[發明專利]半導體泵源殼體內的反射鏡自動裝配方法、裝置及系統

有效

• 申請號: 202010880198.2
• 申請日: 2020-08-27
• 公開（公告）號: CN112008356B
• 公開（公告）日: 2022-05-24
• 發明（設計）人: 張龍;楊向通
• 申請（專利權）人: 無錫奧普特自動化技術有限公司
• 主分類號: B23P19/00
• 分類號: B23P19/00;B05C5/02;B05C9/12;B05D3/06;G01L1/00
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 殷紅梅

1.一種半導體泵源殼體內的反射鏡自動裝配方法，其特征在于，包括：

向控制器發送取鏡控制信號，所述取鏡控制信號用于控制取鏡機構向半導體泵源殼體內的通道裝配反射鏡；

獲取半導體泵源殼體內的通道狀態數據，所述通道狀態數據包括通道總數量和已經裝配反射鏡的通道數量；

根據所述通道狀態數據判斷半導體泵源殼體內的通道是否均裝配反射鏡；

若存在未裝配反射鏡的通道，則返回執行所述向控制器發送取鏡控制信號的步驟；

若半導體泵源殼體內的通道均裝配反射鏡，則輸出結束信號；

所述半導體泵源殼體內的反射鏡自動裝配方法還包括在所述向控制器發送取鏡控制信號的步驟后進行的：

當取鏡機構根據所述取鏡控制信號將反射鏡裝配在所述半導體泵源殼體內的通道上后，判斷所述反射鏡的光斑合束數據是否達標；

若所述反射鏡的光斑合束數據不達標，則輸出結束信號。

2.根據權利要求1所述的半導體泵源殼體內的反射鏡自動裝配方法，其特征在于，所述半導體泵源殼體內的反射鏡自動裝配方法還包括在所述向控制器發送取鏡控制信號的步驟前進行的：

獲取位于料盒上的第一壓力檢測裝置的第一檢測信號以及位于取鏡機構上的第二壓力檢測裝置的第二檢測信號，其中所述料盒用于盛放反射鏡；

根據所述第一檢測信號以及所述第二檢測信號生成取鏡控制信號。

3.根據權利要求1所述的半導體泵源殼體內的反射鏡自動裝配方法，其特征在于，

若所述反射鏡的光斑合束數據達標，則判斷所述反射鏡是否滿足預設臨界要求；

若滿足，則生成點膠控制信號以及生成UV固化控制信號，其中所述點膠控制信號用于控制點膠機構對所述反射鏡進行點膠固定，所述UV固化控制信號用于控制UV固化機構對點膠后的所述反射鏡進行UV固化；

若不滿足，則生成第一位置調整信號，并返回執行判斷所述反射鏡是否滿足預設臨界要求的步驟，其中所述第一位置調整信號用于控制所述取鏡機構調整所述反射鏡的位置；

其中所述預設臨界要求包括所述反射鏡接收的光斑位于所述反射鏡的邊緣。

4.根據權利要求3所述的半導體泵源殼體內的反射鏡自動裝配方法，其特征在于，所述半導體泵源殼體內的反射鏡自動裝配方法還包括在所述生成UV固化控制信號的步驟前進行的：

判斷點膠之后的所述反射鏡的光斑合束數據是否達標；

若點膠之后的所述反射鏡的光斑合束數據不達標，則生成第二位置調整信號，并返回執行所述判斷點膠之后的所述反射鏡的光斑合束數據是否達標的步驟，其中所述第二位置調整信號用于控制所述取鏡機構調整所述反射鏡的位置；

若點膠之后的所述反射鏡的光斑合束數據達標，則執行所述生成UV固化控制信號的步驟。

5.根據權利要求2所述的半導體泵源殼體內的反射鏡自動裝配方法，其特征在于，所述判斷所述反射鏡的光斑合束是否達標，包括：

獲取比例衰減裝置的輸出信號；

判斷所述比例衰減裝置的輸出信號是否滿足預設功率；

若滿足，則判定所述反射鏡的光斑合束達標；

若不滿足，則判定所述反射鏡的光斑合束不達標。

6.一種半導體泵源殼體內的反射鏡自動裝配裝置，其特征在于，包括存儲器和處理器，所述存儲器與所述處理器通信連接，所述存儲器用于存儲計算機指令，所述處理器用于加載并執行所述計算機執行以實現權利要求1至5中任意一項所述的半導體泵源殼體內的反射鏡自動裝配方法。

7.一種半導體泵源殼體內的反射鏡自動裝配系統，其特征在于，包括：取鏡機構、控制器和權利要求6所述的半導體泵源殼體內的反射鏡自動裝配裝置，所述控制器與所述半導體泵源殼體內的反射鏡自動裝配裝置通信連接，所述取鏡機構與所述控制器連接，

所述半導體泵源殼體內的反射鏡自動裝配裝置能夠生成取鏡控制信號；

所述控制器能夠根據所述取鏡控制信號生成取鏡機構驅動信號；

所述取鏡機構用于根據所述取鏡機構驅動信號向半導體泵源殼體內的通道裝配反射鏡。