[發(fā)明專利]試樣板保持器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010882849.1 | 申請日： | 2020-08-28 |
| 公開（公告）號： | CN112444531A | 公開（公告）日： | 2021-03-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 阿部圣;村上雄大;阿部修平 | 申請（專利權(quán)）人： | 日本電子株式會社 |
| 主分類號： | G01N23/2204 | 分類號： | G01N23/2204;H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市隆安律師事務(wù)所 11323 | 代理人： | 權(quán)鮮枝;劉寧軍 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 試樣 保持 | ||
一種試樣板保持器，在保持器主體(12)內(nèi)設(shè)置有第1彈簧列(34)和第2彈簧列(36)。在保持器主體(12)內(nèi)最大能設(shè)置3個試樣板(16、18)。雖然各試樣板(16、18)受到來自第1彈簧列34和第2彈簧列36的上推力，但各試樣板(16、18)向上方的運(yùn)動被蓋(14)的內(nèi)表面(14A)限制。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及試樣板保持器，特別是涉及掃描式電子顯微鏡(Scanning electronmicroscope)中使用的試樣板保持器。
背景技術(shù)
在掃描式電子顯微鏡的試樣室的內(nèi)部設(shè)置有可動載臺。在該可動載臺上搭載有放置了作為觀察對象的試樣(Sample)的保持器(Holder)。在載玻片(Slide glass)等試樣板(Sample plate)上設(shè)置有試樣的情況下，如果將該試樣板整體設(shè)置到試樣室的內(nèi)部，會很方便進(jìn)行試樣的觀察。特別是，期待能夠?qū)⒍鄠€試樣板設(shè)置到試樣室的內(nèi)部，連續(xù)地觀察多個試樣。為此需要實(shí)現(xiàn)專用保持器。此外，提供了厚度不同的多種試樣板。
在特開2015-159236號公報(bào)中公開了設(shè)置到帶電粒子束描繪裝置的保持器。該保持器是保持1片玻璃基板的保持器，從玻璃基板的下方給予玻璃基板上推力。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于實(shí)現(xiàn)能保持多個試樣板的試樣板保持器。或者，本發(fā)明的目的在于實(shí)現(xiàn)如下試樣板保持器：無論試樣板的厚度如何，都會在使其上表面水平高度與基準(zhǔn)水平高度一致的同時保持試樣板。
本發(fā)明的試樣板保持器的特征在于，包含：保持器主體，其具有收納空間，上述收納空間能收納在x方向上排列的m(其中，m為2以上的整數(shù))個試樣板；第1上推元件列，其在上述收納空間內(nèi)設(shè)置于與上述x方向正交的y方向的一側(cè)，包括在上述x方向上排列的多個上推元件；第2上推元件列，其在上述收納空間內(nèi)設(shè)置于上述y方向的另一側(cè)，包括在上述x方向上排列的多個上推元件；以及蓋，其覆蓋上述收納空間并且使上述收納空間中的試樣區(qū)域露出，在上述收納空間中收納有上述m個以下的試樣板的狀態(tài)下，由上述第1上推元件列和上述第2上推元件列給予上述各試樣板上推力，從而上述各試樣板的上表面被按壓于上述蓋的內(nèi)表面。
根據(jù)上述構(gòu)成，1個或多個試樣板被收納于保持器主體的收納空間，1個或多個試樣板被蓋覆蓋。在實(shí)施方式中，蓋在閉合狀態(tài)下具有水平姿勢，其內(nèi)表面構(gòu)成水平面。在蓋的閉合狀態(tài)下，雖然各試樣板受到來自第1上推元件列和第2上推元件列的上推力，但各試樣板向上方的運(yùn)動被蓋限制。此時，各試樣板的上表面的水平高度(Level)會與蓋的內(nèi)表面的水平高度一致，也就是與基準(zhǔn)水平高度一致。無論要保持的各試樣板的厚度如何，各試樣板的上表面的水平高度都會自然與基準(zhǔn)水平高度一致。從而，在顯微鏡的觀察時，無需改變或大幅改變聚焦深度就能依次觀察多個試樣。
在實(shí)施方式中，上述第1上推元件列和上述第2上推元件列分別由獨(dú)立進(jìn)行動作的m個以上的上推元件構(gòu)成。各個上推元件能由彈簧、彈性構(gòu)件等構(gòu)成。由于各個試樣板的一側(cè)端部和另一側(cè)端部這兩者被施加上推力，因此，各個試樣板的姿勢會穩(wěn)定化。在實(shí)施方式中，從上方來看，在避開了可能會存在試樣的試樣區(qū)域的位置，具體來說是在試樣區(qū)域的兩側(cè)，設(shè)置有第1上推元件列和第2上推元件列。
在實(shí)施方式中，上述m為3，上述第1上推元件列和上述第2上推元件列分別由m×n(其中，n為1以上的整數(shù))個上推元件構(gòu)成。例如，n為2。在這種情況下，各上推元件列由6個上推元件構(gòu)成，優(yōu)選它們以均等間隔配置。
在實(shí)施方式中，試樣板保持器包含：鉸接部，其使上述蓋相對于上述保持器主體進(jìn)行開閉運(yùn)動；以及鎖定機(jī)構(gòu)，其在上述蓋處于閉合狀態(tài)的情況下，將上述蓋相對于上述保持器主體鎖定。根據(jù)該構(gòu)成，能夠在蓋處于閉合姿勢的情況下防止其上浮。
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