[發明專利]氣體質量流量控制器

在審

• 申請號: 202010900168.3
• 申請日: 2020-08-31
• 公開（公告）號: CN112000138A
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發明（設計）人: 王振東;陳正堂;趙迪
• 申請（專利權）人: 北京七星華創流量計有限公司
• 主分類號: G05D7/06
• 分類號: G05D7/06;G01F1/86
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

本發明實施例提供一種氣體質量流量控制器，用于檢測流經工藝腔室的氣體流量，包括相互獨立的流量檢測模塊和流量調節模塊，以及控制模塊，其中，流量檢測模塊設置在工藝腔室的進氣端，用于檢測該工藝腔室的進氣端處的氣體流量值，并發送至控制模塊；流量調節模塊設置在工藝腔室的出氣端，用于調節工藝腔室的出氣端處的氣體流量；控制模塊用于根據流量檢測模塊檢測到的氣體流量值和流量設定值，控制流量調節模塊調節工藝腔室的出氣端的氣體流量，以使流經工藝腔室的氣體流量等于流量設定值。本發明實施例提供的氣體質量流量控制器，不僅可以提高控制精度，尤其可以保證溫度敏感型氣體的流量精度，而且便于拆裝和維護。

技術領域

本發明涉及氣體質量流量控制技術領域，具體地，涉及一種氣體質量流量控制器。

背景技術

質量流量控制器(Mass Flow Controller，以下簡稱MFC)用于對氣體的質量流量進行精密控制，它在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。

目前，在一些對溫度敏感型氣體控制方面，這類對溫度敏感型氣體在常溫下容易分解，或者在溫度稍微變化的情況下，氣體的分解速率就會產生劇烈變化，該類極不穩定。在使用現有的熱式MFC控制上述溫度敏感型氣體的流量時，由于其流量調節閥自身在工作中會不斷地放熱，放出的熱量往往會對溫度敏感型氣體的穩定性造成影響；同時，也會對熱式MFC自身性能造成干擾。

基于以上原因，目前的熱式MFC無法對這些溫度敏感氣體進行精密測量和控制，使得相關工藝無法實現。

發明內容

本發明實施例旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種氣體質量流量控制器，其不僅可以提高控制精度，尤其可以保證溫度敏感型氣體的流量精度，而且便于拆裝和維護。

為實現上述目的，本發明實施例提供了一種氣體質量流量控制器，用于檢測流經工藝腔室的氣體流量，包括相互獨立的流量檢測模塊和流量調節模塊，以及控制模塊，其中，所述流量檢測模塊設置在所述工藝腔室的進氣端，用于檢測所述工藝腔室的進氣端處的氣體流量值，并發送至所述控制模塊；

所述流量調節模塊設置在所述工藝腔室的出氣端，用于調節所述工藝腔室的出氣端處的氣體流量；

所述控制模塊用于根據所述流量檢測模塊檢測到的所述氣體流量值和流量設定值，控制所述流量調節模塊調節所述工藝腔室的出氣端的氣體流量，以使流經所述工藝腔室的氣體流量等于所述流量設定值。

可選的，所述氣體質量流量控制器還包括溫度調節模塊，所述溫度調節模塊可拆卸地設置在靠近所述流量調節模塊的位置處，用于調節所述流量調節模塊的溫度。

可選的，所述溫度調節模塊包括熱交換腔室及分別與所述熱交換腔室的進氣端和出氣端連接的進流管路和出流管路，其中，所述熱交換腔室設置在靠近所述流量調節模塊的位置處，用于與所述流量調節模塊進行熱量交換；所述進流管路用于向所述熱交換腔室中輸送熱交換媒介；所述出流管路用于輸出所述熱交換腔室中的所述熱交換媒介。

可選的，所述流量調節模塊包括第一底座和設置在所述第一底座上的流量調節閥；其中，所述第一底座中設置有第一底座通道，所述第一底座通道與所述工藝腔室的出氣端連接；

所述流量調節閥用于調節所述第一底座通道中的氣體流量。

可選的，所述氣體質量流量控制器還包括連接線纜，所述連接線纜的兩端分別與所述控制模塊和所述流量調節閥電連接，用以進行數據交互。

可選的，所述流量檢測模塊包括第二底座和設置在所述第二底座中的通道結構，所述通道結構與所述工藝腔室的進氣端連接，且在所述第二底座中設置有熱式流量傳感器，所述熱式流量傳感器與所述通道結構連接，用以檢測所述工藝腔室的進氣端處的氣體流量值，并發送至所述控制模塊。