[發明專利]一種高解析度干膜光阻劑

有效

• 申請號: 202010904442.4
• 申請日: 2020-09-01
• 公開（公告）號: CN112034685B
• 公開（公告）日: 2022-03-18
• 發明（設計）人: 杜永杰;彭威;楊衛國;鄧曉明
• 申請（專利權）人: 珠海市能動科技光學產業有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/027
• 代理公司: 佛山幫專知識產權代理事務所(普通合伙) 44387
• 代理人: 顏春艷

1.一種高解析度干膜光阻劑，其特征在于，包含以下組分：

高分子粘合劑A，活性單體B，丙烯酸酯類光固化單體，自由基引發劑C，N-苯基甘氨酸，增塑劑，紫外光吸收劑，熱聚合抑制劑；

其中，所述活性單體B為活性單體B1或/和活性單體B2，所述活性單體B占上述組分總質量的1％～10％；

其中，活性單體B1的結構式為：

在活性單體B1中，n表示0～15的整數；

其中，活性單體B2的結構式為：

在活性單體B2中，n表示0～15的整數；

其中，所述高分子粘合劑A、所述活性單體B、所述丙烯酸酯類光固化單體和所述自由基引發劑C的質量份比例為：

2.根據權利要求1所述的高解析度干膜光阻劑，其特征在于，所述高分子粘合劑A由60wt％的甲基丙烯酸酯，18wt％的甲基丙烯酸以及22wt％的丙烯酸正丁酯在甲基乙基酮溶劑中聚合而成。

3.根據權利要求1所述的高解析度干膜光阻劑，其特征在于，所述丙烯酸酯類光固化單體選自以下任一種或多種：乙氧化雙酚A二丙烯酸酯，乙氧化雙酚A二甲基丙烯酸酯，二縮三羥甲基丙烷四丙烯酸酯，六官能度聚酯丙烯酸酯，四官能度聚酯丙烯酸酯，三乙二醇二丙烯酸酯，4(乙氧基)壬基苯酚丙烯酸酯，8(乙氧基)壬基苯酚丙烯酸酯。

4.根據權利要求1所述的高解析度干膜光阻劑，其特征在于，所述自由基引發劑C為雙咪唑引發劑BCIM。

5.根據權利要求1所述的高解析度干膜光阻劑，其特征在于，所述增塑劑選自以下任一種：檸檬酸三丁酯，乙酰檸檬酸三丁酯，鄰苯二甲酸二(2-乙基己)酯，鄰苯二甲酸二辛酯，鄰苯二甲酸丁芐酯，鄰苯二甲酸二仲辛酯，鄰苯二甲酸二環己酯，鄰苯二甲酸二丁酯，鄰苯二甲酸二異丁酯，鄰苯二甲酸二甲酯，鄰苯二甲酸二乙酯，鄰苯二甲酸二異壬酯，鄰苯二甲酸二異癸酯。

6.根據權利要求1所述的高解析度干膜光阻劑，其特征在于，所述熱聚合抑制劑選自以下任一種：對甲氧基苯酚，氫苯醌，特丁基鄰苯二酚，鄰苯三酚，銅樹脂酸鹽，β-萘酚，2，6-二特丁基-對甲苯酚，2，2’-亞甲基-二(4-乙基-6-特丁基苯酚)，甲基對苯醌，四氯苯醌，芳基亞磷酸鹽。

7.根據權利要求1所述的高解析度干膜光阻劑，其特征在于，還包含添加劑；所述添加劑選自以下任一種或多種：隱色染料，底色染料，附著力促進劑，抗氧劑。