[發明專利]真空泵

有效

• 申請號: 202010882284.7
• 申請日: 2020-08-28
• 公開（公告）號: CN112727787B
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發明（設計）人: 田中晉悟
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/58
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 薛恒;王琳

本發明提供一種能夠在短時間內使泵主體的溫度上升到所期望的溫度的真空泵。真空泵(100)包括：泵主體(6)；加熱器(7)，設置于泵主體(6)；電源裝置(1)，對泵供給電力；冷卻器(2)，設置于泵主體(6)與電源裝置(1)之間；連接板(4)，設置于泵主體(6)與冷卻器(2)之間；第一隔熱板(3)，配置于冷卻器(2)與連接板(4)之間；以及第二隔熱板(5)，配置于泵主體(6)與連接板(4)之間。

技術領域

本發明涉及一種電源裝置一體型的真空泵。

背景技術

作為真空泵的渦輪分子泵被用于各種真空處理裝置。電源一體型的渦輪分子泵包括泵主體以及電源裝置。在專利文獻1中所記載的渦輪分子泵中，為了對構成電源裝置的各零件進行冷卻而在泵主體與電源裝置之間設置水冷裝置。

另一方面，根據由渦輪分子泵排出的氣體種類，產物附著于泵主體的內部。因此，為了將泵主體的內部溫度保持為不會附著產物的程度，而在泵主體設置加熱器(例如，參照專利文獻2)。由此，由產物的附著物所致的排氣性能的降低得到抑制。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2014-148977號公報

[專利文獻2]日本專利特開2013-079602號公報

發明內容

[發明所要解決的問題]

在渦輪分子泵中，有時為了將泵主體與水冷裝置連接而在泵主體設置連接板。在此種結構中，為了抑制泵主體與水冷裝置之間的熱的移動而在連接板與水冷裝置之間設置隔熱板。

但是，即便在設置有隔熱板的情況下，有時也在泵主體與水冷裝置之間經由連接板以及隔熱板而產生熱的移動。結果，泵主體的溫度難以上升到所期望的溫度。

本發明的目的為提供一種能夠在短時間內使泵主體的溫度上升到所期望的溫度的真空泵。

[解決問題的技術手段]

依照本發明的一方面的真空泵包括：泵主體；加熱器，設置于所述泵主體；電源裝置，對所述泵主體供給電力；冷卻器，設置于所述泵主體與所述電源裝置之間；連接板，設置于所述泵主體與所述冷卻器之間；第一隔熱板，配置于所述冷卻器與所述連接板之間；以及第二隔熱板，配置于所述泵主體與所述連接板之間。

依照本發明的另一方面的真空泵包括：泵主體；加熱器，設置于所述泵主體；電源裝置，對所述泵主體供給電力；冷卻器，設置于所述泵主體與所述電源裝置之間；連接板，設置于所述泵主體與所述冷卻器之間；以及第一隔熱板，配置于所述冷卻器與所述連接板之間，并且所述冷卻器以及所述連接板中的至少一者具有供所述第一隔熱板嵌入的第一嵌入區域，且在所述冷卻器與所述連接板之間形成第一間隙，所述第一隔熱板的厚度大于所述第一間隙的厚度。

[發明的效果]

根據本發明，在真空泵中，能夠使泵主體的溫度在短時間內上升到所期望的溫度。

附圖說明

圖1是第一實施形態的渦輪分子泵的示意性正面圖。

圖2是圖1的渦輪分子泵的A-A線剖面圖。

圖3是圖1的渦輪分子泵的一部分的放大剖面圖。

圖4是第二實施形態的渦輪分子泵的示意性正面圖。

圖5是圖4的渦輪分子泵的B-B線剖面圖。

圖6是圖4的渦輪分子泵的一部分的放大剖面圖。

圖7是表示渦輪分子泵的其他例的一部分的放大剖面圖。