、一夾置部，夾置部為框型，以將印刷電路板夾設(shè)固定于背板，再利用氣流吸附印刷電路板。

但是，發(fā)明人秉持著精益求精的精神，針對(duì)固定印刷電路板的固定方法加以研究，而創(chuàng)出一種立式連續(xù)真空工藝設(shè)備的載具，以更加穩(wěn)固的固定結(jié)構(gòu)，供相關(guān)業(yè)者所利用。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述問題，本發(fā)明提供一種立式連續(xù)真空工藝設(shè)備的載具，其利用第一夾具與第二夾具分別夾設(shè)基板的上端與下端，并于夾設(shè)固定時(shí)，使基板被向下拉撐，其夾持效果佳且能確保基板的平直度，避免蝕刻作業(yè)時(shí)基板彎曲變形。

為達(dá)上述目的，本發(fā)明實(shí)施例中提供一種立式連續(xù)真空工藝設(shè)備的載具，其用以夾固一基板，基板具有一上端、一下端，載具包括一本體、一第一夾具、一活動(dòng)座以及一第二夾具。本體為直立框體，本體具有一上部、一下部以及位于上部與下部?jī)蓚?cè)的一第一側(cè)面及一第二側(cè)面，第一側(cè)面及第二側(cè)面之間貫穿一中空部；第一夾具相對(duì)本體展開或閉合地樞擺設(shè)置于上部，用以夾持于基板的上端；活動(dòng)座垂直地設(shè)置于下部；第二夾具樞擺設(shè)置于活動(dòng)座，用以夾持于基板的下端；當(dāng)?shù)谝粖A具與第二夾具在展開狀態(tài)時(shí)，中空部能夠承接基板，當(dāng)?shù)谝粖A具與第二夾具在閉合狀態(tài)時(shí)，使基板往下被拉撐。

借此，當(dāng)?shù)谝粖A具與第二夾具同步閉合時(shí)，將基板向下拉撐，確保基板保持平直度，避免因蝕刻作業(yè)基板彎曲變形。

進(jìn)一步的，該下部與該活動(dòng)座之間設(shè)有一彈性構(gòu)件，用以使該活動(dòng)座常態(tài)地遠(yuǎn)離該上部方向而朝向該下部。

進(jìn)一步的，還包括一連接桿，該下部與該中空部的一側(cè)設(shè)有一連接邊，該連接桿穿設(shè)該活動(dòng)座而鎖設(shè)于該連接邊，該彈性構(gòu)件設(shè)于該活動(dòng)座與該連接桿之間。

進(jìn)一步的，該連接桿具有一螺部及一頭部，該螺部鎖設(shè)于該連接邊，該活動(dòng)座具有一彈簧槽，該彈性構(gòu)件一端設(shè)置于該頭部，另一端設(shè)置于該彈簧槽的底部。

進(jìn)一步的，該彈性構(gòu)件為拉伸彈簧；該活動(dòng)座的一側(cè)設(shè)有一第一導(dǎo)引部，該中空部?jī)?nèi)緣且鄰近于該連接邊設(shè)有一第二導(dǎo)引部，該第二導(dǎo)引部供該第一導(dǎo)引部滑動(dòng)配合。

進(jìn)一步的，該第一夾具包括一第一夾持件、一第一固定件以及一設(shè)置于該第一夾持件與該第一固定件之間的第一扭力彈簧，該第一固定件設(shè)置于該上部，該第一夾持件樞設(shè)于該第一固定件且常態(tài)地相對(duì)該本體為閉合。

進(jìn)一步的，該第一側(cè)面具有一第一安裝槽，以供該第一固定件容設(shè)，該第一安裝槽具有一第一驅(qū)動(dòng)孔對(duì)應(yīng)于該第一夾持件，且該第一驅(qū)動(dòng)孔由該第二側(cè)面開放。

進(jìn)一步的，該第二夾具與該第一夾具同步連動(dòng)而設(shè)于該活動(dòng)座，該第二夾具包括一第二夾持件、一第二固定件以及設(shè)置于該第二夾持件與該第二固定件之間的第二扭力彈簧，該第二固定件設(shè)置于該活動(dòng)座，該第二夾持件樞設(shè)于該第二固定件且常態(tài)地相對(duì)該本體為閉合。

進(jìn)一步的，該活動(dòng)座具有一第二安裝槽，以供該第二固定件容設(shè)，該第二安裝槽具有一第二驅(qū)動(dòng)孔對(duì)應(yīng)于該第二夾持件與該中空部。