[發明專利]一種轉盤式雙面光刻機及其物料傳送裝置

在審

• 申請號: 202010902651.5
• 申請日: 2020-09-01
• 公開（公告）號: CN111983902A
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發明（設計）人: 王群
• 申請（專利權）人: 江蘇九迪激光裝備科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;B65G13/06;B08B1/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種轉盤式雙面光刻機及其物料傳送裝置，包括光刻機本體，所述光刻機本體的下端固定連接有多個行走機構，所述光刻機本體的下方設有多個支撐機構，所述光刻機本體側壁上固定連接有斜桿，所述斜桿的上端固定連接有物料傳送裝置。本發明結構設計合理，具有方便移動與放置光刻機以及可以事先清潔物料，提高光刻機工作效率的好處。

技術領域

本發明涉及光刻機技術領域，尤其涉及一種轉盤式雙面光刻機及其物料傳送裝置。

背景技術

光刻機又名掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等，常用的光刻機是掩膜對準光刻，一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序，光刻的意思是用光來制作一個圖形，在硅片表面勻膠，然后將掩模版上的圖形轉移光刻膠上的過程將器件或電路結構臨時復制到硅片上的過程。

現有技術中，光刻機體積龐大，移動困難，需要移動的時候需要額外的吊裝機器或者大量人工，非常不方便，而且現有的光刻機的物料傳送裝置的結構過于簡單，功能單一，因此，我們提出了一種轉盤式雙面光刻機及其物料傳送裝置來解決上述問題。

發明內容

本發明的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種轉盤式雙面光刻機及其物料傳送裝置。

為了實現上述目的，本發明采用了如下技術方案：

一種轉盤式雙面光刻機，包括光刻機本體，所述光刻機本體的下端固定連接有多個行走機構，所述光刻機本體的下方設有多個支撐機構，所述光刻機本體側壁上固定連接有斜桿，所述斜桿的上端固定連接有物料傳送裝置。

優選地，所述行走機構包括固定連接在光刻機本體下端的行走腿，所述行走腿的下端設有轉動槽，所述轉動槽的內壁上固定連接有轉軸，所述轉軸上轉動連接有連接板，所述連接板位于轉動槽外的一端轉動連接有萬向輪，所述轉動槽的槽口朝向行走腿外側以及下方。

優選地，所述支撐機構包括固定連接在兩個行走腿之間的固定桿，所述固定桿上固定連接有固定座，所述固定座的下端設有滑槽，所述滑槽內的兩側內壁分別貫穿固定座的側壁，所述滑槽內滑動設有連接桿，所述連接桿的側壁上固定連接有兩個支撐桿，兩個所述支撐桿的下端均固定連接有支撐墊，所述連接桿的側壁上貫穿設有限位槽，所述固定座的側壁上貫穿設有兩個限位孔，其中一個所述限位孔內貫穿設有第一限位銷且第一限位銷的尾端貫穿延伸至限位槽內。

優選地，所述物料傳送裝置包括固定連接在斜桿上端的傳送平臺，所述傳送平臺上設有多個傳送輥，所述傳送平臺上固定連接有兩個裝置座，其中一個所述裝置座的上端固定連接有驅動機構，另外一個所述裝置座上設有導向機構，兩個所述裝置座之間共同設有清潔機構。

優選地，所述驅動機構包括固定連接在裝置座上端的電機，所述電機的輸出軸末端固定連接有轉動桿，該裝置座上貫穿設有凹槽與轉動槽，所述凹槽位于轉動槽的上方且與凹槽相連通，所述轉動槽的內底部轉動連接有螺紋桿，所述螺紋桿的上端與轉動桿的側壁均固定連接有第一錐齒輪，兩個所述第一錐齒輪相互嚙合。

優選地，所述導向機構包括貫穿設在該裝置座上的導向槽，所述導向槽的內壁上固定連接有導向桿。

優選地，所述清潔機構包括設在兩個裝置座之間的壓板，所述壓板上轉動連接有豎桿，所述豎桿的上端與轉動桿的尾端均固定連接有第二錐齒輪，兩個所述第二錐齒輪可相互嚙合，所述豎桿位于壓板下方的一端固定連接有清潔板，所述壓板的上端固定連接有兩個直桿，兩個所述直桿上共同固定連接有導向套，所述導向套套設在豎桿上，所述壓板的兩端分別固定連接有螺紋連接桿與滑動連接桿，所述轉動槽的內壁上貫穿設有移動槽，所述螺紋連接桿貫穿移動槽且與螺紋桿螺紋連接，所述滑動連接桿滑動套設在導向桿上。

本發明具有以下有益效果；

1、通過設置行走機構與支撐機構相互配合，方便光刻機隨時進行移動與放置，省去了額外的吊裝機器，經濟效益高；