[發(fā)明專利]稱重裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010914666.3 | 申請日： | 2020-09-03 |
| 公開（公告）號： | CN114136422A | 公開（公告）日： | 2022-03-04 |
| 發(fā)明（設計）人： | 程健 | 申請（專利權）人： | 長鑫存儲技術有限公司 |
| 主分類號： | G01G21/22 | 分類號： | G01G21/22;G01G21/23;G01G21/28 |
| 代理公司： | 上海晨皓知識產權代理事務所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成麗杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 稱重 裝置 | ||
1.一種稱重裝置，其特征在于，包括：
稱量單元，用于稱量晶圓；
支撐結構，所述支撐結構放置在所述稱量單元上；
至少兩個支撐平臺，所述支撐平臺位于所述支撐結構上，所述支撐平臺具有用于支撐所述晶圓的邊緣區(qū)域的承載面；
驅動部，所述驅動部用于驅動所述支撐平臺在所述支撐結構上移動，以使所述至少兩個支撐平臺適于承載不同尺寸的所述晶圓。
2.根據權利要求1所述的稱重裝置，其特征在于，所述支撐結構上設有導軌，所述驅動部驅動所述支撐平臺沿所述導軌運動，以使所述支撐平臺在所述支撐結構上移動。
3.根據權利要求1或2所述的稱重裝置，其特征在于，所述支撐結構包括中心平臺和多個支架，所述中心平臺連接多個所述支架的一端，所述支撐平臺位于所述支架上；且所述支撐平臺適于沿所述支架延伸方向移動。
4.根據權利要求3所述的稱重裝置，其特征在于，所述中心平臺的上表面低于所述承載面，且所述中心平臺的上表面與所述承載面之間的高度差大于5mm。
5.根據權利要求3所述的稱重裝置，其特征在于，所述支架的延伸方向與所述稱量單元的上表面平行，或者，所述支架的延伸方向相對于所述稱量單元的上表面傾斜。
6.根據權利要求3所述的稱重裝置，其特征在于，相鄰所述支架之間的夾角相等。
7.根據權利要求1所述的稱重裝置，其特征在于，還包括：第一測距傳感器，用于測量所述支撐平臺與所述支撐結構的中心軸線的距離。
8.根據權利要求7所述的稱重裝置，其特征在于，所述支撐結構的中心軸線與所述稱量單元的中心軸線重合，所述第一測距傳感器設置在所述支撐結構的中心軸線處。
9.根據權利要求1所述的稱重裝置，其特征在于，還包括：升降部，所述升降部用于驅動所述支撐平臺升降，以調整所述承載面與所述稱量單元的上表面的距離。
10.根據權利要求1所述的稱重裝置，其特征在于，還包括：第二測距傳感器，所述第二測距傳感器位于所述稱量單元的上表面，所述第二測距傳感器用于測量所述承載面與所述稱量單元的上表面的距離。
11.根據權利要求1所述的稱重裝置，其特征在于，還包括：防風罩，所述防風罩設置在所述稱量單元的外圍。
12.根據權利要求1所述的稱重裝置，其特征在于，還包括：防護罩，所述防護罩設置在所述支撐結構的外圍。
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