[發(fā)明專利]稱重裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010914666.3
• 申請日: 2020-09-03
• 公開（公告）號: CN114136422A
• 公開（公告）日: 2022-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 程健
• 申請（專利權(quán)）人: 長鑫存儲技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01G21/22
• 分類號: G01G21/22;G01G21/23;G01G21/28
• 代理公司: 上海晨皓知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31260
• 代理人: 成麗杰

本發(fā)明實施例提供一種稱重裝置，包括：稱量單元，用于稱量晶圓；支撐結(jié)構(gòu)，支撐結(jié)構(gòu)放置在稱量單元上；至少兩個支撐平臺，支撐平臺位于支撐結(jié)構(gòu)上，支撐平臺具有用于支撐晶圓的邊緣區(qū)域的承載面；驅(qū)動部，驅(qū)動部用于驅(qū)動支撐平臺在支撐結(jié)構(gòu)上移動，以使至少兩個支撐平臺適于承載不同尺寸的晶圓。由于晶圓僅與幾個支撐平臺接觸，晶圓在稱量過程中能夠保持較好的潔凈度；同時，通過調(diào)整支撐平臺在支撐結(jié)構(gòu)上的運動，支撐平臺能夠穩(wěn)定承載不同尺寸的晶圓。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明實施例涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別涉及一種稱重裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體領(lǐng)域多個生產(chǎn)工藝會用到稱重裝置來評判工藝的質(zhì)量，比如在清洗工藝中，通過晶圓清洗前后重量的差異來判斷清洗程度和清洗效果；又比如在制備摻雜金屬離子薄膜的工藝中，通過稱量薄膜生長前后的晶圓重量差，得到薄膜的重量，薄膜的重量作為檢測摻雜金屬原子質(zhì)量百分比的一個重要參數(shù)。

目前在晶圓稱重過程中，存在稱量結(jié)果準(zhǔn)確度較差的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實施例解決的技術(shù)問題為提供一種稱重裝置，解決晶圓稱重過程中，晶圓重量的準(zhǔn)確度較差的問題。

為解決上述問題，本發(fā)明實施例提供一種稱重裝置，包括：稱量單元，用于稱量晶圓；支撐結(jié)構(gòu)，所述支撐結(jié)構(gòu)放置在所述稱量單元上；至少兩個支撐平臺，所述支撐平臺位于所述支撐結(jié)構(gòu)上，所述支撐平臺具有用于支撐所述晶圓的邊緣區(qū)域的承載面；驅(qū)動部，所述驅(qū)動部用于驅(qū)動所述支撐平臺在所述支撐結(jié)構(gòu)上移動，以使所述至少兩個支撐平臺適于承載不同尺寸的所述晶圓。

另外，所述支撐結(jié)構(gòu)上設(shè)有導(dǎo)軌，所述驅(qū)動部驅(qū)動所述支撐平臺沿所述導(dǎo)軌運動，以使所述支撐平臺在所述支撐結(jié)構(gòu)上移動。

另外，所述支撐結(jié)構(gòu)包括中心平臺和多個支架，所述中心平臺連接多個所述支架的一端，所述支撐平臺位于所述支架上；且所述支撐平臺適于沿所述支架延伸方向移動。

另外，所述中心平臺的上表面低于所述承載面，且所述中心平臺的上表面與所述承載面之間的高度差大于5mm。

另外，所述支架的延伸方向與所述稱量單元的上表面平行，或者，所述支架的延伸方向相對于所述稱量單元的上表面傾斜。

另外，相鄰所述支架之間的夾角相等。

另外，所述稱重裝置還包括：第一測距傳感器，用于測量所述支撐平臺與所述支撐結(jié)構(gòu)的中心軸線的距離。

另外，所述支撐結(jié)構(gòu)的中心軸線與所述稱量單元的中心軸線重合，所述第一測距傳感器設(shè)置在所述支撐結(jié)構(gòu)的中心軸線處。

另外，所述稱重裝置還包括：升降部，所述升降部用于驅(qū)動所述支撐平臺升降，以調(diào)整所述承載面與所述稱量單元的上表面的距離。

另外，所述稱重裝置還包括：第二測距傳感器，所述第二測距傳感器位于所述稱量單元的上表面，所述第二測距傳感器用于測量所述承載面與所述稱量單元的上表面的距離。

另外，所述稱重裝置還包括：防風(fēng)罩，所述防風(fēng)罩設(shè)置在所述稱量單元的外圍。

另外，所述稱重裝置還包括：防護(hù)罩，所述防護(hù)罩設(shè)置在所述支撐結(jié)構(gòu)的外圍。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明實施例提供的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點：

本發(fā)明實施例提供的稱重裝置包括稱量單元、支撐結(jié)構(gòu)、至少兩個支撐平臺以及驅(qū)動部。在稱量晶圓的過程中，支撐平臺用于支撐晶圓，且支撐平臺在驅(qū)動部的驅(qū)動下，能夠在支撐結(jié)構(gòu)上移動。如此，在稱量不同晶圓時，根據(jù)晶圓的尺寸大小調(diào)整支撐平臺的位置，能夠使晶圓保持穩(wěn)定，提高采用同一稱重裝置稱量具有不同尺寸的晶圓的結(jié)果的準(zhǔn)確度。