[發明專利]一種便于精確定位的圓硅片研磨盤

有效

• 申請號: 202010863543.1
• 申請日: 2020-08-25
• 公開（公告）號: CN111958481B
• 公開（公告）日: 2021-12-14
• 發明（設計）人: 魏運秀
• 申請（專利權）人: 江蘇永鼎股份有限公司;蘇州鼎芯光電科技有限公司
• 主分類號: B24B37/11
• 分類號: B24B37/11;B24B45/00
• 代理公司: 東莞市神州眾達專利商標事務所(普通合伙) 44251
• 代理人: 劉漢民

1.一種便于精確定位的圓硅片研磨盤，包括研磨底盤(1)，研磨底盤(1)上端面的外圈成型有環形的集水槽(11)，集水槽(11)外側的磨底盤(1)上成型有擋水環(12)，研磨底盤(1)的中心設有齒輪軸(2)，齒輪軸(2)的上端成型有導向軸(21)，齒輪軸(2)的下端成型有傳動軸，傳動軸通過軸承和研磨底盤(1)相鉸接；其特征在于：齒輪軸(2)四周的研磨底盤(1)設有若干定位盤(3)，定位盤(3)繞齒輪軸(2)的中心軸線呈環形均勻分布；所述定位盤(3)的外圈成型有齒圈(33)，齒圈(33)和齒輪軸(2)相嚙合；定位盤(3)的中心插接定位柱(4)，定位柱(4)的下端插接固定在研磨底盤(1)上，定位柱(4)四周的定位盤(3)上成型有若干圓形的定位孔(31)，相鄰的定位孔(31)之間的定位盤(3)上成型有矩形的定位槽(32)，定位槽(32)或定位孔(31)繞定位柱(4)的中心軸線呈環形均勻分布；所述的研磨底盤(1)上成型有若干與定位盤(3)相對的T型凹槽(14)，研磨底盤(1)的T型凹槽(14)內插接有T型的翻轉塊(5)，翻轉塊(5)由圓柱形的轉動桿(51)和矩形的定位塊(52)組成，定位塊(52)插接在定位盤(3)的定位槽(32)內；所述的翻轉塊(5)繞齒輪軸(2)的中心軸線呈環形均勻分布；

所述的T型凹槽(14)分布在研磨底盤(1)的內圈，T型凹槽(14)由橫槽和縱槽組成，轉動桿(51)插接在T型凹槽(14)的橫槽內，橫槽的長度等于轉動桿(51)的長度，所述定位塊(52)的寬度不大于T型凹槽(14)縱槽的槽寬；

所述翻轉塊(5)采用永磁鐵，翻轉塊(5)的定位塊(52)上成型有拉手槽(53)；

所述定位盤(3)的數量等于翻轉塊(5)的數量，翻轉塊(5)上定位塊(52)的寬度等于定位盤(3)上定位槽(32)的寬度。

2.根據權利要求1所述的一種便于精確定位的圓硅片研磨盤，其特征在于：所述定位柱(4)的上端面不高于定位盤(3)的上端面。

3.根據權利要求1所述的一種便于精確定位的圓硅片研磨盤，其特征在于：所述研磨底盤(1)的上端面上成型有若干道縱橫交錯的排水槽(13)，排水槽(13)和集水槽(11)相連通。

4.根據權利要求1所述的一種便于精確定位的圓硅片研磨盤，其特征在于：所述擋水環(12)的上端面高于定位盤(3)的上端面。