[發(fā)明專利]激光加工裝置的光軸確認方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010914389.6
• 申請日: 2020-09-03
• 公開（公告）號: CN112439988A
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發(fā)明（設計）人: 能丸圭司
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;B23K26/08;B23K26/082;B23K26/70
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;黃綸偉

1.一種激光加工裝置的光軸確認方法，確認激光加工裝置的光軸，該激光加工裝置具有：

卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；

激光束照射單元，其對該卡盤工作臺所保持的被加工物照射激光束而實施加工；以及

移動單元，其使該卡盤工作臺和該激光束照射單元在X軸方向和與該X軸方向垂直的Y軸方向上相對地移動，

其中，

該激光束照射單元包含：

第一光學元件，其與垂直于XY平面的規(guī)定的XZ平面具有交線，并向與該XZ平面平行的方向反射激光束；

激光振蕩器，其配設成以與該交線交叉的方式射出激光束；

第二光學元件，其反射被該第一光學元件反射的激光束而在該XZ平面內(nèi)轉(zhuǎn)換該激光束的行進方向；以及

第三光學元件，其將由該第二光學元件轉(zhuǎn)換了行進方向的激光束向與該規(guī)定的XZ平面平行的方向反射，

該激光加工裝置的光軸確認方法具有如下的步驟：

拍攝單元配設步驟，將能夠拍攝該激光束的拍攝單元配設成能夠沿該X軸方向移動；

第一拍攝步驟，取下該第二光學元件，將拍攝單元定位于能夠接收被該第一光學元件反射的該激光束的第一位置，并且利用該拍攝單元對從該激光振蕩器射出的該激光束進行拍攝；

第二拍攝步驟，安裝該第二光學元件，將該拍攝單元定位于能夠接收被該第三光學元件反射的該激光束的第二位置，并且利用該拍攝單元對從該激光振蕩器射出的該激光束進行拍攝；以及

判定步驟，根據(jù)形成于拍攝圖像的與該X軸方向平行的基準線與在該第一拍攝步驟中拍攝的圖像和在該第二拍攝步驟中拍攝的圖像中的該激光束的位置的偏移量，判定被該第一光學元件反射的激光束的光軸和被該第三光學元件反射的激光束的光軸是否存在于相同的XZ平面內(nèi)。

2.根據(jù)權利要求1所述的激光加工裝置的光軸確認方法，其中，

在該判定步驟中，在判定為被該第一光學元件反射的激光束的光軸和被該第三光學元件反射的激光束的光軸不存在于相同的XZ平面內(nèi)的情況下，調(diào)整該第二光學元件和該第三光學元件的位置或傾斜度中的至少任意一方，以使該光軸存在于相同的XZ平面內(nèi)。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的激光加工裝置的光軸確認方法，其中，

該第三光學元件包含多面反射鏡。

4.根據(jù)權利要求3所述的激光加工裝置的光軸確認方法，其中，

使該多面反射鏡進行掃描，

該激光加工裝置的光軸確認方法還具有如下的檢測步驟：根據(jù)連結(jié)該拍攝單元所拍攝的掃描開始時的激光束的位置和掃描結(jié)束時的激光束的位置的直線是否與形成于該拍攝圖像的該基準線平行，檢測該多面反射鏡的傾斜度。