[發(fā)明專利]一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機及其物料傳送裝置

在審

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• 申請日: 2020-09-01
• 公開（公告）號: CN111983902A
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王群
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇九迪激光裝備科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;B65G13/06;B08B1/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機，包括光刻機本體(1)，其特征在于，所述光刻機本體(1)的下端固定連接有多個行走機構(gòu)，所述光刻機本體(1)的下方設(shè)有多個支撐機構(gòu)，所述光刻機本體(1)側(cè)壁上固定連接有斜桿(13)，所述斜桿(13)的上端固定連接有物料傳送裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機及其物料傳送裝置，其特征在于，所述行走機構(gòu)包括固定連接在光刻機本體(1)下端的行走腿(2)，所述行走腿(2)的下端設(shè)有轉(zhuǎn)動槽，所述轉(zhuǎn)動槽的內(nèi)壁上固定連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸上轉(zhuǎn)動連接有連接板(3)，所述連接板(3)位于轉(zhuǎn)動槽外的一端轉(zhuǎn)動連接有萬向輪(4)，所述轉(zhuǎn)動槽的槽口朝向行走腿(2)外側(cè)以及下方。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機及其物料傳送裝置，其特征在于，所述支撐機構(gòu)包括固定連接在兩個行走腿(2)之間的固定桿(11)，所述固定桿(11)上固定連接有固定座(7)，所述固定座(7)的下端設(shè)有滑槽，所述滑槽內(nèi)的兩側(cè)內(nèi)壁分別貫穿固定座(7)的側(cè)壁，所述滑槽內(nèi)滑動設(shè)有連接桿(6)，所述連接桿(6)的側(cè)壁上固定連接有兩個支撐桿(5)，兩個所述支撐桿(5)的下端均固定連接有支撐墊(9)，所述連接桿(6)的側(cè)壁上貫穿設(shè)有限位槽(30)，所述固定座(7)的側(cè)壁上貫穿設(shè)有兩個限位孔(8)，其中一個所述限位孔(8)內(nèi)貫穿設(shè)有第一限位銷(10)且第一限位銷(10)的尾端貫穿延伸至限位槽(30)內(nèi)。

4.一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機的物料傳送裝置，包括權(quán)利要求1中所述的物料傳送裝置，其特征在于，所述物料傳送裝置包括固定連接在斜桿(13)上端的傳送平臺(16)，所述傳送平臺(16)上設(shè)有多個傳送輥(15)，所述傳送平臺(16)上固定連接有兩個裝置座(14)，其中一個所述裝置座(14)的上端固定連接有驅(qū)動機構(gòu)，另外一個所述裝置座(14)上設(shè)有導(dǎo)向機構(gòu)，兩個所述裝置座(14)之間共同設(shè)有清潔機構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機的物料傳送裝置，其特征在于，所述驅(qū)動機構(gòu)包括固定連接在裝置座(14)上端的電機(17)，所述電機(17)的輸出軸末端固定連接有轉(zhuǎn)動桿(20)，該裝置座(14)上貫穿設(shè)有凹槽與轉(zhuǎn)動槽，所述凹槽位于轉(zhuǎn)動槽的上方且與凹槽相連通，所述轉(zhuǎn)動槽的內(nèi)底部轉(zhuǎn)動連接有螺紋桿(22)，所述螺紋桿(22)的上端與轉(zhuǎn)動桿(20)的側(cè)壁均固定連接有第一錐齒輪(18)，兩個所述第一錐齒輪(18)相互嚙合。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機的物料傳送裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向機構(gòu)包括貫穿設(shè)在該裝置座(14)上的導(dǎo)向槽，所述導(dǎo)向槽的內(nèi)壁上固定連接有導(dǎo)向桿(28)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機的物料傳送裝置，其特征在于，所述清潔機構(gòu)包括設(shè)在兩個裝置座(14)之間的壓板(19)，所述壓板(19)上轉(zhuǎn)動連接有豎桿(25)，所述豎桿(25)的上端與轉(zhuǎn)動桿(20)的尾端均固定連接有第二錐齒輪(21)，兩個所述第二錐齒輪(21)可相互嚙合，所述豎桿(25)位于壓板(19)下方的一端固定連接有清潔板(27)，所述壓板(19)的上端固定連接有兩個直桿(24)，兩個所述直桿(24)上共同固定連接有導(dǎo)向套(26)，所述導(dǎo)向套(26)套設(shè)在豎桿(25)上，所述壓板(19)的兩端分別固定連接有螺紋連接桿(23)與滑動連接桿(29)，所述轉(zhuǎn)動槽的內(nèi)壁上貫穿設(shè)有移動槽，所述螺紋連接桿(23)貫穿移動槽且與螺紋桿(22)螺紋連接，所述滑動連接桿(29)滑動套設(shè)在導(dǎo)向桿(28)上。