[發(fā)明專利]一種半導體生產(chǎn)用具有剔除結(jié)構(gòu)的晶圓視覺檢測設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010860041.3
• 申請日: 2020-08-25
• 公開（公告）號: CN112044814A
• 公開（公告）日: 2020-12-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳奕儐;胡展銘;陳詠詩
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞市夯牛機電科技有限公司
• 主分類號: B07C5/36
• 分類號: B07C5/36;B07C5/02;B07C5/34;H01L21/66
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了一種半導體生產(chǎn)用具有剔除結(jié)構(gòu)的晶圓視覺檢測設(shè)備，包括框架，所述框架的內(nèi)部下方左側(cè)設(shè)置有進料箱，所述吸盤的上方焊接有第一連接板，所述第一鎖銷的下方旋接有第一連桿，所述第一連接板的右側(cè)旋接有第三鎖銷，所述第二連桿的下方旋接有第四鎖銷，該半導體生產(chǎn)用具有剔除結(jié)構(gòu)的晶圓視覺檢測設(shè)備，與現(xiàn)有的普通視覺檢測設(shè)備相比，本發(fā)明通過的設(shè)置標記塊，所述氣缸通過氣桿帶動第五連桿運動，第五連桿為弧形，減少了第五連桿的移動范圍，且第五連桿通過第十鎖銷帶動旋轉(zhuǎn)桿上的標記塊以第六連桿右側(cè)的第七鎖銷為圓心進行圓周運動，進行標記剔除操作，第六連桿可以減少旋轉(zhuǎn)桿的旋轉(zhuǎn)半徑提高了設(shè)備的標記剔除效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓視覺檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種半導體生產(chǎn)用具有剔除結(jié)構(gòu)的晶圓視覺檢測設(shè)備。

背景技術(shù)

隨著社會的進步，經(jīng)濟的發(fā)展，科學技術(shù)不斷提高，半導體最不進入各家各戶，家電、數(shù)碼產(chǎn)品、電子產(chǎn)品等都離不開半導體，在生產(chǎn)半導體過程中需要對半導體的晶圓進行視覺檢測，只有通過了晶圓的視覺檢測之后半導體的性能才能夠得到保障，目前的晶圓視覺檢測設(shè)備，無法對檢測后的晶圓進行標記剔除操作，不能很好的滿足人們的使用需求，針對上述情況，在現(xiàn)有的視覺檢測設(shè)備基礎(chǔ)上進行技術(shù)創(chuàng)新。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種半導體生產(chǎn)用具有剔除結(jié)構(gòu)的晶圓視覺檢測設(shè)備，以解決上述背景技術(shù)中提出一般的無法對檢測后的晶圓進行標記剔除操作，不能很好的滿足人們的使用需求問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種半導體生產(chǎn)用具有剔除結(jié)構(gòu)的晶圓視覺檢測設(shè)備，包括框架，所述框架的內(nèi)部下方左側(cè)設(shè)置有進料箱，且進料箱的上方設(shè)置有吸盤，所述吸盤的上方焊接有第一連接板，且第一連接板的左側(cè)旋接有第一鎖銷，所述第一鎖銷的下方旋接有第一連桿，且第一連桿的下方旋接有第二鎖銷，所述第一連接板的右側(cè)旋接有第三鎖銷，且第三鎖銷的下方旋接有第二連桿，所述第二連桿的下方旋接有第四鎖銷，且第四鎖銷的下方設(shè)置有第一支撐板，所述第一支撐板的下方旋接有第三連桿，且第三連桿的左側(cè)旋接有第五鎖銷，所述第五鎖銷的左側(cè)旋接與第四連桿，且第四連桿的左側(cè)焊接有旋轉(zhuǎn)盤，所述旋轉(zhuǎn)盤的內(nèi)側(cè)設(shè)置有轉(zhuǎn)盤，且轉(zhuǎn)盤的下方設(shè)置有伺服電機，所述框架的內(nèi)部右側(cè)下方安裝有第一滑桿，且第一滑桿的外部設(shè)置有第一氣動滑塊，所述第一氣動滑塊的下方焊接有連接桿，且連接桿下方右側(cè)焊接有晶圓夾板，所述框架的內(nèi)部上方右側(cè)安裝有第二滑桿，且第二滑桿的外部安裝有第二氣動滑塊，所述第二氣動滑塊的下方安裝有移動桿，且移動桿的下方安裝有視覺檢測器，所述視覺檢測器的下方右側(cè)設(shè)置第五連桿，且第五連桿的右側(cè)下方旋接有第六鎖銷，所述第六鎖銷的左側(cè)旋接有氣桿，且氣桿的左側(cè)設(shè)置有氣缸，所述氣缸的下方焊接有第二支撐板，且第二支撐板的上方左側(cè)焊接有第二連接板，所述第二連接板的上方旋接有第七鎖銷，且第七鎖銷的下方左側(cè)旋接有第六連桿，所述第六連桿的左側(cè)旋接有第八鎖銷，所述第七鎖銷的下方設(shè)置有第九鎖銷，且第九鎖銷的上方旋接有第七連桿，所述第七連桿的上方旋接有第十鎖銷，且第十鎖銷的下方旋接有旋轉(zhuǎn)桿，所述旋轉(zhuǎn)桿的下方設(shè)置有標記塊。

優(yōu)選的，所述吸盤下方到進料箱的上方的距離為2cm，且吸盤的豎直中心線與進料箱的豎直中心線相重合。

優(yōu)選的，所述第二連桿通過第四鎖銷與第一支撐板之間構(gòu)成旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，且第一連桿與第三連桿同軸。

優(yōu)選的，所述第一連桿的長度與第一支撐板的右側(cè)到視覺檢測器的距離相等。

優(yōu)選的，所述第一鎖銷與第三鎖銷關(guān)于吸盤的豎直中心線對稱，且吸盤的下降高度為2cm。

優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)盤的側(cè)面與旋轉(zhuǎn)盤內(nèi)表面相貼合，且轉(zhuǎn)盤為偏心轉(zhuǎn)盤，偏心距為2cm。

優(yōu)選的，所述第五連桿通過第十鎖銷與旋轉(zhuǎn)桿之間構(gòu)成旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，且旋轉(zhuǎn)桿旋轉(zhuǎn)的角度為90°。

優(yōu)選的，所述視覺檢測器的豎直中心線與標記塊的豎直中心線相重合，且標記塊的豎直中心線與晶圓夾板的圓心相重合。