[發(fā)明專利]用以檢測(cè)外部端子處的測(cè)試探測(cè)接觸的方法和設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010902175.7
• 申請(qǐng)日: 2020-09-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112447261A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 藤原敬典;T·M·奧尼爾;億田富夫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 美光科技公司
• 主分類(lèi)號(hào): G11C29/50
• 分類(lèi)號(hào): G11C29/50;G11C29/56
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 王龍

本申請(qǐng)案涉及檢測(cè)外部端子處的測(cè)試探測(cè)接觸的方法和設(shè)備。一種實(shí)例設(shè)備包含：耦合到輸入端子的輸入緩沖器，其中所述輸入緩沖器經(jīng)配置以基于在所述輸入端子處接收到的電壓提供輸入信號(hào)；測(cè)試端子，其經(jīng)配置以接收探測(cè)信號(hào)；以及電力供應(yīng)端子，其經(jīng)配置以接收外部供應(yīng)電壓。所述實(shí)例設(shè)備進(jìn)一步包含測(cè)試邏輯電路，其經(jīng)配置以響應(yīng)于所述探測(cè)信號(hào)指示測(cè)試且外部供應(yīng)電壓檢測(cè)信號(hào)具有指示所述外部供應(yīng)電壓的檢測(cè)的值，起始探測(cè)接觸檢測(cè)測(cè)試。在所述起始探測(cè)接觸檢測(cè)測(cè)試期間，所述測(cè)試邏輯電路經(jīng)配置以接收所述輸入信號(hào)，且提供具有基于所述輸入信號(hào)的值的輸出信號(hào)。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開(kāi)涉及半導(dǎo)體裝置，且明確地說(shuō)，涉及檢測(cè)外部端子處的測(cè)試探測(cè)接觸的方法和設(shè)備。

背景技術(shù)

在生產(chǎn)期間，多個(gè)半導(dǎo)體裝置(例如受測(cè)試的裝置或單元(DUT))可連接到測(cè)試設(shè)置，并行于接收來(lái)自測(cè)試儀的常見(jiàn)輸入信號(hào)來(lái)進(jìn)行高度并行的測(cè)試。所述測(cè)試設(shè)置可涉及定位相應(yīng)的一組探針，以電接觸每一DUT的相應(yīng)端子或引腳。歸因于半導(dǎo)體裝置的端子或引腳的大小，所述探針中的一或多者可能未與目標(biāo)端子或引腳對(duì)準(zhǔn)，使得探針與目標(biāo)端子或引腳之間存在斷路。因此，當(dāng)測(cè)試具有未對(duì)準(zhǔn)探針的特定DUT時(shí)，有缺陷的測(cè)試設(shè)置可致使測(cè)試儀不必要地不通過(guò)所述DUT。不必要地不通過(guò)DUT可能降低產(chǎn)量和生產(chǎn)效率，并且增加生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容

本公開(kāi)的一方面提供一種設(shè)備，其中所述設(shè)備包括：輸入緩沖器，其耦合到輸入端子，其中所述輸入緩沖器經(jīng)配置以基于在所述輸入端子處接收到的電壓提供輸入信號(hào)；測(cè)試端子，其經(jīng)配置以接收探測(cè)信號(hào)；電力供應(yīng)端子，其經(jīng)配置以接收外部供應(yīng)電壓；以及測(cè)試邏輯電路，其經(jīng)配置以響應(yīng)于所述探測(cè)信號(hào)指示測(cè)試且外部供應(yīng)電壓檢測(cè)信號(hào)具有指示所述外部供應(yīng)電壓的檢測(cè)的值，起始探測(cè)接觸檢測(cè)測(cè)試，其中在所述起始探測(cè)接觸檢測(cè)測(cè)試期間，所述測(cè)試邏輯電路經(jīng)配置以接收所述輸入信號(hào)，且提供具有基于所述輸入信號(hào)的值的輸出信號(hào)。

本公開(kāi)的另一方面提供一種方法，其中所述方法包括：在半導(dǎo)體裝置的測(cè)試端子處接收探測(cè)信號(hào)；接收外部供應(yīng)電壓；從所述半導(dǎo)體裝置的耦合到所述半導(dǎo)體裝置的輸入端子的輸入緩沖器接收輸入信號(hào)，其中所述輸入信號(hào)是基于在所述輸入端子處接收到的電壓；以及響應(yīng)于所述探測(cè)信號(hào)指示測(cè)試且外部供應(yīng)電壓檢測(cè)信號(hào)具有指示所述外部供應(yīng)電壓的檢測(cè)的值，提供具有基于所述輸入信號(hào)的值的輸出信號(hào)。

附圖說(shuō)明

圖1是根據(jù)本公開(kāi)的實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置的示意性框圖。

圖2是根據(jù)本公開(kāi)的實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置的測(cè)試電路的邏輯圖。

圖3是根據(jù)本公開(kāi)的實(shí)施例的描繪探測(cè)接觸檢測(cè)測(cè)試的操作的示范性時(shí)序圖的圖解。

圖4描繪根據(jù)本公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)受測(cè)試裝置的并行測(cè)試設(shè)置系統(tǒng)的功能框圖。

圖5是說(shuō)明根據(jù)本公開(kāi)的實(shí)施例的用以執(zhí)行探測(cè)接觸檢測(cè)測(cè)試的方法的流程圖。

具體實(shí)施方式

本文所述的實(shí)例包含對(duì)正在高度并行配置中測(cè)試的半導(dǎo)體裝置執(zhí)行探測(cè)接觸檢測(cè)測(cè)試。在生產(chǎn)期間，許多半導(dǎo)體裝置(例如受測(cè)試的裝置或單元(DUT))可連接到測(cè)試設(shè)置，以接收來(lái)自測(cè)試儀的常見(jiàn)輸入信號(hào)，以便彼此并行測(cè)試。測(cè)試設(shè)置可取決于維持與每一DUT的端子或引腳的充分電接觸的探針。因此，DUT可包含測(cè)試邏輯電路，其經(jīng)配置以執(zhí)行探測(cè)接觸檢測(cè)測(cè)試，以檢驗(yàn)每一端子或引腳與來(lái)自測(cè)試儀的相應(yīng)探針電接觸。探測(cè)接觸檢測(cè)測(cè)試可避免歸因于有缺陷的測(cè)試設(shè)置而不必要地不通過(guò)DUT。測(cè)試邏輯電路可經(jīng)配置以基于探測(cè)信號(hào)和外部供應(yīng)電壓的值來(lái)促進(jìn)探測(cè)接觸檢測(cè)測(cè)試。作為探測(cè)接觸檢測(cè)測(cè)試的一部分，測(cè)試邏輯可配置耦合到相應(yīng)輸入端的輸入緩沖器來(lái)進(jìn)行單端操作。測(cè)試邏輯還可將輸入緩沖器的輸出耦合到邏輯門(mén)。所述邏輯門(mén)可對(duì)輸入緩沖器的輸出執(zhí)行邏輯運(yùn)算，以驅(qū)動(dòng)輸出信號(hào)。所述輸出信號(hào)的值可指示在耦合到輸入緩沖器的輸入端中的一或多者處，是否已接收到電壓。可將輸出信號(hào)提供到測(cè)試儀，以提供關(guān)于探針與輸入端子之間是否存在任何斷路的指示。