[發明專利]激光等離子體極紫外光源和極紫外光產生方法

有效

• 申請號: 202010904043.8
• 申請日: 2020-09-01
• 公開（公告）號: CN111999989B
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發明（設計）人: 王新兵;左都羅;馬修泉;陸培祥
• 申請（專利權）人: 廣東省智能機器人研究院
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 紀婷婧

1.一種激光等離子體極紫外光源，其特征在于，包括：

真空靶室；

光學透鏡模組；激光通過所述光學透鏡模組形成的光學焦點位于所述真空靶室的內部；其中，所述激光為連續激光；

液滴靶發生器；所述液滴靶發生器用于向所述真空靶室提供液滴；所述液滴在所述真空靶室的移動線路經過所述光學焦點，以使所述液滴靶發生器產生的液滴與所述激光在所述光學焦點處產生極紫外光；

用于收集所述極紫外光的收集鏡；所述收集鏡的收集方向與所述激光入射方向垂直，且不與所述液滴的移動方向平行；

處理器，用于檢測所述激光通過所述光學透鏡模組的事件是否發生；若所述檢測的結果為是，向所述液滴靶發生器傳輸驅動指令；所述驅動指令用于指示所述液滴靶發生器開啟，以使所述液滴靶發生器產生的液滴與所述激光在所述光學焦點處產生極紫外光；

所述激光等離子體極紫外光源還包括激光探測器；所述激光探測器用于檢測所述激光輸出的功率，并傳輸給所述處理器；所述處理器根據所述激光輸出的功率調節泵浦源的泵浦強度；

所述光學透鏡模組包括預設數量的透鏡組；各所述透鏡組包括第一透鏡和第二透鏡；

所述第一透鏡和所述第二透鏡形成諧振腔；所述第一透鏡的焦點落入所述諧振腔的范圍內。

2.根據權利要求1所述的激光等離子體極紫外光源，其特征在于，所述光學透鏡模組包括預設數量的光學透鏡；

各所述光學透鏡的焦點的位置均與所述光學焦點的位置重合。

3.根據權利要求1所述的激光等離子體極紫外光源，其特征在于，還包括泵浦源；

所述泵浦源用于產生所述激光。

4.一種極紫外光的產生方法，其特征在于，應用于權利要求1-3任一項所述的激光等離子體極紫外光源，包括步驟：

檢測所述激光通過所述光學透鏡模組的事件是否發生；

若所述檢測的結果為是，向所述液滴靶發生器傳輸驅動指令；所述驅動指令用于指示所述液滴靶發生器開啟，以使所述液滴靶發生器產生的液滴與所述激光在所述光學焦點處產生極紫外光。

5.根據權利要求4所述的極紫外光的產生方法，其特征在于，還包括步驟：

獲取所述激光輸出的功率；

根據所述激光輸出的功率調節泵浦源的泵浦強度。

6.一種極紫外光的產生裝置，其特征在于，應用于權利要求1-3任一項所述的激光等離子體極紫外光源，包括：

檢測模塊，用于檢測所述激光通過所述光學透鏡模組的事件是否發生；

開啟模塊，用于若所述檢測的結果為是，向所述液滴靶發生器傳輸驅動指令；所述驅動指令用于指示所述液滴靶發生器開啟，以使所述液滴靶發生器產生的液滴與所述激光在所述光學焦點處產生極紫外光。

7.一種計算機可讀存儲介質，其上存儲有計算機程序，其特征在于，所述計算機程序被處理器執行時實現權利要求4至5中任一項所述的方法的步驟。