[發明專利]立式連續真空工藝設備的載具

在審

• 申請號: 202010918939.1
• 申請日: 2020-09-04
• 公開（公告）號: CN114141597A
• 公開（公告）日: 2022-03-04
• 發明（設計）人: 李原吉;劉品均;陳松醮;楊峻杰;蔡明展
• 申請（專利權）人: 友威科技股份有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/32
• 代理公司: 北京匯智英財專利代理事務所(普通合伙) 11301
• 代理人: 劉祖芬

1.一種立式連續真空工藝設備的載具，其用以夾固一基板，該基板具有一上端、一下端，其特征在于，該載具包括：

一本體，為直立框體，該本體具有一上部、一下部以及位于該上部與該下部兩側的一第一側面及一第二側面，該第一側面及該第二側面之間貫穿設置一中空部；

一第一夾具，相對該本體展開或閉合地樞擺設置于該上部，用以夾持于該基板的上端；

一活動座，垂直平移地設置于該下部；以及

一第二夾具，樞擺設置于該活動座，用以夾持于該基板的下端；當該第一夾具與該第二夾具在展開狀態時，該中空部能夠承接該基板，當該第一夾具與該第二夾具在閉合狀態時使該基板往下被拉撐。

2.如權利要求1所述的立式連續真空工藝設備的載具，其特征在于：該下部與該活動座之間設有一彈性構件，用以使該活動座常態地遠離該上部方向而朝向該下部。

3.如權利要求2所述的立式連續真空工藝設備的載具，其特征在于：還包括一連接桿，該下部與該中空部的一側設有一連接邊，該連接桿穿設該活動座而鎖設于該連接邊，該彈性構件設于該活動座與該連接桿之間。

4.如權利要求3所述的立式連續真空工藝設備的載具，其特征在于：該連接桿具有一螺部及一頭部，該螺部鎖設于該連接邊，該活動座具有一彈簧槽，該彈性構件一端設置于該頭部，另一端設置于該彈簧槽的底部。

5.如權利要求4所述的立式連續真空工藝設備的載具，其特征在于：該彈性構件為拉伸彈簧；該活動座的一側設有一第一導引部，該中空部內緣且鄰近于該連接邊設有一第二導引部，該第二導引部供該第一導引部滑動配合。

6.如權利要求2所述的立式連續真空工藝設備的載具，其特征在于：該第一夾具包括一第一夾持件、一第一固定件以及一設置于該第一夾持件與該第一固定件之間的第一扭力彈簧，該第一固定件設置于該上部，該第一夾持件樞設于該第一固定件且常態地相對該本體為閉合。

7.如權利要求6所述的立式連續真空工藝設備的載具，其特征在于：該第一側面具有一第一安裝槽，以供該第一固定件容設，該第一安裝槽具有一第一驅動孔對應于該第一夾持件，且該第一驅動孔由該第二側面開放。

8.如權利要求7所述的立式連續真空工藝設備的載具，其特征在于：該第二夾具與該第一夾具同步連動而設于該活動座，該第二夾具包括一第二夾持件、一第二固定件以及設置于該第二夾持件與該第二固定件之間的第二扭力彈簧，該第二固定件設置于該活動座，該第二夾持件樞設于該第二固定件且常態地相對該本體為閉合。

9.如權利要求8所述的立式連續真空工藝設備的載具，其特征在于：該活動座具有一第二安裝槽，以供該第二固定件容設，該第二安裝槽具有一第二驅動孔對應于該第二夾持件與該中空部。

10.如權利要求9所述的立式連續真空工藝設備的載具，其特征在于：該第一安裝槽朝該中空部延伸一第一承接緣，用以承接該基板的上端，該第二安裝槽朝該中空部延伸一第二承接緣，用以承接該基板的下端；該第一夾具與該第二夾具的數量各為多個。

11.如權利要求1所述的立式連續真空工藝設備的載具，其特征在于：還包括一第三夾具，設置于該本體的第一側面，且位于該中空部的兩側，該第三夾具于該第一夾具與該第二夾具同步夾持該基板之后，再夾持于該基板的兩側端。