[發(fā)明專利]真空泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010882284.7
• 申請日: 2020-08-28
• 公開（公告）號: CN112727787B
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 田中晉悟
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/58
• 代理公司: 北京派特恩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 薛恒;王琳

1.一種真空泵，其中，包括：泵主體；

加熱器，設(shè)置于所述泵主體；

電源裝置，對所述泵主體供給電力；

冷卻器，設(shè)置于所述泵主體與所述電源裝置之間；

連接板，設(shè)置于所述泵主體與所述冷卻器之間；

第一隔熱板，配置于所述冷卻器與所述連接板之間；以及

第二隔熱板，配置于所述泵主體與所述連接板之間，

其中所述泵主體具有與所述連接板相向的第一面并且具有外周面，

所述冷卻器具有與所述連接板相向的第二面，

所述連接板于在與所述第一面垂直的第一方向進行觀察時，具有從所述泵主體的所述外周面向外側(cè)突出的突出部，

所述第一隔熱板配置于所述突出部與所述冷卻器的所述第二面之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其中所述冷卻器以及所述連接板中的至少一者具有供所述第一隔熱板嵌入的第一嵌入?yún)^(qū)域，且

在所述冷卻器與所述連接板之間形成第一間隙，

所述第一隔熱板的厚度大于所述第一間隙的厚度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空泵，其中所述泵主體以及所述連接板中的至少一者具有供所述第二隔熱板嵌入的第二嵌入?yún)^(qū)域，且

在所述泵主體與所述連接板之間形成第二間隙，

所述第二隔熱板的厚度大于所述第二間隙的厚度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空泵，其中所述突出部于在所述第一方向進行觀察時，以至少部分包圍所述泵主體的所述外周面的方式形成，

所述第一隔熱板于在所述第一方向進行觀察時，以至少部分包圍所述泵主體的所述外周面的方式連續(xù)或間斷地設(shè)置，

所述第二隔熱板于在所述第一方向進行觀察時，沿著所述泵主體的所述外周面連續(xù)或間斷地設(shè)置。

5.一種真空泵，其中，包括：泵主體；

加熱器，設(shè)置于所述泵主體；

電源裝置，對所述泵主體供給電力；

冷卻器，設(shè)置于所述泵主體與所述電源裝置之間；

連接板，設(shè)置于所述泵主體與所述冷卻器之間；以及

第一隔熱板，配置于所述冷卻器與所述連接板之間，并且

所述冷卻器以及所述連接板中的至少一者具有供所述第一隔熱板嵌入的第一嵌入?yún)^(qū)域，且

在所述冷卻器與所述連接板之間形成第一間隙，

所述第一隔熱板的厚度大于所述第一間隙的厚度，

其中所述泵主體具有外周面，

所述冷卻器具有與所述連接板相向的相向面，

所述連接板于在與所述相向面垂直的第一方向進行觀察時，具有以從所述泵主體的所述外周面向外側(cè)突出的方式形成的突出部，

所述第一嵌入?yún)^(qū)域設(shè)置于所述冷卻器以及所述突出部中的至少一者，

所述第一隔熱板以嵌入至所述第一嵌入?yún)^(qū)域的方式配置于所述冷卻器與所述突出部之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空泵，其中所述突出部于在所述第一方向進行觀察時，以至少部分包圍所述泵主體的所述外周面的方式形成，

所述第一嵌入?yún)^(qū)域于在所述第一方向進行觀察時，以至少部分包圍所述泵主體的所述外周面的方式，連續(xù)或間斷地設(shè)置于所述冷卻器以及所述突出部中的至少一者，

所述第一隔熱板以嵌入至所述第一嵌入?yún)^(qū)域的方式配置于所述冷卻器與所述突出部之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的真空泵，其中于在所述第一方向進行觀察時，所述第一隔熱板的寬度為所述突出部的最小寬度的二分之一以下。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空泵，其中于在所述第一方向進行觀察時，所述第一隔熱板的內(nèi)緣部與所述泵主體的所述外周面之間的距離為所述突出部的所述最小寬度的二分之一以上。