[發明專利]一種電子級鹽酸的制備工藝

在審

• 申請號: 202010879448.0
• 申請日: 2020-08-27
• 公開（公告）號: CN112062089A
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 劉奕豐;胡侃中;陳重佑;吳俊賢;李文斌;鄭義達;駱彥成
• 申請（專利權）人: 福建天甫電子材料有限公司
• 主分類號: C01B7/07
• 分類號: C01B7/07;B01D53/40;B01D53/78
• 代理公司: 廈門原創專利事務所(普通合伙) 35101
• 代理人: 徐東峰

本發明公開了一種電子級鹽酸的制備工藝，涉及電子級鹽酸的制備工藝技術領域，為解決現有的電子級鹽酸的制備工藝制備的性能還不夠完善，工作效率較慢的問題。步驟1、對鹽酸進行輸送；步驟2、鹽酸中間槽32％鹽酸經由輸送泵輸送至預熱器，預熱后送入純化塔；驟3、開啟循環泵進行循環，當循環槽內鹽酸濃度大于36％時，根據實際情況加入超純水進行濃度調整，調整達標后進入成品槽；步驟4、成品槽內產品再依據客戶不同需求，經高精密過濾后充填成各種不同包材；排污環節，主要為鹽酸各儲槽、中間槽、成品槽及循環槽等產生的鹽酸霧，經二級水洗加一級堿洗尾氣處理系統處理后排放。

技術領域

本發明涉及電子級鹽酸的制備工藝技術領域，具體為一種電子級鹽酸的制備工藝。

背景技術

目前，我國高純電子級化學品大多依賴進口，隨著國內電子行業向著高集成化、高均勻性及高完整性的飛速的發展，對廣泛用于單晶硅氣相拋光和外延機座腐蝕的電子級鹽酸的要求也越來越高。除了純度到達9999％以上，還要求鹽酸的HCl、H2O和金屬離子等有機雜質的含量越來越低，電子級鹽酸在我們生活的各個領域中具有廣泛的應用，如醫藥、化工、半導體、大規模集成電路等行業。電子級鹽酸主要用于外延生長前硅和砷化鎵高溫氣相刻蝕，清洗鈉離子。另外高純鹽酸還用于金屬表面化學處理，激光用混合氣、膠片生產及碳纖維表面處理。過去我國大多依賴進口，近年來技術得到不少突破。電子級鹽酸產品附加值高，利潤豐厚，屬于精細化工品，投資少，技術含量高。目前僅有少數廠家進行電子級鹽酸的生產。隨著國家光伏行業和新能源的快速發展。

但是，現有的電子級鹽酸的制備工藝制備的性能還不夠完善，工作效率較慢；因此不滿足現有的需求，對此我們提出了一種電子級鹽酸的制備工藝。

發明內容

本發明的目的在于提供一種電子級鹽酸的制備工藝，以解決上述背景技術中提出的現有的電子級鹽酸的制備工藝制備的性能還不夠完善，工作效率較慢的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種電子級鹽酸的制備工藝，其特征在于：包括以下步驟：

步驟1、對鹽酸進行輸送，32％鹽酸先由槽車送至鹽酸儲槽存放，生產前，32％合成鹽酸通過原料輸送泵輸送至活性炭吸附塔(200-300kg/h)，將其中所含有的游離氯或是有機物去除并暫存于鹽酸中間槽；

步驟2、鹽酸中間槽32％鹽酸經由輸送泵輸送至預熱器，預熱后送入純化塔，純化塔塔底液位控制在30％-50％，打開再沸器蒸氣閥門，再沸器使用0.6kg/cm2蒸汽，純化塔利用共沸蒸餾原理純化生產氣態鹽酸(36％HCL)氣態鹽酸經純化塔塔項進入冷凝器，冷凝至25-30℃后經吸收塔進入到循環槽；

步驟3、開啟循環泵進行循環，當循環槽內鹽酸濃度大于36％時，根據實際情況加入超純水進行濃度調整，調整達標后進入成品槽；

步驟4、成品槽內產品再依據客戶不同需求，經高精密過濾后充填成各種不同包材；鹽酸制造過程中，純化塔排出含雜質多的鹽酸，經過預熱器進行冷卻后，進入副產品槽；吸收塔底部排出含雜質多的鹽酸，也進入副產品槽，得到副產品工業級鹽酸(21％)；

步驟5、排污環節，主要為鹽酸各儲槽、中間槽、成品槽及循環槽等產生的鹽酸霧，經二級水洗加一級堿洗尾氣處理系統處理后排放，尾氣處理系統產生的廢水及再沸器使用蒸汽產生的冷凝水及冷凝器產生的冷卻循環水，活性炭吸附及高精密過濾產生的廢濾材及各泵體、電機產生的設備噪聲。