[發明專利]一種化學材料氣相沉積裝置

有效

• 申請號: 202010889346.7
• 申請日: 2020-08-28
• 公開（公告）號: CN112144040B
• 公開（公告）日: 2023-02-24
• 發明（設計）人: 趙俊英
• 申請（專利權）人: 隴東學院
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/455
• 代理公司: 安徽濰達知識產權代理事務所(普通合伙) 34166
• 代理人: 張蘭

1.一種化學材料氣相沉積裝置，包括底座（1）、加熱棒（3）、排氣管（4）、氣泵（6）、進步電機（10）和分流管（14），其特征在于：所述底座（1）的上表面固定安裝有加熱反應室（2）、氣泵（6）和沉積室（7），且加熱反應室（2）的內壁底部固定連接有加熱棒（3），并且加熱反應室（2）的側壁上固定連接有輸氣管（17），所述排氣管（4）的端部分別與加熱反應室（2）、氣泵（6）和沉積室（7）固定連接，且加熱反應室（2）與沉積室（7）之間固定連接有連接管（5），并且連接管（5）貫穿沉積室（7）的側壁設置，所述沉積室（7）的側面活動安裝有密封門（8），且沉積室（7）的內壁上活動安裝有螺紋桿（11），并且螺紋桿（11）的一端貫穿沉積室（7）的側壁設置，而且螺紋桿（11）的端部固定安裝在進步電機（10）的輸出軸上，所述進步電機（10）固定安裝在固定支架（9）上，且固定支架（9）固定連接在底座（1）的頂部，所述分流管（14）的端部與連接管（5）的端部固定連接，且分流管（14）的底端與沉積噴頭（15）的頂部固定連接，所述沉積噴頭（15）的頂部固定安裝在滑動塊（13）的底部，且滑動塊（13）活動安裝在橫梁（12）上，并且滑動塊（13）與螺紋桿（11）活動連接，而且橫梁（12）的兩端固定安裝在沉積室（7）的內壁上，同時沉積室（7）的側壁上固定連接有承載板（16），所述加熱棒（3）設置在加熱反應室（2）的內壁中心處，且加熱反應室（2）上安裝的連接管（5）與輸氣管（17）的高度不同，連接管（5）的安裝位置更高，所述連接管（5）為不銹鋼金屬軟管，且連接管（5）固定連接的分流管（14）為陶瓷材質，所述分流管（14）上等間距設置有4個支管，且分流管（14）上的4個支管的直徑不同，從左往右支管的直徑遞減，所述螺紋桿（11）與滑動塊（13）之間為螺紋連接，且螺紋桿（11）上設置的圓盤與沉積室（7）側壁內部的卡槽構成轉動的卡合結構。

2.根據權利要求1所述的一種化學材料氣相沉積裝置，其特征在于：所述沉積噴頭（15）的底部噴口為“倒三角形”結構，且沉積噴頭（15）的噴口角度為50°。