[發明專利]激光加工裝置的光軸確認方法

在審

• 申請號: 202010914389.6
• 申請日: 2020-09-03
• 公開（公告）號: CN112439988A
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發明（設計）人: 能丸圭司
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;B23K26/08;B23K26/082;B23K26/70
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;黃綸偉

提供激光加工裝置的光軸確認方法，能夠定量地判斷從多個光學元件沿著鉛垂方向反射的激光束的光軸是否存在于與加工行進方向平行的同一平面上。激光加工裝置的光軸確認方法包含如下的步驟：拍攝單元配設步驟(ST1)，將拍攝單元配設成能夠沿X軸方向移動；第一拍攝步驟(ST2)，取下第二反射鏡，利用能夠接收被第一反射鏡反射的激光束的拍攝單元對激光束進行拍攝；第二拍攝步驟(ST3)，安裝第二反射鏡，利用能夠接收被第三反射鏡反射的激光束的拍攝單元對激光束進行拍攝；以及判定步驟(ST4)，根據拍攝圖像和形成在拍攝圖像內的基準線，判定被第一反射鏡反射的激光束的光軸和被第三反射鏡反射的激光束的光軸是否存在于相同的XZ平面內。

技術領域

本發明涉及激光加工裝置的光軸確認方法。

背景技術

在使用激光束對被加工物實施加工的激光加工裝置中，構成為使用多個光學元件將從激光振蕩器射出的激光束傳播至加工點，并利用聚光透鏡進行聚光而對被加工物進行加工(例如，參照專利文獻1和專利文獻2)。

專利文獻1：日本特開2015-085347號公報

專利文獻2：日本特開2016-68149號公報

但是，在具有復雜的光學系統的激光加工裝置的情況下，存在對激光束的光軸進行調整的作業非常困難并且花費時間的問題。例如，在激光加工裝置中，當激光束相對于被加工物傾斜地入射時，有可能產生被加工物被傾斜地加工或者在所形成的槽的兩側加工結果產生差異等加工不良。因此，激光加工裝置需要進行激光束的光軸調整，以使激光束相對于被加工物垂直地照射。

另外，在專利文獻1和專利文獻2所示的具有構成為使激光束沿加工行進方向(X軸方向)掃描而實施激光加工的多面反射鏡的激光加工裝置的情況下，入射到多面反射鏡的激光束的光軸也需要與X軸方向平行。

此外，激光加工裝置需要使從多面反射鏡等多個光學元件沿著鉛垂方向反射的激光束的光軸存在于與加工行進方向平行的同一平面內。

目前，作為確認激光束的光軸的傾斜度等的方法，通常是使用使激光束反射的反射鏡來確認返回光的方法。但是，在該方法中，由于通過目測量進行判斷，因此存在基準模糊的問題。

發明內容

因此，本發明的目的在于，提供能夠定量地判斷從多個光學元件沿著鉛垂方向反射的激光束的光軸是否存在于與加工行進方向平行的同一平面上的激光加工裝置的光軸確認方法。

根據本發明，提供激光加工裝置的光軸確認方法，確認激光加工裝置的光軸，該激光加工裝置具有：卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；激光束照射單元，其對該卡盤工作臺所保持的被加工物照射激光束而實施加工；以及移動單元，其使該卡盤工作臺和該激光束照射單元在X軸方向和與該X軸方向垂直的Y軸方向上相對地移動，其中，該激光束照射單元包含：第一光學元件，其與垂直于XY平面的規定的XZ平面具有交線，并向與該XZ平面平行的方向反射激光束；激光振蕩器，其配設成以與該交線交叉的方式射出激光束；第二光學元件，其反射被該第一光學元件反射的激光束而在該XZ平面內轉換該激光束的行進方向；以及第三光學元件，其將由該第二光學元件轉換了行進方向的激光束向與該規定的XZ平面平行的方向反射，該激光加工裝置的光軸確認方法具有如下的步驟：拍攝單元配設步驟，將能夠拍攝該激光束的拍攝單元配設成能夠沿該X軸方向移動；第一拍攝步驟，取下該第二光學元件，將拍攝單元定位于能夠接收被該第一光學元件反射的該激光束的第一位置，并且利用該拍攝單元對從該激光振蕩器射出的該激光束進行拍攝；第二拍攝步驟，安裝該第二光學元件，將該拍攝單元定位于能夠接收被該第三光學元件反射的該激光束的第二位置，并且利用該拍攝單元對從該激光振蕩器射出的該激光束進行拍攝；以及判定步驟，根據形成于拍攝圖像的與該X軸方向平行的基準線與在該第一拍攝步驟中拍攝的圖像和在該第二拍攝步驟中拍攝的圖像中的該激光束的位置的偏移量，判定被該第一光學元件反射的激光束的光軸和被該第三光學元件反射的激光束的光軸是否存在于相同的XZ平面內。