[發明專利]堆積量信息取得裝置、成膜裝置、開閉裝置、成膜方法及電子器件的制造方法

在審

• 申請號: 202010887026.8
• 申請日: 2020-08-28
• 公開（公告）號: CN112442662A
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發明（設計）人: 相澤雄樹
• 申請（專利權）人: 佳能特機株式會社
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54;C23C14/56;H01L21/67;H01L51/56
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 鄧宗慶

1.一種堆積量信息取得裝置，取得與從成膜裝置內的成膜源放出并堆積在成膜對象物上的成膜材料的堆積量相關的信息，其特征在于，所述堆積量信息取得裝置包括：

測量部件，所述測量部件具有測量元件，所述測量元件測量與從所述成膜源放出并堆積的成膜材料的量相關聯的信息；以及

開閉部件，所述開閉部件具有遮蔽部和孔狀的開放部，所述遮蔽部從所述成膜源遮蔽所述測量元件，所述開放部使所述測量元件相對于所述成膜源露出，所述開閉部件能夠以所述測量元件通過所述開放部而以規定的周期露出的方式旋轉，

所述開閉部件包括旋轉識別部，所述旋轉識別部設置在所述開閉部件的外周部，能夠識別所述開閉部件是否旋轉。

2.如權利要求1所述的堆積量信息取得裝置，其特征在于，

所述旋轉識別部設置于在所述開閉部件旋轉期間不使所述測量元件向所述成膜源露出的位置。

3.如權利要求2所述的堆積量信息取得裝置，其特征在于，

所述旋轉識別部在所述開閉部件旋轉期間，不通過將所述測量元件與所述成膜源連接的任意的直線上。

4.如權利要求3所述的堆積量信息取得裝置，其特征在于，

所述旋轉識別部設置在比所述開放部靠所述開閉部件的外周部側的位置。

5.如權利要求3所述的堆積量信息取得裝置，其特征在于，

所述旋轉識別部設置于所述開閉部件的所述遮蔽部。

6.如權利要求5所述的堆積量信息取得裝置，其特征在于，

所述旋轉識別部包括從所述遮蔽部的周緣部朝向中央部設置的切口部。

7.如權利要求5所述的堆積量信息取得裝置，其特征在于，

所述旋轉識別部的顏色以及材質中的至少一方與所述遮蔽部的其他部分不同。

8.如權利要求7所述的堆積量信息取得裝置，其特征在于，

所述旋轉識別部是與所述遮蔽部獨立地另行設置于所述遮蔽部的外周部的部件。

9.如權利要求1所述的堆積量信息取得裝置，其特征在于，

所述測量元件包括石英諧振器。

10.如權利要求1所述的堆積量信息取得裝置，其特征在于，

所述測量部件具有多個測量元件，

所述堆積量信息取得裝置包括罩部件，所述罩部件設置成與所述測量部件相向，所述罩部件具有使所述多個測量元件中的一個測量元件向所述成膜源露出的開口，

所述開閉部件能夠以通過所述開口使所述一個測量元件相對于所述成膜源以所述規定的周期露出的方式旋轉。

11.如權利要求1所述的堆積量信息取得裝置，其特征在于，

所述堆積量信息取得裝置還包括堆積量信息計算部，所述堆積量信息計算部基于堆積在所述測量元件上的所述成膜材料的量，計算與在所述成膜對象物上成膜的所述成膜材料的堆積量相關的信息。

12.一種成膜裝置，其特征在于，包括：

真空容器；

成膜源，所述成膜源設置在所述真空容器內，放出成膜材料；

成膜對象物保持單元，所述成膜對象物保持單元設置在所述真空容器內，保持成膜對象物；以及

權利要求1～11中任一項所述的堆積量信息取得裝置，所述堆積量信息取得裝置取得與堆積在所述成膜對象物上的所述成膜材料的堆積量相關的信息。

13.一種開閉裝置，其特征在于，所述開閉裝置包括：

開閉部件，所述開閉部件具有遮蔽部和孔狀的開放部，設置成能夠旋轉；以及

旋轉驅動部，所述旋轉驅動部使所述開閉部件以規定的速度旋轉，

所述開閉部件包括旋轉識別部，所述旋轉識別部設置在所述開閉部件的外周部，用于識別所述開閉部件是否旋轉。