[發明專利]輸送機器人以及具備其的工件輸送系統

在審

• 申請號: 202010906821.7
• 申請日: 2020-09-01
• 公開（公告）號: CN112518730A
• 公開（公告）日: 2021-03-19
• 發明（設計）人: 井浦惇
• 申請（專利權）人: 株式會社達誼恒
• 主分類號: B25J9/10
• 分類號: B25J9/10;H01L21/677
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 李逸雪

本發明提供能避免結構變得復雜并在工件輸送時手部能維持給定的姿態的輸送機器人(B1)，具備：支承體(4)；被支承體(4)支承的回轉底座(5)；使回轉底座(5)回轉的回轉機構(6)；被回轉底座(5)支承并用于對工件進行支承的手部；和使上述手部相對于回轉底座(5)水平地直線移動的直線移動機構(7)。回轉機構(6)包含：使回轉底座(5)相對于支承體(4)繞著在上下方向上延伸的第1回轉軸(S1)回轉的第1回轉機構(61)；和使回轉底座(5)繞著相對于第1回轉軸(S1)傾斜給定角度的第2回轉軸(S2)回轉的第2回轉機構(62)。支承體(4)具有能繞著與第1回轉軸(S1)成直角的轉動軸(Ox)轉動的轉動構件(43)。

技術領域

本發明涉及輸送機器人以及具備其的工件輸送系統。

背景技術

在半導體裝置的制造過程中，薄板狀的晶片(工件)由輸送機器人來輸送。在例如擴散爐等中對晶片適宜進行處理時，輸送機器人在收納晶片的收納室與對晶片實施處理的處理室之間輸送晶片。這樣的晶片的輸送中所用的輸送機器人例如被專利文獻1公開。

專利文獻1記載的品片輸送用的輸送機器人具備：使進行回轉動作的回轉底座(回轉塊5e)；和被該回轉底座支承的手部(多個平板5f和1個平板5f)。在手部的平板5f載置晶片。通過使回轉底座適宜回轉，手部能朝向與收納室、處理室正對的方向。另外，手部能在水平方向上直線移動。若使手部向收納室或處理室直線移動，就能在該收納室、處理室進行晶片的交接。在晶片輸送時，上述多個平板5f以及1個平板5f能相互獨立地進行向輸送室等的水平移動。上述多個平板5f支承多個晶片，使得在上下方向觀察下重疊。關于上述多個平板5f以及1個平板5f，通過使其兩方或單方適宜動作，能效率良好地輸送需要片數的晶片。

在晶片輸送時，由于上述多個平板5f以及1個平板5f的水平動作以單臂狀進行，因此有因動作部、手部等的自重而在構件產生撓曲的情況。在該情況下，有可能不再能維持手部的水平姿態、不能合適地進行與輸送室、處理室之間的晶片的交接。對于這樣的不良狀況，例如考慮在手部的根部部分設置驅動機構，并使手部擺動來接近于水平姿態。但在使上述多個平板5f以及1個平板5f相互獨立進行水平動作的結構中，需要設置與多個平板5f以及1個平板5f分別對應的驅動機構。這樣一來，追加的部件件數多，結構變得復雜，還變得易于產生不適合晶片輸送的微粒。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：JP特開2017-85015號公報

發明內容

本發明根據這樣的事情而提出，將避免結構變得復雜、且能在工件輸送時使手部維持給定的姿態的輸送機器人。

為了解決上述的課題，在本發明中采用如下的技術的手段。

由本發明的第1側面提供的輸送機器人具備：支承體；被上述支承體支承的回轉底座；使上述回轉底座回轉的回轉機構；被上述回轉底座支承并用于對工件進行支承的手部；和使上述手部相對于上述回轉底座水平地直線移動的直線移動機構，上述回轉機構包含：使上述回轉底座相對于上述支承體繞著在上下方向上延伸的第1回轉軸回轉的第1回轉機構；和使上述回轉底座繞著相對于上述第1回轉軸傾斜給定角度的第2回轉軸回轉的第2回轉機構，上述支承體具有能繞著與上述第1回轉軸成直角的轉動軸轉動的轉動構件。

在優選的實施方式中，上述第1回轉軸、上述第2回轉軸以及上述轉動軸在位于上述轉動構件的內部的一點交叉。

在優選的實施方式中，上述手部包含通過上述直線移動機構而被相互獨立地直線移動的第1手以及第2手。

在優選的實施方式中，上述第1手支承多個薄板狀工件，使其在上下方向觀察下重疊。