[發明專利]光學部件或光學部件成型用模具的研磨方法

在審

• 申請號: 202010869688.2
• 申請日: 2020-08-26
• 公開（公告）號: CN112658993A
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發明（設計）人: 間瀬恵二;石橋正三;關澤美津季
• 申請（專利權）人: 株式會社不二制作所
• 主分類號: B24C1/00
• 分類號: B24C1/00
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 鹿屹;李雪春

本發明提供光學部件或光學部件成型用模具的研磨方法，能夠實現各種光學部件的透明化、各種光學部件成型用模具的鏡面化。本發明的光學部件或光學部件成型用模具的研磨方法將光學部件或光學部件成型用模具的表面作為處理區域，將磨粒承載于彈性件的表面而構成的彈性研磨材料朝向所述處理區域噴射，將所述彈性研磨材料與壓縮流體一起噴射而與所述處理區域碰撞，并且在所述處理區域上產生流體流并使所述彈性研磨材料滑動。

技術領域

本發明涉及透鏡等光學部件和光學部件成型用模具的研磨方法，更具體地說，涉及將研磨材料與壓縮空氣等壓縮流體一起噴射而進行的基于噴射加工的研磨方法。

背景技術

作為光學部件的研磨方法，例如透鏡的研磨方法，使用被稱為研磨皿的碗形的工具進行研磨，該碗形的工具具有曲面，該曲面具有多個磨石。另外，作為使用了所述研磨皿的研磨方法，例如有如下的方法：在使所述研磨皿與研磨對象的透鏡貼緊的狀態下使透鏡轉動，邊供給研磨液邊使所述研磨皿擺動，由此對所述透鏡的表面進行研磨。

但是，例如所述透鏡存在有不同的大小、不同的曲率、凸透鏡或凹透鏡等各種形狀、規格的透鏡，對此，所述研磨皿沒有通用性。因此，需要以配合處理對象的透鏡的形狀的方式區分使用研磨皿，因而必須準備多種形狀不同的研磨皿。

另外，對于上述的透鏡以外的、具有自由曲面形狀或具有以光源擴散為目的的微小復雜形狀的光學部件，使用所述研磨皿的研磨方法難以進行研磨，因此通過手工作業進行研磨。

另外，除了利用所述研磨皿的研磨、利用手工作業的研磨以外，作為光學部件的以往的研磨方法，還存在有如下的方法。

在專利文獻1中公開了一種研磨方法，其能夠高效地施加研磨負荷，并能夠對作為微小研磨物品的微小透鏡以及該微小透鏡的模具進行研磨。詳細地說，如圖5和圖6所示，提出有一種小型傾斜研磨方法，其使用了小型傾斜研磨裝置30，在用工件保持裝置37保持工件34的狀態下，利用以與所述研磨面接觸的方式配置在工件34的研磨面的上方的工具31來研磨所述工件34，并且利用擺動單元38使所述工具31擺動，另一方面，邊使工件34繞轉動軸心35轉動邊使工件34與工件保持裝置37一起繞傾斜移動軸心33傾斜。

專利文獻2中提出了一種對fθ透鏡(鏡子)的模具的表面進行研磨的研磨方法。詳細地說，如圖7和圖8所示，該研磨方法用研磨機40對工件45的研磨面45a進行研磨，工件45的研磨面45a的長邊方向X的曲率半徑與正交于該長邊方向X的短邊方向Y的曲率半徑不同且該短邊方向Y為凹面，使用所述研磨機40所具備的具有比上述研磨面45a的短邊方向Y的整個寬度大的直徑的一對圓盤狀研磨具47、49，使該一對圓盤狀研磨具47、49的軸線方向相對于上述長邊方向X在俯視時彼此向相反的方向傾斜，使該一對圓盤狀研磨具47、49與研磨面45a的短邊方向的整個寬度以及長邊方向的一部分分同時接觸，在維持該一對圓盤狀研磨具47、49的軸線方向與長邊方向的傾斜關系的狀態下，使該一對圓盤狀研磨具47、49邊轉動邊相對于研磨面45a相對地沿著上述長邊方向X移動而對研磨面45a進行研磨。

在專利文獻3中公開了一種不會產生工具掃描導致的微小波紋損傷、在短時間內高精度地對光學元件或其模具進行研磨的研磨方法。詳細地說，如圖9所示，該研磨方法使用研磨裝置50，對光學功能面為非球面形狀的被加工物59的所述光學功能面進行研磨，設置有：輔助部件52，配置在被所述研磨裝置50的保持裝置54所保持的所述被加工物59的所述光學功能面的外周位置；以及推壓部件51(在推壓面具備彈性部件55)，對應于所述被加工物59和所述輔助部件52的表面形狀，使具有研磨功能的片部件53在所述被加工物59與所述輔助部件52及所述推壓部件51之間移動，利用所述片部件53的移動進行所述被加工物59的光學功能面的研磨加工。

專利文獻1：日本專利公開公報特開2009-269136號

專利文獻2：日本專利公開公報特開2003-189030號

專利文獻3：日本專利公開公報特開2003-117791號