[發明專利]一種晶圓叉清洗方法及裝置

有效

• 申請號: 202010861124.4
• 申請日: 2020-08-25
• 公開（公告）號: CN114101156B
• 公開（公告）日: 2023-04-11
• 發明（設計）人: 姜喆求;胡艷鵬;李琳;盧一泓
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所;真芯（北京）半導體有限責任公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B1/00;B08B1/04;F26B21/00
• 代理公司: 北京華沛德權律師事務所 11302
• 代理人: 房德權

1.一種晶圓叉清洗裝置，其特征在于，包括：

清洗室、設置于清洗室內的噴灑裝置和刷子、設置于所述清洗室出入口上下端的氣刀；

所述清洗室入口同出口；

所述噴灑裝置，用于噴淋清洗液；

所述刷子，用于對待清洗的晶圓叉進行洗刷，以實現邊噴淋清洗液邊洗刷；

所述氣刀，用于對所述待清洗的晶圓叉進行吹掃，以及對清洗后的晶圓叉進行干燥；

控制將晶圓叉插入清洗室，并控制出入口上下端的氣刀對待清洗的晶圓叉進行吹掃；

控制關閉所述氣刀；

控制開啟噴灑裝置進行噴淋清洗液，并控制刷子對所述待清洗的晶圓叉進行洗刷，以實現邊噴淋清洗液邊洗刷；

控制將所述晶圓叉移出所述清洗室，并控制氣刀對清洗后的晶圓叉進行干燥；

控制關閉所述氣刀。

2.如權利要求1所述的晶圓叉清洗裝置，其特征在于，所述噴灑裝置集成于所述刷子上時，還包括：

第一軌道，設置在所述清洗室頂端，用于承載所述刷子；

第一驅動裝置，連接所述刷子，用于驅動所述刷子沿著所述第一軌道移動，以實現邊噴淋清洗液邊洗刷。

3.如權利要求2所述的晶圓叉清洗裝置，其特征在于，所述刷子包括：刷頭和第一支撐桿；

所述第一支撐桿一端設置所述刷頭，另一端設置于所述第一軌道上；

所述刷頭上設置有刷毛，且在刷毛的間隙設置有噴淋清洗液的噴淋孔。

4.如權利要求1所述的晶圓叉清洗裝置，其特征在于，在所述噴灑裝置與所述刷子并排設置時，還包括：

第二支撐桿；

第二軌道，設置在所述清洗室頂端，用于承載所述第二支撐桿；

所述第二支撐桿的一端設置于所述第二軌道，另一端連接橫板，所述橫板一端設置所述刷子，另一端設置所述噴灑裝置；

第二驅動裝置，連接所述第二支撐桿，用于驅動所述第二支撐桿沿著所述第二軌道移動，以使所述噴灑裝置和所述刷子均沿著所述第二軌道移動，以實現邊噴淋清洗液邊洗刷。

5.如權利要求1所述的晶圓叉清洗裝置，其特征在于，在所述清洗室的上部、下部以及側邊均固定設置有所述噴灑裝置；

還包括：

第三軌道，設置在所述清洗室頂端，用于承載所述刷子；

第三驅動裝置，連接所述刷子，用于驅動所述刷子沿著所述第三軌道移動，以在所述噴灑裝置噴淋清洗液的區域進行洗刷。

6.如權利要求1所述的晶圓叉清洗裝置，其特征在于，還包括：

第四驅動裝置，所述第四驅動裝置連接所述刷子，用于驅動所述刷子旋轉，以實現旋轉洗刷。

7.如權利要求4所述的晶圓叉清洗裝置，其特征在于，還包括：

第五驅動裝置，所述第五驅動裝置連接所述第二支撐桿，用于驅動所述第二支撐桿旋轉，以使所述橫板上的刷子和噴灑裝置在旋轉過程中實現邊噴灑清洗液邊洗刷。

8.如權利要求1所述的晶圓叉清洗裝置，其特征在于，控制開啟噴灑裝置進行噴淋清洗液，并控制刷子對待清洗的晶圓叉進行洗刷，包括：

控制開啟噴灑裝置；

控制所述噴灑裝置移動或者調整所述噴灑裝置的噴灑朝向，使得所述噴灑裝置噴淋的清洗液將所述待清洗的晶圓叉全部覆蓋；

控制刷子在噴淋清洗液的區域對所述待清洗的晶圓叉進行旋轉洗刷。