[發明專利]堆積量信息取得裝置、成膜裝置、開閉裝置、成膜方法及電子器件的制造方法

在審

• 申請號: 202010887026.8
• 申請日: 2020-08-28
• 公開（公告）號: CN112442662A
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發明（設計）人: 相澤雄樹
• 申請（專利權）人: 佳能特機株式會社
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54;C23C14/56;H01L21/67;H01L51/56
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 鄧宗慶

本發明涉及堆積量信息取得裝置、成膜裝置、開閉裝置、成膜方法及電子器件的制造方法。堆積量信息取得裝置取得與從成膜裝置內的成膜源放出并堆積在成膜對象物上的成膜材料的堆積量相關的信息，其特征在于，包括：測量部件，所述測量部件具有測量元件，所述測量元件測量與從所述成膜源放出并堆積的成膜材料的量相關聯的信息；以及開閉部件，所述開閉部件具有遮蔽部和孔狀的開放部，所述遮蔽部使所述測量元件相對于所述成膜源遮蔽，所述開放部使所述測量元件相對于所述成膜源露出，所述開閉部件能夠以測量元件通過開放部而以規定的周期露出的方式旋轉，開閉部件包括設置在所述開閉部件的外周部且能夠識別所述開閉部件是否旋轉的旋轉識別部。

技術領域

本發明涉及用于取得在基板上成膜的成膜材料的堆積量信息的堆積量信息取得裝置、成膜裝置、開閉裝置、成膜方法及電子器件的制造方法。

背景技術

最近，作為平板顯示裝置，有機EL顯示裝置(有機EL顯示器)備受關注。有機EL顯示裝置是自發光顯示器，響應速度、視角、薄型化等特性優于液晶面板顯示器，在監視器、電視、以智能手機為代表的各種便攜式終端等中正在快速代替現有的液晶面板顯示器。另外，其應用領域也擴展到了汽車用顯示器等。

構成有機EL顯示裝置的有機發光元件(有機EL元件；OLED)具有在兩個相對的電極(陰極電極、陽極電極)之間形成有進行發光的有機物層的基本結構。有機發光元件的有機物層和金屬電極層例如通過如下方式制造：在成膜裝置中，對收容有成膜材料的蒸發源進行加熱，使成膜材料蒸發，使成膜材料的蒸發粒子經由形成有像素圖案的掩模堆積在基板上。

在成膜裝置中，為了測定和控制在基板上成膜的有機材料或金屬材料的厚度以及/或者成膜率，使用石英晶體監視器。石英晶體監視器使用石英諧振器的共振頻率與在石英諧振器的電極上堆積的成膜材料的量之間的關系，根據共振頻率的變動值計算成膜材料的厚度以及/或者成膜率。

隨著石英諧振器的成膜材料堆積規定量以上，會產生石英諧振器無法維持共振振動的現象。在該狀態下，已無法根據共振頻率的變動值高精度地測定膜厚、成膜率，因此，若產生這樣的現象，則判定為石英諧振器壽命耗盡，對石英諧振器進行更換。

在石英晶體監視器，為了調節堆積在石英諧振器上的成膜材料的量而設置有遮擋器(chopper)。遮擋器不使石英諧振器向成膜源持續地露出，而是經由形成于遮擋器的孔狀的開放部而間歇地或周期性地向成膜源露出，從而使堆積在石英諧振器上的成膜材料的量成為堆積在基板上的成膜材料的量的規定的比例，由此，抑制石英諧振器的壽命過度變短。

發明要解決的課題

具有孔狀的開放部的遮擋器為了使石英諧振器向成膜源間歇地或周期性地露出而能夠旋轉地設置在成膜裝置的真空容器內，但在真空容器內除了石英晶體監視器以外還配置有各種機構，來自設置于真空容器的觀察窗的視野受到限制。

尤其是，遮擋器的孔狀的開放部有時被其他機構(例如，石英晶體監視器支承部件)遮擋而難以從觀察窗看到，由于遮擋器通常是圓板狀，因此，在孔狀的開放部被遮擋而無法看到，只能看到圓板的外周部的情況下，存在無法經由觀察窗目視確認遮擋器是否旋轉的問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種能夠容易地確認設置在成膜裝置的真空容器的內部的遮擋器等開閉部件是否旋轉的堆積量信息取得裝置、成膜裝置、開閉裝置、成膜方法及電子器件的制造方法。

用于解決課題的方案