[發明專利]線圈部件及其制造方法

在審

• 申請號: 202010870727.0
• 申請日: 2020-08-26
• 公開（公告）號: CN112447373A
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發明（設計）人: 織茂洋子;柏智男
• 申請（專利權）人: 太陽誘電株式會社
• 主分類號: H01F27/255
• 分類號: H01F27/255;H01F1/147;H01F3/10;H01F41/02;H05K1/18
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;劉芃茜

1.一種線圈部件，其包括包含軟磁性合金顆粒的磁性體和配置于該磁性體的內部或者表面的導體，該線圈部件的特征在于：

所述磁性體中，

作為軟磁性合金顆粒，包括：第1顆粒，其合金成分實質上由Fe、Si和Cr構成；和第2顆粒，作為其合金成分含有Fe和Si以及比Fe更容易氧化的Si和Cr以外的元素，

所述第2顆粒的平均粒徑比所述第1顆粒的平均粒徑小，

所述第1顆粒在其表面具有含有Si和Cr的非晶質氧化物膜，

所述第2顆粒在其表面具有含有所述比Fe更容易氧化的Si和Cr以外的元素的結晶質氧化物的層，并且，

所述結晶質氧化物形成延伸至多個所述第1顆粒之間的接合部。

2.如權利要求1所述的線圈部件，其特征在于：

所述軟磁性合金顆粒中的Fe的質量比例為30～98％。

3.如權利要求1或2所述的線圈部件，其特征在于：

所述結晶質氧化物為單晶。

4.如權利要求1～3中任一項所述的線圈部件，其特征在于：

所述比Fe更容易氧化的Si和Cr以外的元素為Al或者Mn。

5.如權利要求1～4中任一項所述的線圈部件，其特征在于：

所述接合部填塞了所述軟磁性合金顆粒間的空隙。

6.一種線圈部件的制造方法，所述線圈部件包括包含軟磁性合金顆粒的磁性體和配置于該磁性體的內部或者表面的導體，所述線圈部件的制造方法的特征在于，包括：

(a)作為軟磁性合金粉末準備第1粉末和第2粉末的步驟，其中所述第1粉末的合金成分實質上由Fe、Si和Cr構成，所述第2粉末作為其合金成分含有Fe和Si以及比Fe更容易氧化的Si和Cr以外的元素，并且與所述第1粉末相比平均粒徑小；

(d)將所述第1粉末和所述第2粉末混合以得到混合粉末的步驟；

(e)將通過所述(d)得到的混合粉末成形以得到成形體的步驟；

(f)將通過所述(e)得到的成形體在氧濃度為10ppm～800ppm以下的氣氛中、500℃～900℃的溫度下進行熱處理以得到磁性體的步驟；和

(g)進行下述(1)和(2)的至少一者的步驟：(1)在所述(e)中，在所述成形體的內部或者表面配置導體或者其前體；(2)在進行了所述(f)之后，在所述磁性體的表面配置導體。

7.如權利要求6所述的線圈部件的制造方法，其特征在于：

在所述(d)之前，還進行：

(b)在構成所述第1粉末的各顆粒的表面附著含Si物質的步驟。

8.如權利要求7所述的線圈部件的制造方法，其特征在于：

對進行了所述(b)的處理的第1粉末，還進行：

(c1)在非活性氣體氣氛中100℃～700℃的溫度下、或者在氧濃度為100ppm以下的氣氛中100℃～300℃的溫度下，進行熱處理的步驟。

9.如權利要求7所述的線圈部件的制造方法，其特征在于：

對進行了所述(b)的處理的第1粉末，還進行：

(c2)在氧濃度為3ppm～100ppm的氣氛中300℃～900℃的溫度下進行熱處理的步驟。

10.如權利要求6所述的線圈部件的制造方法，其特征在于：

在所述(d)之前，還進行：

(c2)將在所述(a)中準備的第1粉末在氧濃度為3ppm～100ppm的氣氛中300℃～900℃的溫度下進行熱處理的步驟。

11.一種電路板，其特征在于：

搭載有權利要求1～5中任一項所述的線圈部件。