[發(fā)明專利]氣體質(zhì)量流量控制器在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010900168.3 | 申請(qǐng)日： | 2020-08-31 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN112000138A | 公開（公告）日： | 2020-11-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王振東;陳正堂;趙迪 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京七星華創(chuàng)流量計(jì)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G05D7/06 | 分類號(hào)： | G05D7/06;G01F1/86 |
| 代理公司： | 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 氣體 質(zhì)量 流量 控制器 | ||
1.一種氣體質(zhì)量流量控制器，用于檢測(cè)流經(jīng)工藝腔室的氣體流量，其特征在于，包括相互獨(dú)立的流量檢測(cè)模塊和流量調(diào)節(jié)模塊，以及控制模塊，其中，所述流量檢測(cè)模塊設(shè)置在所述工藝腔室的進(jìn)氣端，用于檢測(cè)所述工藝腔室的進(jìn)氣端處的氣體流量值，并發(fā)送至所述控制模塊；
所述流量調(diào)節(jié)模塊設(shè)置在所述工藝腔室的出氣端，用于調(diào)節(jié)所述工藝腔室的出氣端處的氣體流量；
所述控制模塊用于根據(jù)所述流量檢測(cè)模塊檢測(cè)到的所述氣體流量值和流量設(shè)定值，控制所述流量調(diào)節(jié)模塊調(diào)節(jié)所述工藝腔室的出氣端的氣體流量，以使流經(jīng)所述工藝腔室的氣體流量等于所述流量設(shè)定值。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體質(zhì)量流量控制器，其特征在于，所述氣體質(zhì)量流量控制器還包括溫度調(diào)節(jié)模塊，所述溫度調(diào)節(jié)模塊可拆卸地設(shè)置在靠近所述流量調(diào)節(jié)模塊的位置處，用于調(diào)節(jié)所述流量調(diào)節(jié)模塊的溫度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體質(zhì)量流量控制器，其特征在于，所述溫度調(diào)節(jié)模塊包括熱交換腔室及分別與所述熱交換腔室的進(jìn)氣端和出氣端連接的進(jìn)流管路和出流管路，其中，所述熱交換腔室設(shè)置在靠近所述流量調(diào)節(jié)模塊的位置處，用于與所述流量調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行熱量交換；所述進(jìn)流管路用于向所述熱交換腔室中輸送熱交換媒介；所述出流管路用于輸出所述熱交換腔室中的所述熱交換媒介。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述的氣體質(zhì)量流量控制器，其特征在于，所述流量調(diào)節(jié)模塊包括第一底座和設(shè)置在所述第一底座上的流量調(diào)節(jié)閥；其中，所述第一底座中設(shè)置有第一底座通道，所述第一底座通道與所述工藝腔室的出氣端連接；
所述流量調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)所述第一底座通道中的氣體流量。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣體質(zhì)量流量控制器，其特征在于，所述氣體質(zhì)量流量控制器還包括連接線纜，所述連接線纜的兩端分別與所述控制模塊和所述流量調(diào)節(jié)閥電連接，用以進(jìn)行數(shù)據(jù)交互。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體質(zhì)量流量控制器，其特征在于，所述流量檢測(cè)模塊包括第二底座和設(shè)置在所述第二底座中的通道結(jié)構(gòu)，所述通道結(jié)構(gòu)與所述工藝腔室的進(jìn)氣端連接，且在所述第二底座中設(shè)置有熱式流量傳感器，所述熱式流量傳感器與所述通道結(jié)構(gòu)連接，用以檢測(cè)所述工藝腔室的進(jìn)氣端處的氣體流量值，并發(fā)送至所述控制模塊。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣體質(zhì)量流量控制器，其特征在于，所述通道結(jié)構(gòu)包括沿氣體流動(dòng)方向依次串接的進(jìn)氣通道、檢測(cè)通道、分流通道和出氣通道，其中，所述熱式流量傳感器與所述分流通道連接；
在所述第二底座中還設(shè)置有壓力傳感器，所述壓力傳感器與所述檢測(cè)通道連接，用以檢測(cè)所述檢測(cè)通道中的氣體壓力值。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣體質(zhì)量流量控制器，其特征在于，在所述第二底座中，且靠近所述熱式流量傳感器的位置處設(shè)置有溫度傳感器，用以檢測(cè)所述熱式流量傳感器周圍的環(huán)境溫度值，并發(fā)送至所述控制模塊。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體質(zhì)量流量控制器，其特征在于，所述控制模塊包括微控制器。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體質(zhì)量流量控制器，其特征在于，所述流量調(diào)節(jié)模塊設(shè)置在相鄰的兩個(gè)所述工藝腔室的出氣端和進(jìn)氣端之間，用于調(diào)節(jié)流經(jīng)相鄰的兩個(gè)所述工藝腔室的氣體流量。
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