[發(fā)明專利]一種固晶機(jī)的無沖擊力頂針裝置及其工作方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010883301.9
• 申請(qǐng)日: 2020-08-26
• 公開（公告）號(hào): CN111863703A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐文軒;黃國洪;王平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市微恒自動(dòng)化設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687;H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 44384
• 代理人: 彭西洋;謝亮

1.一種固晶機(jī)的無沖擊力頂針裝置，其特征在于：包括基座、頂針、頂針驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、頂針帽和頂針帽驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述頂針帽安裝于基座的頂部，該頂針帽上設(shè)有真空孔；所述頂針帽驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于頂針帽的底部，用于控制頂針帽運(yùn)動(dòng)；所述頂針安裝于頂針帽上的真空孔內(nèi)，所述頂針驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于基座上，其位于頂針的底部，用于控制頂針運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固晶機(jī)的無沖擊力頂針裝置，其特征在于：所述頂針驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括頂針微調(diào)結(jié)構(gòu)和頂針導(dǎo)向套件，所述頂針微調(diào)結(jié)構(gòu)安裝于基座側(cè)壁，所述頂針導(dǎo)向套件安裝于頂針微調(diào)結(jié)構(gòu)上，該頂針導(dǎo)向套件的另一端連接至頂針。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固晶機(jī)的無沖擊力頂針裝置，其特征在于：所述頂針帽驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括安裝板、頂針帽導(dǎo)向軸、頂針帽導(dǎo)向軸承、曲柄機(jī)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述安裝板安裝在基座頂部，其位于頂針帽的底部；所述頂針帽導(dǎo)向軸安裝于安裝板底部且通過頂針帽導(dǎo)向軸承安裝于基座上，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝于基座側(cè)壁，所述曲柄機(jī)構(gòu)套設(shè)于頂針帽導(dǎo)向軸上并與驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接，所述頂針帽在驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)下，由導(dǎo)向軸承導(dǎo)向?qū)崿F(xiàn)上下運(yùn)動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固晶機(jī)的無沖擊力頂針裝置，其特征在于：所述基座的底部安裝有調(diào)節(jié)滑臺(tái)，用于調(diào)節(jié)基座的位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求5所述的固晶機(jī)的無沖擊力頂針裝置，其特征在于：所述基座上還設(shè)置有滑臺(tái)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，用于控制調(diào)節(jié)滑臺(tái)運(yùn)動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固晶機(jī)的無沖擊力頂針裝置的工作方法，其特征在于，包括步驟：

a.晶膜移動(dòng)，使晶膜上的一顆晶片中心處于頂針尖端正上方，頂針帽通過真空吸力將晶膜吸住貼在頂針帽上表面，晶片頂部的吸嘴向下移動(dòng)貼住晶片頂部，并繼續(xù)向下使晶片底部貼住頂針尖部；

b.通過頂針帽驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)頂針帽向下運(yùn)動(dòng)，此時(shí)晶膜貼住頂針帽上表面跟隨頂針帽向下運(yùn)動(dòng)，晶片在頂針的支撐下保持不動(dòng)，使晶片跟晶膜脫離；

c.接著吸嘴向上運(yùn)動(dòng)，在真空作用下將已經(jīng)與晶膜脫離的晶片吸走。

d.重復(fù)(a)-(c)的動(dòng)作，使頂針裝置不斷的循環(huán)工作，實(shí)現(xiàn)固晶機(jī)取晶的循環(huán)工作。