[發明專利]一種涂層機的載料裝置有效
| 申請號: | 202010899378.5 | 申請日: | 2020-08-31 |
| 公開(公告)號: | CN112251732B | 公開(公告)日: | 2023-02-17 |
| 發明(設計)人: | 王俊鋒;袁明;謝文榮;秦興耀;王鋒 | 申請(專利權)人: | 廣東鼎泰機器人科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/27 | 分類號: | C23C16/27;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/46 |
| 代理公司: | 東莞市華南專利商標事務所有限公司 44215 | 代理人: | 袁敏怡 |
| 地址: | 523000 廣東省東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 涂層 裝置 | ||
1.一種涂層機的載料裝置,包括真空罩,其特征在于:還包括液冷載臺組件、彈性密封件和真空罩底座冷盤,真空罩底座冷盤密封安裝于真空罩的底壁,真空罩底座冷盤用于對真空罩降溫冷卻,液冷載臺組件滑動設置于真空罩底壁,液冷載臺組件用于承載刀具并調整刀具的位置高度,液冷載臺組件和真空罩底座冷盤均為中空結構,冷卻液導入液冷載臺組件和真空罩底座冷盤內部以實現冷卻,彈性密封件套設于液冷載臺組件,彈性密封件的一端與真空罩底壁密封連接,彈性密封件的另一端與旋轉驅動件密封連接;
所述液冷載臺組件包括機架、液冷載臺、出液空心支撐管、升降驅動結構和旋轉驅動件,機架固定安裝于真空罩底部,升降驅動結構安裝于機架并與出液空心支撐管驅動連接,出液空心支撐管的上端突伸至真空罩內部并與液冷載臺固定連接,出液空心支撐管的下端與旋轉驅動件固定連接,出液空心支撐管滑動設置于真空罩底座冷盤,液冷載臺內部設有液冷空腔,出液空心支撐管與液冷空腔連通,液冷空腔內轉動安裝有旋轉導液盤,旋轉驅動件的輸出端與旋轉導液盤連接,液冷空腔導入冷卻液,旋轉導液盤用于攪動液冷空腔內部的冷卻液;
所述旋轉導液盤包括導液平板以及設置于導液平板的多個葉 片,多個葉 片沿導液平板的中心軸線呈環形陣列,導液平板轉動安裝于液冷空腔內,多個葉 片用于攪動液冷空腔內部的冷卻液,導液平板設有導液中心孔和裝配凸環體,裝配凸環體與導液中心孔共軸設置;
所述液冷載臺組件還包括進液空心管,進液空心管設置于出液空心支撐管內部,進液空心管的下端與旋轉驅動件的輸出端連接,進液空心管的上端突伸至液冷空腔內并與裝配凸環體卡接,進液空心管與導液中心孔連通,旋轉驅動件用于驅使進液空心管和旋轉導液盤轉動;
所述旋轉驅動件設有入液腔和出液腔,入液腔與進液空心管連通,出液腔與出液空心支撐管連通,冷卻液依次流經入液腔、進液空心管、導液中心孔、液冷空腔、出液空心支撐管和出液腔;
所述升降驅動結構包括固定安裝于機架的升降驅動本體以及與升降驅動本體驅動連接的承載架,機架上安裝有相互平行設置的多個第一導向桿,多個第一導向桿分別穿過承載架,承載架沿著第一導向桿移動;
所述液冷載臺包括液冷載臺本體以及安裝于液冷載臺本體的承載上蓋,承載上蓋與液冷載臺本體之間設有密封圈,刀具承載于承載上蓋。
2.根據權利要求1所述的一種涂層機的載料裝置,其特征在于:所述彈性密封件為彈性環狀體,彈性密封件套設于出液空心支撐管的外側;液冷載臺上移時,彈性密封件處于壓縮狀態;液冷載臺下移時,彈性密封件處于擴張狀態。
3.根據權利要求1所述的一種涂層機的載料裝置,其特征在于:承載架的一端滑動設置于機架,承載架的另一端與旋轉驅動件固定安裝,升降驅動本體經由承載架驅使旋轉驅動件、出液空心支撐管和液冷載臺的升降。
4.根據權利要求1所述的一種涂層機的載料裝置,其特征在于:所述真空罩底座冷盤包括密封安裝于真空罩底部的冷盤本體以及設置于冷盤本體內部的冷盤空腔,冷盤空腔導入流動的冷卻液,以用于冷卻冷盤本體,液冷載臺組件穿過冷盤本體并滑動設置于冷盤本體。
5.根據權利要求4所述的一種涂層機的載料裝置,其特征在于:所述冷盤本體固定安裝有相互平行設置的多個第二導向桿,多個第二導向桿分別與液冷載臺組件滑動連接。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





