[發明專利]試樣板保持器

在審

• 申請號: 202010882849.1
• 申請日: 2020-08-28
• 公開（公告）號: CN112444531A
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發明（設計）人: 阿部圣;村上雄大;阿部修平
• 申請（專利權）人: 日本電子株式會社
• 主分類號: G01N23/2204
• 分類號: G01N23/2204;H01J37/20;H01J37/28
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 權鮮枝;劉寧軍

1.一種試樣板保持器，其特征在于，

包含：

保持器主體，其具有收納空間，上述收納空間能收納在x方向上排列的m個試樣板，其中，m為2以上的整數；

第1上推元件列，其在上述收納空間內設置于與上述x方向正交的y方向的一側，包括在上述x方向上排列的多個上推元件；

第2上推元件列，其在上述收納空間內設置于上述y方向的另一側，包括在上述x方向上排列的多個上推元件；以及

蓋，其覆蓋上述收納空間并且使上述收納空間中的試樣區域露出，

在上述收納空間中收納有上述m個以下的試樣板的狀態下，由上述第1上推元件列和上述第2上推元件列給予上述各試樣板上推力，從而上述各試樣板的上表面被按壓于上述蓋的內表面。

2.根據權利要求1所述的試樣板保持器，其特征在于，

上述第1上推元件列和上述第2上推元件列分別由獨立進行動作的m個以上的上推元件構成。

3.根據權利要求2所述的試樣板保持器，其特征在于，

上述m為3，

上述第1上推元件列和上述第2上推元件列分別由m×n個上推元件構成，其中，n為1以上的整數。

4.根據權利要求1所述的試樣板保持器，其特征在于，包含：

鉸接部，其使上述蓋相對于上述保持器主體進行開閉運動；以及

鎖定機構，其在上述蓋處于閉合狀態的情況下，將上述蓋相對于上述保持器主體鎖定。

5.根據權利要求1所述的試樣板保持器，其特征在于，

上述保持器主體具有：

第1側壁，其設置在上述y方向的一端；以及

第2側壁，其設置在上述y方向的另一端，

上述第1側壁的上表面和上述第2側壁的上表面規定基準水平高度，

在上述蓋的閉合狀態下，上述蓋的內表面碰到上述第1側壁的上表面和上述第2側壁的上表面，從而上述各板的上表面水平高度與基準水平高度一致。

6.根據權利要求5所述的試樣板保持器，其特征在于，

在上述第1側壁設置有第1標尺，

在上述第2側壁設置有第2標尺。

7.根據權利要求1所述的試樣板保持器，其特征在于，

上述各試樣板具有透明性，

在上述收納空間的底面設置有具有抑制光反射的作用的背景面。

8.根據權利要求1所述的試樣板保持器，其特征在于，

在上述保持器主體和上述蓋中的至少一方設置有向收納于上述收納空間的上述m個以下的試樣板的上表面吹送氣體的流路結構。

9.根據權利要求1所述的試樣板保持器，其特征在于，

上述蓋具有觀察窗，

在上述觀察窗設置有導電性網格。

10.根據權利要求1所述的試樣板保持器，其特征在于，

上述保持器主體和上述蓋由導電性材料構成，

在上述保持器主體和上述蓋中的一方設置有用于施加電壓的端子，

在上述保持器主體設置有與可動載臺結合的由絕緣性材料構成的卡合塊。

11.根據權利要求1所述的試樣板保持器，其特征在于，

在上述蓋設置有1個或多個定位用標記。